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公开(公告)号：CN104749771B
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201410815278.4
申请日：2014-12-24
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 山野幸秀
CPC分类号： G02B26/101 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , G02B26/085 , G02B26/105 , G02B27/0176 , H02K33/16
摘要： 本发明提供能够实现光反射部的稳定的摆动，并且使光反射部成为光反射的利用效率高的俯视形状的光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器。光扫描仪具有：基部；反射光的光反射板；连接基部和光反射板的隔离物；以及以能够摆动的方式支承基部的轴部，在从光反射板和基部排列的方向观察的俯视中，光反射板设置为光反射板的几何学中心成为与基部的几何学中心分离的位置，光反射板具备重心调整部，重心调整部以俯视中基部的几何学中心与光反射板的重心之间的距离变得比俯视中光反射板的几何学中心与基部的几何学中心之间的距离小的方式进行调整。
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公开(公告)号：CN102464292B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201110372138.0
申请日：2011-11-10
申请人： 株式会社理光
CPC分类号： G02B26/0858 , B81B3/0045 , B81B7/0016 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , F21S41/675 , G02B26/0833 , H02N1/006 , Y10S359/904
摘要： 公开了致动器、防护罩、制造方法、光偏转器、扫描仪及投影仪。一种致动器，具有框架元件、一对横梁元件、由所述框架元件通过所述横梁元件旋转支撑的可移动元件、用于使所述可移动元件相对于所述框架元件并围绕作为旋转轴的所述横梁元件旋转的驱动器、以及在所述横梁元件旋转轴线上设置的阻尼元件。
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公开(公告)号：CN108803004A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810272481.X
申请日：2018-03-29
申请人： 谷歌有限责任公司
发明人： 凯文·Y·亚苏穆拉
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , G02B6/3518 , G02B6/352 , G02B6/3556 , G02B6/359 , G02B26/0833
摘要： 本申请涉及用于基于MEMS的致动器的叉合垂直阻尼器。一种微机电系统(MEMS)镜组件包括限定腔的基底基板和从腔的底部向上延伸的多个第一特征。MEMS镜组件包括耦接到基底基板并限定MEMS致动器和MEMS镜平台的镜基板。MEMS致动器的致动将MEMS镜平台从第一位置状态移动到第二位置状态。MEMS镜平台在MEMS镜平台的面向基底基板的一侧上限定多个第二特征，所述多个第二特征的尺寸、形状和位置使得当镜平台处于第二位置状态时，多个第二特征延伸到分隔多个第一特征的空间中。MEMS镜组件包括设置在MEMS镜平台的远离基底基板的一侧上的反射材料。
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公开(公告)号：CN107635909A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201680029275.5
申请日：2016-04-01
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： B81B3/0045 , B81B2201/0242 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , B81B2203/058 , B81C99/006 , F16F1/025 , F16F1/3737 , G02B26/0833
摘要： 本发明提供一种微机械设备以及一种相应的制造方法。所述设备构造具有：微机械设备(10)，具有：弹簧装置(16；216；316；416；516)，所述弹簧装置在所述弹簧装置(16)的至少一个附接点(24-i；124)以能运动的方式能耦接到或者已耦接到框架装置(14)上；其中，所述弹簧装置(16；216；316；416；516)具有至少一个接片(18-i；218-i；318-i；518-1)，所述至少一个接片从所述至少一个附接点(24-i；124)开始延伸；并且其中，所述至少一个接片(18-i；218-i；318-i；518-1)这样结构化，使得所述至少一个接片具有至少一个第一区段(20-i；220-i)以及至少一个扩宽区段(22-i；222-i；522)用于减小所述弹簧装置(16)的非线性，所述至少一个扩宽区段相对于所述第一区段(20-i；220-i)扩宽。
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公开(公告)号：CN104909328B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201410190811.2
申请日：2014-05-07
申请人： 财团法人工业技术研究院
IPC分类号： B81B5/00
CPC分类号： G01C19/5762 , B81B3/0045 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0163 , Y10T74/12
摘要： 本发明公开一种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置，利用折叠弹簧即能进行旋转运动，该微机电装置包含一旋转元件、至少一限制元件以及至少二折叠弹簧。二折叠弹簧以轴线为中心线而对称配置，每一折叠弹簧具有一移动端及一固定端。移动端连接旋转元件，固定端连接限制元件。由于移动端与固定端不位于轴线上，当旋转元件依一轴线进行旋转时，折叠弹簧的移动端会跟着旋转且弹簧长度也会因而改变。此种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置可应用于各种具有旋转元件的微机电装置，例如加速度计、陀螺仪、微镜面及磁力计等。
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公开(公告)号：CN106415361A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580005002.2
申请日：2015-01-18
申请人： 苹果公司
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/085 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , G02B26/101
摘要： 本发明公开了一种扫描设备(64,220,230)，该扫描设备包括基板(68)和围绕两个或更多个平行旋转构件(102)的万向支架(72,232)，其中该基板被蚀刻以限定旋转构件的阵列。第一铰链(106,234)将万向支架连接至基板并且限定第一旋转轴，该万向支架围绕该第一旋转轴相对于基板旋转。第二铰链(74)将旋转构件连接至支撑件并且限定旋转构件相对于支撑件的相应的第二相互平行的旋转轴，该相应的第二相互平行的旋转轴不平行于第一轴。
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公开(公告)号：CN104749770A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201410815154.6
申请日：2014-12-24
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 山野幸秀
CPC分类号： G02B26/101 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/0154 , G02B26/085 , G02B27/0101 , G02B27/0172
摘要： 本发明提供能够实现光反射部的稳定的摆动，并使光反射部成为光反射的利用效率较高的俯视形状的光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器。光扫描仪(1)具有基部(111)、反射光的光反射板(113)、连接基部(111)和光反射板(113)的隔离件(112)、以及以能够摆动的方式支承基部(111)的轴部(12a、12b)，光反射板(113)在从光反射板(113)与基部(111)排列的方向观察的俯视时，以光反射板(113)的几何学中心(g)成为离开X轴的位置的方式被设置，在俯视时，隔离件(112)的几何学中心(g1)相对于X轴位于与光反射板(113)的几何学中心(g)相反的一侧。
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公开(公告)号：CN108027241A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680052573.6
申请日：2016-09-08
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 马库斯·林基奥
IPC分类号： G01C19/5712 , B81B3/00
CPC分类号： H03B5/30 , B81B3/0045 , G01C19/5712 , H03B2201/0208
摘要： 一种微机电装置结构包括支承结构晶片(310)。在支承结构晶片中的腔内形成腔电极(130)。腔电极形成从腔的基部朝向功能层(300)的突出结构，并且腔电极连接至限定电位。腔电极包括在支承结构晶片中的腔内的硅柱，该硅柱部分地或完全地被腔包围。可以使用一个或多个腔电极来调节在功能层内发生的振荡的频率。
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公开(公告)号：CN104166232B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201410211576.2
申请日：2014-05-19
申请人： 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
发明人： 顾姗姗 , 汉斯·约阿西姆·昆策尔 , 约阿希姆·雅内斯
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , B81B2203/019
摘要： 本发明公开了包含振动悬挂的光学元件的设备。该设备经由弯曲的弹簧元件将振动悬挂的光学元件连接至固定安装在一侧的至少两个致动器，其中，该致动器被实施为经由弯曲的弹簧元件使振动悬挂的光学元件振动。致动器和整个系统由于弯曲成形的弹簧元件都实施为更稳健并且更可靠地进行操作。
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公开(公告)号：CN104749771A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201410815278.4
申请日：2014-12-24
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 山野幸秀
CPC分类号： G02B26/101 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , G02B26/085 , G02B26/105 , G02B27/0176 , H02K33/16
摘要： 本发明提供能够实现光反射部的稳定的摆动，并且使光反射部成为光反射的利用效率高的俯视形状的光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器。光扫描仪具有：基部；反射光的光反射板；连接基部和光反射板的隔离物；以及以能够摆动的方式支承基部的轴部，在从光反射板和基部排列的方向观察的俯视中，光反射板设置为光反射板的几何学中心成为与基部的几何学中心分离的位置，光反射板具备重心调整部，重心调整部以俯视中基部的几何学中心与光反射板的重心之间的距离变得比俯视中光反射板的几何学中心与基部的几何学中心之间的距离小的方式进行调整。
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