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公开(公告)号：CN103376101B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201310138948.9
申请日：2013-04-19
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 金本啓
IPC分类号： G01C19/5733
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5762
摘要： 本发明提供一种能具有较高检测灵敏度的陀螺传感器以及电子设备。本发明所涉及的陀螺传感器(100)包括：基体(10)；振动体(20)；驱动部(27)，其使振动体(20)在第一轴的方向上驱动；可动电极部(40)，其能够根据绕正交于第一轴的第二轴的角速度而在正交于第一轴及第二轴的第三轴的方向上进行位移；第一弹簧部(30)，其被连接在振动体(20)和与第一轴或第二轴交叉的可动电极部(40)的第一侧面(42a)上；第二弹簧部(32)，其被连接在振动体(20)和与第一侧面(42a)平行的可动电极部(40)的第二侧面(42b)上；固定电极部(50)，其被配置在基体(10)上，且在第三轴的方向上与可动电极部(40)对置，第一弹簧部(30)及第二弹簧部(32）具有在第一轴的方向上延伸的部分(30a、32a)以及在第二轴的方向上延伸的部分(30b、32b)。
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公开(公告)号：CN105074384B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201380067879.5
申请日：2013-12-23
申请人： 原子能和替代能源委员会
发明人： 阿诺·瓦尔特
IPC分类号： G01C19/5726 , G01C19/5762 , G01C25/00
CPC分类号： G01C19/5726 , G01C19/5755 , G01C19/5762 , G01C25/005
摘要： 一种陀螺仪，该陀螺仪包括在激励下运动的质量块和在检测中运动的质量块、用于在第一方向上向激励质量块施加激励信号的装置、用于对检测质量块在与第一方向垂直的第二方向上的运动进行检测的装置和用于对激励质量块在第二方向上的运动进行检测的装置以及用于处理由对检测质量块的运动进行检测的装置和对激励质量块在第二方向上的运动进行检测的装置所发出的检测信号的处理装置(I、II、II')，从而获得相位偏置(Bi)、正交偏置(Bq)和放大因数(A)。
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公开(公告)号：CN106767746A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710006456.2
申请日：2017-01-05
申请人： 陈志龙
发明人： 陈志龙
IPC分类号： G01C19/5762
CPC分类号： G01C19/5762
摘要： 本发明公开了一种振弦式陀螺，它包括一个非导磁的陀螺框架，在陀螺框架内的中间设有一个非导磁的金属驱动框架，金属驱动框架通过左上驱动梁、左下驱动梁水平、右上驱动梁、右下驱动梁水平固定在陀螺框架的内壁上，左上驱动梁、左下驱动梁、右上驱动梁和右下驱动梁均由非导磁的薄片状弹性金属制成；在金属驱动框架中设有检测质量块，检测质量块是由对称的上下两块粘合而成，检测质量块把一根完整的非导磁的细金属丝分为左右两部分，并在预紧力拉紧后通过左振弦压紧装置和右振弦压紧装置形成左振弦和右振弦。本发明的主要特点是把角速度的幅值变化转换为振弦的振动频率的变化来进行测量。振弦式陀螺既具有小体积、低工耗、低成本等突出优点，又有利于陀螺输出信号的检测、提高陀螺的精度，有着广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN101922934B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201010242008.0
申请日：2010-06-03
申请人： 意法半导体股份有限公司
IPC分类号： G01C19/5762
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5726 , G01C19/5762 , H03F3/70
摘要： 本发明公开了具有位置控制驱动的微机电陀螺及用于控制微机电陀螺的方法。该MEMS陀螺包括：微结构(2)，该微结构具有固定结构(6)、可以相对于该固定结构(6)以第一自由度按照驱动轴(X)运动的驱动质量块(7)、以及检测质量块(8)，所述检测质量块(8)与该驱动质量块(7)机械耦合，以便被带入按照该驱动轴(X)的运动，并且所述检测质量块(8)可以响应于该微结构(2)的旋转、相对于该驱动质量块(7)以第二自由度按照检测轴(Y)运动；以及驱动装置(3)，用于保持该驱动质量块(7)以驱动频率(ωD)进行振动。该驱动装置包括用于探测驱动质量块(7)相对于该驱动轴(X)的位置(x)的离散时间检测接口(20)；以及用于根据该驱动质量块(7)的位置(x)来控制该驱动频率(ωD)的控制装置(21，23，24，25)。
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公开(公告)号：CN104596492A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410602201.9
申请日：2014-10-31
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 中川啓史
IPC分类号： G01C19/5607
CPC分类号： G01C19/5607 , G01C19/5733 , G01C19/5762
摘要： 本发明提供能够使每单位质量的失谐频率的变化量增大的振动元件、振子、电子设备以及移动体。本发明的振动元件为，在假定了互相交叉的第一轴、第二轴、第三轴时，以第三轴为法线的振动元件，并具有：基部；被支承在基部上，并在第二轴方向上延伸的至少一根驱动用振动臂；在与驱动用振动臂不同的位置处被支承在基部上，并在第二轴方向上延伸的至少一根检测用振动臂，当在驱动用振动臂于第一轴方向上进行往复驱动的同时，向振动元件施加了绕第二轴的旋转时，检测用振动臂的在从基部起沿着第二轴方向而离开距离y1的位置处的第三轴方向上的位移量，与驱动用振动臂的在从基部起沿着第二轴方向而离开距离y1的位置处的第三轴方向上的位移量相比较大。
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公开(公告)号：CN103003704A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201180001066.7
申请日：2011-05-23
申请人： 深迪半导体(上海)有限公司
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01C19/5762 , G01P15/14 , G01P15/18
摘要： 一种MEMS装置包括悬置于衬底上面的验证质量块、一个或一个以上驱动梳及一个或一个以上感测梳。在操作期间，将与AC调制电位串联的DC致动电位施加到所述验证质量块，并将AC致动电位施加到所述一个或一个以上驱动梳，使得所述验证质量块以振荡方式移动。一种惯性感测系统进一步包括感测元件，所述感测元件经配置以检测与AC信号耦合的旋转信息及与DC信号耦合的加速度信息。
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公开(公告)号：CN102230799A
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201110085679.5
申请日：2011-02-15
申请人： 意法半导体股份有限公司
发明人： L·普兰迪 , C·卡米纳达 , A·M·里佐皮雅扎罗恩科罗尼
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5726 , G01C19/5762
摘要： 本发明公开了带有校准的激励同步的微机电陀螺仪以及激励微机电陀螺仪的方法，陀螺仪包括主体(6)，可根据驱动轴(X)移动的驱动质量块(7)，以及由驱动质量块(7)驱动且可按照感应轴(Y)移动的感应质量块(8)，以响应于所述主体(6)的旋转。驱动装置(3)与该主体(6)和该驱动质量块(7)构成微机电控制回路(18)，并维持该驱动质量块(7)以驱动频率(ωD)振荡。所述驱动装置(3)包括：频率检测器(25)，其提供在驱动质量块(7)的振荡频率上的时钟信号(CKN)；以及同步级(29)，其给时钟信号(CKN)施加校准的相移()，以补偿由设置在驱动质量块(7)与控制节点(25a)之间的回路(18)的部件(20，21，22)引起的相移。
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公开(公告)号：CN1898528A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200480038233.5
申请日：2004-11-26
申请人： 利特夫有限责任公司
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747 , G01C19/5726 , G01C19/5762
摘要： 本发明涉及一种补偿科式陀螺正交偏差的方法，该陀螺的谐振器(1)构造成包括第一和第二线性振荡器(3，4)的耦合系统的形式，该科式陀螺正交偏差得以确定。随后，改变两个振荡器(3，4)的相互定向的静电场被产生并且其定向/强度被控制以使得所确定的正交偏差尽可能地小。
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公开(公告)号：CN107990885A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201710906663.3
申请日：2017-09-29
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01C19/5747 , G01C25/00
CPC分类号： G01C19/5747 , G01C19/5712 , G01C19/5762 , G01C19/5769 , G01C25/005 , G01C25/00
摘要： 本发明提供一种陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体。所述陀螺传感器的特征在于，具有：基板；固定部，其被固定在所述基板上；驱动部，其在沿着第一轴的第一方向上进行驱动；质量部，其与所述驱动部连接，并沿着所述第一方向进行位移；检测部，其被包含在所述质量部中，且通过所作用的科里奥利力而能够在沿着与所述第一轴正交的第二轴的第二方向上进行位移；以及弹性部，其对所述质量部和所述固定部进行连接，所述弹性部的外周面具有主面、侧面和连接所述主面与所述侧面的连接面，所述连接面具有曲面状的曲面部。
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公开(公告)号：CN107850433A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680042149.3
申请日：2016-05-24
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： G01C19/5747
CPC分类号： G01C19/5747 , B81B3/0054 , B81B2201/0228 , G01C19/5712 , G01C19/5726 , G01C19/5762
摘要： 本发明提出一种转速传感器，该转速传感器具有带有主延伸平面的衬底和至少一个相对于衬底可运动的第一结构和至少一个相对于衬底并且相对于第一结构可运动的第二结构，其中，转速传感器包括至少一个第一驱动结构用于使第一结构从第一结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，转速传感器包括至少一个第二驱动结构用于使第二结构从第二结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，第一结构和第二结构可以被激励而以基本上平行于第一轴线的运动分量基本上反相地振动，其中，第一驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第一弹簧，使得该第一弹簧抵抗第一结构的基本上围绕与垂直于主延伸平面走向的第二轴线平行走向的轴线的偏转，其中，第二驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第二弹簧，使得该第二弹簧抵抗第二结构的基本上围绕与第二轴线平行走向的另一轴线的偏转。
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