一种机械搅拌主轴
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103736419A

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201310754857.8

    申请日:2013-12-31

    发明人: 汤秀清

    IPC分类号: B01F15/00

    摘要: 一种机械搅拌主轴,包括,机体,其外表面设置有螺旋凹槽,机体上开设有一进气通道;套接在机体上机体外套,该机体外套上设置有与螺旋凹槽连通的冷却液进口、冷却液出口;轴芯,该轴芯通过分别位于机体上、下端部的上轴承和下轴承枢接于机体;固定连接在机体下端部并套设在轴芯外部的下端盖组件,该下端盖组件上开设有排气通道以及与进气通道连通的送气通道;固定在下端盖组件下方的安装座,该安装座内部设置有一安装腔,安装腔内设置有一固定在安装座上的油封,油封套设在轴芯上,且油封上设置有与轴芯密闭贴合的唇片;送气通道和排气通道均与安装腔导通。本发明使机械搅拌主轴的各个零部件在低温状态下工作,延长油封的更换周期。

    旋转机构、机床以及半导体制造装置

    公开(公告)号:CN105556184A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201480051893.0

    申请日:2014-11-19

    发明人: 中村刚

    摘要: 旋转机构包含:壳体;轴;轴承,其以能够使轴旋转的方式来支承轴;第一旋转部件,其设置于轴的第一端部,并且具有伸出到第一孔的径向外侧且至壳体的侧部的伸出部,伸出部具有规定大小的第一空隙地与壳体的侧部对置;第二旋转部件,其设置于轴的第二端部,并且伸出到第二孔的径向外侧,具有规定大小的第二空隙地与第二端部侧的壳体对置;第一开口,其向壳体的第一孔的径向外侧开口从而与第一旋转部件对置,并且沿着第一孔的周向延伸存在,向第一空隙供应气体;以及第二开口,其向壳体的第二孔的径向外侧开口从而与第二旋转部件对置,并且沿着第二孔的周向延伸存在,向第二空隙供应气体。