使用组织的3‑D存储结构的高容量监视器晶体交换器

    公开(公告)号:CN104048590B

    公开(公告)日:2017-09-19

    申请号:CN201410097015.4

    申请日:2014-03-17

    Inventor: C.A.小果戈尔

    CPC classification number: G01N29/12 G01N29/2443 G01N2291/106

    Abstract: 公开了使用组织的3‑D存储结构的高容量监视器晶体交换器。一种用于在处理室中的沉积过程期间对沉积到基板上的材料进行监视和检测的装置包括:存储结构,其具有在分别第一和第二端之间延伸的主轴以及在第一和第二端之间的、围绕该主轴延伸的外侧表面。多个监视器晶体在沿所述外侧表面的间隔的位置处由该存储结构支撑,并且在其中,驱动机构使该存储结构相对于主轴旋转和轴向推进,从而使得至少一个监视器晶体相对于至少一个测量位置推进或后退。可以使用电刷接触或其它机构来对推进到测量位置的保持的晶体进行电连接,以便使用谐振电路来激励该晶体。

    一种超声波爬波探头
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108226298A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201611199959.8

    申请日:2016-12-22

    Inventor: 彭欣

    Abstract: 本发明涉及超声波探伤设备,具体公开了一种超声波爬波探头,包括外壳、探头晶片、数据接头以及导向筒,所述探头晶片和所述数据接头相对布置于所述外壳两端,所述探头晶片与所述导向筒同轴布置,所述探头晶片与所述外壳滑动配合,所述数据接头与所述探头晶片电连接,所述导向筒远离所述外壳的一端端部为内凹的圆弧形,所述探头晶片沿轴向设有定位凸台,所述定位凸台上紧套有弹簧,所述弹簧与所述外壳抵接。本发明具有结构简单,可靠性高,检测结果准确等优点。

    使用组织的3-D存储结构的高容量监视器晶体交换器

    公开(公告)号:CN104048590A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201410097015.4

    申请日:2014-03-17

    Inventor: C.A.小果戈尔

    CPC classification number: G01N29/12 G01N29/2443 G01N2291/106

    Abstract: 公开了使用组织的3-D存储结构的高容量监视器晶体交换器。一种用于在处理室中的沉积过程期间对沉积到基板上的材料进行监视和检测的装置包括:存储结构,其具有在分别第一和第二端之间延伸的主轴以及在第一和第二端之间的、围绕该主轴延伸的外侧表面。多个监视器晶体在沿所述外侧表面的间隔的位置处由该存储结构支撑,并且在其中,驱动机构使该存储结构相对于主轴旋转和轴向推进,从而使得至少一个监视器晶体相对于至少一个测量位置推进或后退。可以使用电刷接触或其它机构来对推进到测量位置的保持的晶体进行电连接,以便使用谐振电路来激励该晶体。

    超声探测器和超声装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103251427A

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN201310052134.3

    申请日:2013-02-18

    Inventor: 立山二郎

    Abstract: 本发明公开了超声探测器和超声装置。该超声探测器包括发送单元,其响应于作为电信号的发送信号的输入来发送超声波;接收单元,其通过将发送的超声波的反射波转换成电信号来生成接收信号;放大单元,其放大该接收信号;以及信号切换单元,其在所述发送信号正被发送时中断所述放大单元并且在所述发送信号未被发送时连接所述放大单元。

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