具有偏转补偿的开放框架并联式双轴柔性平台

    公开(公告)号:CN107402549A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201710351688.1

    申请日:2017-05-18

    发明人: 埃文·莫热

    IPC分类号: G05B19/404

    摘要: 本发明公开了一种平台系统,包括:至少一个柔性框架,其具有固定的中心和能移动的远端,至少一个柔性框架构造为使与至少一个柔性框架能操作地连接的台面沿着至少一条运动轴线位移;以及至少两个致动器,其包括定位在至少一个柔性框架内的第一致动器和第二致动器。第一致动器以从至少一个柔性框架的至少一个梁偏转的第一角度定位在至少一个柔性框架内,并且第二致动器以从至少一个梁偏转的第二角度定位在至少一个柔性框架内。至少两个致动器构造为随着至少两个致动器从第一收缩位置伸展到第二伸展位置而产生补偿位移以抵消偏转误差。

    双轴直线移动微驱动装置

    公开(公告)号:CN102059576A

    公开(公告)日:2011-05-18

    申请号:CN201010559119.4

    申请日:2010-11-25

    IPC分类号: B23Q5/22

    摘要: 本发明公开了一种双轴直线移动微驱动装置,包括在Z向滑座上表面设有安装座A,安装座A内固定有Z向微致动器,Z向微致动器与Z向微动台连接,Z向微动台向上与X向滑座连接,Z向滑座的安装座A两侧设有Z向导轨条,每侧的一个Z向导轨条上设有两个Z向导轨块,Z向导轨块固定安装在X向滑座的下表面;X向滑座的上表面设有安装座B,安装座B内固定有X向微致动器,X向微致动器与X向微动台连接,X向微动台向上与XZ双轴运动平台连接,在X向滑座上表面安装座B两侧设有两个X向导轨条,每个X向导轨条上设有两个X向导轨块,X向导轨块固定安装在XZ双轴运动平台的下表面。本发明的装置,误差传递小进给精度高,平台姿态误差小。