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    一种制备镀膜玻璃的方法及装置
    1.
    发明公开
    一种制备镀膜玻璃的方法及装置 无效

    公开(公告)号：CN108046612A

    公开(公告)日：2018-05-18

    申请号：CN201711193144.3

    申请日：2017-11-24

    申请人： 浙江大学

    发明人： 刘涌 ,  韩高荣 ,  林威豪 ,  汪建勋 ,  马晔城 ,  宋晨路

    IPC分类号： C03C17/00 ,  C03C17/25 ,  C23C18/02

    CPC分类号： C03C17/002 ,  C03C17/253 ,  C03C2217/241 ,  C03C2218/112 ,  C03C2218/117 ,  C23C18/02

    摘要： 本发明公开了一种制备镀膜玻璃的方法及装置，涉及化学气相沉积镀膜与浮法玻璃深加工技术领域，制备镀膜玻璃的方法包括以下步骤：将前驱物溶解在合适的溶剂中，形成源溶液，利用超声波为雾化源，将源溶液转变为微米级的雾滴，其后小雾滴被输运至反应区，经过蒸发、分解、均相或异相反应制备所需的薄膜。与传统的CVD过程相比，并不要求前驱物具有良好的挥发性，只要能够溶解在容易产生气溶胶的溶剂中即可，采用单一溶液源，只需将各组分的前驱物配制成混合溶液，就可以使前驱物充分混合达到对薄膜组分的准确控制，从而使得前驱体的供给及输运过程更为简化，并且使前驱物在较低的温度下以很快的速度沉积薄膜。

    铁电薄膜的制造方法
    4.
    发明公开
    铁电薄膜的制造方法 无效

    公开(公告)号：CN103357562A

    公开(公告)日：2013-10-23

    申请号：CN201310085266.6

    申请日：2013-03-18

    申请人： 三菱综合材料株式会社

    发明人： 饭田慎太郎 ,  樱井英章

    IPC分类号： B05D5/12

    CPC分类号： B05D1/04 ,  B05B5/025 ,  B05B5/1675 ,  C23C18/02 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/1245 ,  C23C18/125 ,  C23C18/1254 ,  H01L21/02197 ,  H01L21/02282

    摘要： 本发明提供一种铁电薄膜的制造方法，其材料利用效率非常好，且具有所希望的膜组织，且电性优异。该铁电薄膜的制造方法，从毛细管(14)的吐出口(14a)朝向具有下部电极(20a)的基板(20)的下部电极(20a)静电喷涂铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液(21)而在下部电极(20a)上涂布溶胶-凝胶液(21)来形成涂膜，对该涂膜进行干燥和临时烧结之后进行烧成来结晶化，从而在下部电极(20a)上制造铁电薄膜，其中，以上述涂膜的干燥和临时烧结之后的折射率成为2以上的方式设定上述毛细管(14)的吐出口(14a)与上述下部电极(20a)之间的距离及静电喷涂时的施加电压，并且以一次喷涂来涂布溶胶-凝胶液(21)，以临时烧结之后进行烧成来结晶化时的膜厚成为150nm以下范围的方式设定一次喷涂中的溶胶-凝胶液(21)的液量。

    电镀夹具
    5.
    发明授权
    电镀夹具 有权

    公开(公告)号：CN101435103B

    公开(公告)日：2010-10-27

    申请号：CN200810177019.8

    申请日：2008-11-12

    申请人： 株式会社山本镀金试验器

    发明人： 山本渡 ,  秋山胜德

    IPC分类号： C25D17/08 ,  C25D7/12

    CPC分类号： C23C18/163 ,  C23C18/02

    摘要： 本发明提供一种电镀夹具，在对多个被镀物同时实施电镀加工时，在每个被镀物上不会产生电镀不均而可实施均匀电镀加工的电镀夹具。一种在浸渍于电镀液中的状态下绕水平轴旋转的电镀夹具(2)，包括与旋转轴线(CL)平行且配置在以该旋转轴线(CL)为中心的圆周上的多根夹持棒(20)和用于固定上述多根夹持棒(20)的两端的一对端板(21)，在该夹持棒(20)上沿上述旋转轴线(CL)以规定间隔形成有多个槽。

    一种镀膜设备及其镀膜方法
    7.
    发明公开
    一种镀膜设备及其镀膜方法 有权 转让

    公开(公告)号：CN106435532A

    公开(公告)日：2017-02-22

    申请号：CN201611089968.1

    申请日：2016-12-01

    申请人： 佛山市中国科学院上海硅酸盐研究所陶瓷研发中心

    发明人： 蔡晓峰 ,  席红安

    IPC分类号： C23C18/02

    CPC分类号： C23C18/02

    摘要： 一种镀膜设备，包括加热装置、制备装置、冷却装置、外壳、机架和输送机构；外壳的内部依次设有加热装置、制备装置和冷却装置；机架设置于外壳的底部；输送机构包括第一输送机构、第二输送机构和第三输送机构，第一输送机构设于加热装置的内部，第二输送机构设于制备装置的内部，第三输送机构设于冷却装置的内部；第一输送机构、第二输送机构和第三输送机构依次相连，同步传动。本发明通过采用精细雾化喷嘴，并且喷嘴可任意分布，解决了现有技术中大面积镀膜不均匀、镀液利用率低等问题，设备整体通过输送机构联动，达到整体生产过程中的一体化，提高了生产效率。

    导电性膜的制造方法以及导电性膜
    9.
    发明授权
    导电性膜的制造方法以及导电性膜 失效

    公开(公告)号：CN102077302B

    公开(公告)日：2013-12-11

    申请号：CN200980124784.6

    申请日：2009-06-24

    申请人： 株式会社日本触媒

    发明人： 下村政嗣 ,  薮浩 ,  平井悠司 ,  服部孝德 ,  藤田隆晴

    IPC分类号： H01B13/00 ,  H01B5/14

    CPC分类号： C23C18/08 ,  C23C18/02 ,  H01L51/0021 ,  Y10T442/10

    摘要： 本发明提供了导电性膜的制造方法以及导电性膜，该导电性膜的制造方法能够简易且低成本地制造网眼状的导电性膜，该导电性膜的网眼细，并将其使用在显示屏等中的情况下不产生波纹等。该导电性膜的制造方法将含有导电性微粒的有机溶剂分散体涂布于基板而制造网眼状的导电性膜，该制造方法包括使涂布的有机溶剂分散体在涂膜表面结露的同时蒸发有机溶剂的工序。该导电性膜是由导电性物质的网眼状线部和孔部形成的网眼状的导电性膜，该导电性膜的孔部的平均面积为400μm2以下，网眼状线部的线宽为5μm以下。