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公开(公告)号：CN100351998C
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200410069788.8
申请日：2004-07-19
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： B24C11/005
摘要： 本发明提供了为诸如室部件的工件表面提供纹理的方法和系统。本方法包括：将工件提供给纹理化室，并在工件表面上扫掠电磁能量束，以在其上形成多个特征。所形成的特征一般是凹陷、凸起及其组合。所述室部件可以包括例如室防护件和相关组件、靶、遮蔽环、接触环、衬底支架或其他可设置在处理室内的部件。还提供了一种减少处理室内污染的方法。本方法包括：在一个或多个处理室部件的表面上扫掠电磁能量束，以在其上形成多个特征；将所述一个或多个室部件置入处理室内；以及在处理室内开始进行处理工序。
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公开(公告)号：CN100344721C
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN03810958.1
申请日：2003-04-04
申请人： 圣戈本磨料股份有限公司
CPC分类号： B24C11/005 , B24D3/04 , B24D3/14 , B24D3/342 , B24D11/001 , C09K3/1409
摘要： 在一磨具上施加基本上由无机防填塞剂组成的面涂层，所述无机防填塞剂选自金属硅酸盐、二氧化硅、金属碳酸盐、和金属硫酸盐。所述金属硅酸盐可以选自硅酸镁、硅酸铝钾、硅酸铝和硅酸钙。在一个实施方案中，硅酸镁包括滑石，硅酸铝钾包括云母，硅酸铝包括粘土，硅酸钙包括硅灰石。二氧化硅可以选自熔凝二氧化硅、热解法二氧化硅和沉淀无定形二氧化硅。所述金属碳酸盐可以包括碳酸钙。所述金属硫酸盐可以包括水合硫酸钙或者无水硫酸钙。
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公开(公告)号：CN1630572A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN03803738.6
申请日：2003-02-12
申请人： 索尼株式会社
IPC分类号： B24C11/00
CPC分类号： B24C11/005 , B24C11/00
摘要： 本发明的目的是提供一种喷净方法和喷射材料，所述喷净方法和喷射材料不但在费用上而且在处理效果上都是非常实用的。(a)一种喷射材料，含有苯乙烯离子交换树脂或由它产生的废物，或/和来自干淤渣材料，(b)一种含有树脂的喷射材料，所述树脂包括含有橡胶组分的树脂和不含有橡胶组分的树脂，和(c)一种喷射材料含有至少一种选自环氧树脂组合物和无机填料的组分，以及利用喷射材料的喷净方法。
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公开(公告)号：CN1324906A
公开(公告)日：2001-12-05
申请号：CN01122164.X
申请日：2001-05-16
申请人： 因芬尼昂技术股份公司 , 西门子公司
IPC分类号： C09G1/00 , C09K3/14 , B24C1/08 , H01L21/321
CPC分类号： B24C11/005 , C09G1/02 , H01L21/3212
摘要： 本发明涉及一种抛光液,特别用于化学－机械抛光工艺步骤,其中含有多晶金刚石粉和至少一种从氧化剂、络合剂、表面活性剂基团和有机基团中选择出的添加剂。采用本发明所述抛光液可提高对金属氧化物和金属的磨蚀率,尤其是元素周期表的8b组元素。另外,本发明还描述了一种对金属氧化物和金属进行平面化和/或结构化处理的方法。
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公开(公告)号：CN1214644A
公开(公告)日：1999-04-21
申请号：CN97193334.0
申请日：1997-01-15
申请人： 钴碳化钨硬质合金公司
发明人： 威廉·R·谢弗
CPC分类号： B24C11/005 , B24B1/00 , B24B3/24 , B24C1/02 , B24C3/22 , Y10T408/78 , Y10T408/909
摘要： 一种用于处理带有尖切削边缘(30)的细长转动工具(22)的方法和装置。其方法包括的步骤是:在压力下从喷口(60)喷射由包含在流体中的磨料构成的磨料流,用磨料流在预定的时间内撞击细长转动工具(22)的尖切削边缘(30),将尖切削边缘转变成相对均匀的磨制边缘。其装置(50)包括一个可释放地固定细长转动工具(22)的可转动的夹具(54)。喷口(60)在压力下喷射磨料流,喷口(60)和细长转动工具(22)可相对移动以使磨料流撞击尖切削边缘(30)的整个长度。
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公开(公告)号：CN108290273A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201580083368.1
申请日：2015-09-24
CPC分类号： C23C22/78 , B24C1/04 , B24C7/0046 , B24C11/005 , C23C22/00 , C23C22/76
摘要： 本技术提出了一种用于对基底的表面进行改性的方法和系统。所述方法包括对所述基底的所述表面的部分进行磨料喷砂的步骤。在所述磨料喷砂中，将磨料介质提供至所述表面的所述部分。所述磨料介质由第一载体携带至所述部分。所述磨料介质碰撞所述表面的所述部分并且对所述表面的所述部分造成磨损。在所述方法中，所述第一载体包括蒸汽。所述第一载体的所述蒸汽对所述表面的所述部分进行加热。
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公开(公告)号：CN105590882A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201510750418.9
申请日：2015-11-06
申请人： 细美事有限公司
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/02057 , B24C1/003 , B24C11/005 , H01L21/02052 , H01L21/67051
摘要： 本发明公开了一种基板处理装置和方法。所述方法包括：将清洁颗粒供给到基板以清洁基板。所述清洁颗粒是固体颗粒。所述固体颗粒对基板提供了一冲击波。
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公开(公告)号：CN101535003B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200780041677.8
申请日：2007-09-11
申请人： 安比奥有限公司
发明人： 约翰·热拉尔·多诺休 , 当查·哈弗提
CPC分类号： A61F2/30767 , A61F2002/30001 , B24C11/005
摘要： 本发明公开了处理物品表面的方法。所述方法包括从金属基板上去除金属氧化物表面以使金属表面暴露；和从至少一个流体喷射器传输包含掺杂物的颗粒到所述金属表面从而用所述掺杂物浸渍该物品的表面。所述方法还包括从至少一个流体喷射器基本上同时传输包含掺杂物的第一组颗粒和包含磨料的第二组颗粒到物品的表面从而用所述掺杂物浸渍该物品的表面。
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公开(公告)号：CN101357525B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200810145115.4
申请日：2008-07-31
申请人： 株式会社不二制作所
CPC分类号： B41C1/145 , B24C11/005 , H05K3/1225 , H05K2203/107
摘要： 本发明提供了一种丝网印刷用金属掩模的制备方法，其中去除在通过激光束进行钻孔操作时所堆积的浮渣而不导致翘曲或弯曲。该方法包括：通过使金属板受激光束照射的位置熔融而在金属板上形成开口；形成开口后，将磨料喷射到金属板的另一表面上。磨料喷射步骤中所喷射的磨料是弹性变形磨料或具有预定的扁平形状而形成具有平面的板状磨料，其中分散或负载的磨粒的平均粒径是1mm～0.1μm且以相对于金属板的另一表面为80度以下的入射角喷射磨料，并且喷射压力为0.01MPa～0.7MPa或喷射速度为5m/秒～150m/秒，使得磨料沿着金属板的表面滑动。
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公开(公告)号：CN101535003A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200780041677.8
申请日：2007-09-11
申请人： 安比奥有限公司
发明人： 约翰·热拉尔·多诺休 , 当查·哈弗提
CPC分类号： A61F2/30767 , A61F2002/30001 , B24C11/005
摘要： 本发明公开了处理物品表面的方法。所述方法包括从金属基板上去除金属氧化物表面以使金属表面暴露；和从至少一个流体喷射器传输包含掺杂物的颗粒到所述金属表面从而用所述掺杂物浸渍该物品的表面。所述方法还包括从至少一个流体喷射器基本上同时传输包含掺杂物的第一组颗粒和包含磨料的第二组颗粒到物品的表面从而用所述掺杂物浸渍该物品的表面。
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