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    白色光干涉测量装置
    2.
    发明公开
    白色光干涉测量装置 有权

    公开(公告)号：CN103307969A

    公开(公告)日：2013-09-18

    申请号：CN201310079999.9

    申请日：2013-03-13

    申请人： 株式会社三丰

    发明人： 宇佐美敦司 ,  长滨龙也

    IPC分类号： G01B9/02

    CPC分类号： G01B9/02075 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02058 ,  G01B9/0209 ,  G01B9/04 ,  G01B2290/70

    摘要： 本发明提供一种白色光干涉测量装置，其包括干涉物镜、出射白色光束的白色光源、使白色光束反射的分束器，该干涉物镜使由分束器反射的白色光束在光轴的方向上会聚而照射于测量工件，并且使从测量工件反射得到的测量光束与从向测量工件会聚的白色光束分支得到的参照光束相干涉，该白色光干涉测量装置在白色光源与干涉物镜之间具有将向干涉物镜入射的白色光束校正为圆偏振光的偏振光校正部。

    激光干涉信号直流偏置漂移相位误差补偿方法及装置
    4.
    发明公开
    激光干涉信号直流偏置漂移相位误差补偿方法及装置 有权

    公开(公告)号：CN107449357A

    公开(公告)日：2017-12-08

    申请号：CN201710533008.8

    申请日：2017-07-03

    申请人： 浙江理工大学

    发明人： 严利平 ,  陈本永 ,  谢建东

    IPC分类号： G01B9/02

    CPC分类号： G01B9/0207 ,  G01B9/02075

    摘要： 本发明公开了一种激光干涉信号直流偏置漂移相位误差补偿方法及装置。激光干涉仪的参考信号和测量信号经信号放大滤波预处理，然后转换为数字信号；将参考信号和测量信号的数字信号依次通过插值滤波、过零仲裁后和相位计数后，采集获得特定时钟计数；根据特定时钟计数进行计算获得计数误差，用计数误差计算获得补偿的相位差。本发明克服了激光干涉仪中由于直流漂移引入的误差，提高了激光干涉仪信号处理中的相位测量精度，适用于各种干涉测量技术。

    一种干涉仪测量装置及其控制方法
    5.
    发明公开
    一种干涉仪测量装置及其控制方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN106931878A

    公开(公告)日：2017-07-07

    申请号：CN201511031860.2

    申请日：2015-12-31

    申请人： 上海微电子装备有限公司

    发明人： 沈鑫

    IPC分类号： G01B11/00 ,  G01B9/02

    CPC分类号： G01B11/02 ,  G01B11/00 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02075

    摘要： 本发明涉及一种干涉仪测量装置及其控制方法，该装置包括载物台、激光干涉仪以及安装于所述载物台上的测量镜，其特征在于，所述测量镜由多个平面镜沿水平方向拼接而成，所述激光干涉仪包括第一干涉仪和第二干涉仪，当所述载物台移动，使所述激光干涉仪发出的光对应入射至过渡区域时，所述第一干涉仪和所述第二干涉仪交替提供位置信息给所述载物台，所述过渡区域为所述第一干涉仪和所述第二干涉仪入射至不同的所述平面镜时经过的区域。本发明中，利用多个平面镜的拼接，同时配合两个干涉仪交替更新零位基准，来延展载物台在水平面上的测量行程。

    一种大范围绝对距离测量中空气折射率的修正方法
    8.
    发明公开
    一种大范围绝对距离测量中空气折射率的修正方法 无效

    公开(公告)号：CN105737733A

    公开(公告)日：2016-07-06

    申请号：CN201610078210.1

    申请日：2016-02-04

    申请人： 浙江理工大学

    发明人： 陈本永 ,  张世华 ,  严利平

    IPC分类号： G01B9/02

    CPC分类号： G01B9/02007 ,  G01B9/02005 ,  G01B9/02008 ,  G01B9/02062 ,  G01B9/02075 ,  G01B2290/60

    摘要： 本发明公开了一种大范围绝对距离测量中空气折射率的修正方法。采用基于激光单波长与合成波长的双色法实现绝对距离测量中空气折射率的自我修正。两个激光器分别输出波长固定和波长可调的激光光束，经激光干涉系统构建从大到小的合成波长链（每级合成波长之间满足级间过渡条件，且最小合成波长能过渡至单波长），分别对待测的绝对距离进行测量，得到精度逐渐提高的光学距离估计值；最小合成波长和单波长对应的光学距离同时得到，根据双色法空气折射率修正原理得到修正后的绝对距离。本发明适用的测距范围大、距离修正精度高，属于沿着实际测量光路的空气折射率全路径修正，且对温度、压强等环境参数的测量精度要求低，易于实现。

    一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及其测量方法
    9.
    发明公开
    一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及其测量方法 有权 转让

    公开(公告)号：CN105509636A

    公开(公告)日：2016-04-20

    申请号：CN201510848301.4

    申请日：2015-11-27

    申请人： 成都信息工程大学

    发明人： 许诚昕 ,  徐承成 ,  李运洪 ,  刘俊 ,  张白

    IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/02

    CPC分类号： G01B9/02018 ,  G01B9/02075 ,  G01B11/02

    摘要： 本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置，激光源包括n,个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器，同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中，采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。