公开(公告)号：CN106292004B

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：CN201610689107.0

申请日：2016-08-19

申请人： 京东方科技集团股份有限公司

发明人： 王莉莉 ,  王路

IPC分类号： G02F1/13

CPC分类号： H01L21/447 ,  B23K20/121 ,  H01L21/203 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/76251 ,  H01L23/4828 ,  H01L2021/60187 ,  H01L2224/75

摘要： 本发明提供了一种覆晶薄膜和显示面板的绑定装置及绑定方法。该绑定装置包括：承载台；设置于所述承载台上方的抓取单元，所述抓取单元被配置为用于抓取整张覆晶薄膜的至少部分区域；驱动单元，被配置为使得所述抓取单元和所述承载台能够相对运动；控制器，与所述驱动单元和检测单元信号连接；所述检测单元，被配置为用于检测所述一排第一绑定区和所述一排第二绑定区的相对位置信息；当所述一排第一绑定区和所述一排第二绑定区相对位时，所述检测单元向所述控制器发送停止对位信息；所述控制器根据所述停止对位信息控制所述驱动单元停止对位；绑定单元，被配置为将对位后的所述一排第一绑定区和所述一排第二绑定区绑定在一起。

公开(公告)号：CN107799440A

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201710762195.7

申请日：2017-08-30

申请人： 细美事有限公司

发明人： 朴珉贞 ,  李正悦 ,  李贤熙 ,  曺守铉

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/302 ,  F26B5/04 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/67075 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/683 ,  H01L21/68742 ,  H01L2021/60187 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/68792

摘要： 本发明涉及用于处理基板的装置和方法。该方法包括在供给处理液的同时以第一速度和第二速度交替地重复旋转基板，其中，第二速度高于第一速度。

公开(公告)号：CN106292004A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610689107.0

申请日：2016-08-19

申请人： 京东方科技集团股份有限公司

发明人： 王莉莉 ,  王路

IPC分类号： G02F1/13

CPC分类号： H01L21/447 ,  B23K20/121 ,  H01L21/203 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/76251 ,  H01L23/4828 ,  H01L2021/60187 ,  H01L2224/75

摘要： 本发明提供了一种覆晶薄膜和显示面板的绑定装置及绑定方法。该绑定装置包括：承载台；设置于所述承载台上方的抓取单元，所述抓取单元被配置为用于抓取整张覆晶薄膜的至少部分区域；驱动单元，被配置为使得所述抓取单元和所述承载台能够相对运动；控制器，与所述驱动单元和检测单元信号连接；所述检测单元，被配置为用于检测所述一排第一绑定区和所述一排第二绑定区的相对位置信息；当所述一排第一绑定区和所述一排第二绑定区相对位时，所述检测单元向所述控制器发送停止对位信息；所述控制器根据所述停止对位信息控制所述驱动单元停止对位；绑定单元，被配置为将对位后的所述一排第一绑定区和所述一排第二绑定区绑定在一起。