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公开(公告)号：CN110310877B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN201910212432.1
申请日：2019-03-20
发明人： 乔恩·卡尔·韦斯 , 斯坦尼斯拉夫·彼得拉斯 , 博胡米拉·伦佐娃 , 格德·路德维希·本纳
IPC分类号： H01J37/256 , H01J37/28 , H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/05 , G01N23/2251 , G01N23/20058
摘要： 公开了一种用于自动对准扫描透射电子显微镜以便旋进电子衍射映射数据的方法。
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公开(公告)号：CN1012402B
公开(公告)日：1991-04-17
申请号：CN88103140
申请日：1988-05-21
申请人： 电子扫描公司
发明人： 詹姆斯·F·曼库索 , 威廉·B·马克斯韦尔 , 杰拉西莫斯·D·丹尼拉托斯
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/256 , G01N23/22
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/2448 , H01J2237/2449 , H01J2237/24507
摘要： 本发明提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的装置。该装置可以包括一种扫描电子显微镜。本发明还提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的方法。
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公开(公告)号：CN107004556B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201580063795.3
申请日：2015-03-23
申请人： 杰富意钢铁株式会社
IPC分类号： H01J37/18 , H01J37/256 , H01J37/28 , G01N23/207 , G01N23/2252
CPC分类号： G01N23/2252 , G01N23/207 , H01J37/18 , H01J37/256 , H01J37/28 , H01J2237/022 , H01J2237/2067 , H01J2237/2807 , H01J2237/2813
摘要： 能够没有污染影响地对试样中的微量碳进行分析。在电子束显微分析仪中，并用液氮阱(6)和等离子体或氧自由基发生装置作为污染的抑制机构，并且设置2个以上的检测试样(7)中的碳的特性X射线(8)的碳检测部(9，10)。
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公开(公告)号：CN105280464A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510581543.1
申请日：2015-06-08
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC分类号： H01J37/256 , H01J37/08 , H01J37/28 , H05H7/10 , H01J49/02
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/10 , H01J37/28 , H01J2237/0435 , H01J2237/0492 , H01J2237/28 , H01J2237/31764 , H01J2237/31774
摘要： 一种操作多波束粒子光学单元的方法，包括：(1)提供粒子光学部件的效应的第一设定，其中粒子光学成像可通过至少两个参数来表征；(2)确定矩阵A；使得以下适用：，其中且，其中，表示在所述第一设定的情况下的部件的效应的改变，表示在所述第一设定的情况下的参数的改变；(3)确定矩阵S，使得以下适用：S·A＝DA，其中DA是对角矩阵；(4)限定表征期望的成像的参数的值；(5)提供所述部件的效应的第二设定，使得所述粒子光学成像由具有限定值的参数表征，其中所述第二设定所需的效应根据以下来确定：，其中且，其中，表示在所述第二设定的情况下部件的效应，并且表示所述参数的限定值。
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公开(公告)号：CN110310877A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910212432.1
申请日：2019-03-20
发明人： 乔恩·卡尔·韦斯 , 斯坦尼斯拉夫·彼得拉斯 , 博胡米拉·伦佐娃 , 格德·路德维希·本纳
IPC分类号： H01J37/256 , H01J37/28 , H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/05 , G01N23/2251 , G01N23/20058
摘要： 公开了一种用于自动对准扫描透射电子显微镜以便旋进电子衍射映射数据的方法。
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公开(公告)号：CN118231208A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202311768651.0
申请日：2023-12-21
申请人： FEI 公司
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/252 , H01J37/256
摘要： 本发明公开了带电粒子显微镜(CPM)支持系统和装置，以及相关方法、计算设备和计算机可读介质。一种带电粒子显微镜支持装置包括：第一逻辑，该第一逻辑用于在带电粒子相机的第一像素处检测第一带电粒子事件；和第二逻辑，该第二逻辑用于在带电粒子相机的包含第一像素的像素子区域内基于剂量率和该像素子区域内的每个像素的能量值来检测是否存在第二带电粒子事件。当确定存在第二带电粒子事件时，第二逻辑确定第二带电粒子事件在子区域内的位置。该支持装置还包括第三逻辑，该第三逻辑用于输出表示第一带电粒子事件和第二带电粒子事件的带电粒子事件数据。
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公开(公告)号：CN110770874B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN201880027570.6
申请日：2018-02-28
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)有限公司
IPC分类号： H01J37/256
摘要： 一种使用多束成像系统对衬底表面成像的方法，包括：使用多极场装置修改电子束；使用具有多个孔的分束装置从电子束生成小束；响应于将小束的焦点投射到表面上，使用偏转器组驱动小束以扫描表面区域以基于从该区域散射的电子接收信号；以及基于所述信号确定用于检查的区域的图像。多束成像系统包括：电子源；用于束成形和束畸变校正的第一多极场装置；分束装置；投射透镜组；偏转器组；物镜组；检测器阵列；第二多极场装置；处理器；以及存储器，存储用于基于所述信号确定用于检查的区域的图像的指令。
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公开(公告)号：CN110770874A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201880027570.6
申请日：2018-02-28
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)有限公司
IPC分类号： H01J37/256
摘要： 一种使用多束成像系统对衬底表面成像的方法，包括：使用多极场装置修改电子束；使用具有多个孔的分束装置从电子束生成小束；响应于将小束的焦点投射到表面上，使用偏转器组驱动小束以扫描表面区域以基于从该区域散射的电子接收信号；以及基于所述信号确定用于检查的区域的图像。多束成像系统包括：电子源；用于束成形和束畸变校正的第一多极场装置；分束装置；投射透镜组；偏转器组；物镜组；检测器阵列；第二多极场装置；处理器；以及存储器，存储用于基于所述信号确定用于检查的区域的图像的指令。
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公开(公告)号：CN105280464B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201510581543.1
申请日：2015-06-08
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC分类号： H01J37/256 , H01J37/08 , H01J37/28 , H05H7/10 , H01J49/02
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/10 , H01J37/28 , H01J2237/0435 , H01J2237/0492 , H01J2237/28 , H01J2237/31764 , H01J2237/31774
摘要： 一种操作多波束粒子光学单元的方法，包括：(1)提供粒子光学部件的效应的第一设定，其中粒子光学成像可通过至少两个参数来表征；(2)确定矩阵A；使得以下适用：，其中且，其中，表示在所述第一设定的情况下的部件的效应的改变，表示在所述第一设定的情况下的参数的改变；(3)确定矩阵S，使得以下适用：S·A＝DA，其中DA是对角矩阵；(4)限定表征期望的成像的参数的值；(5)提供所述部件的效应的第二设定，使得所述粒子光学成像由具有限定值的参数表征，其中所述第二设定所需的效应根据以下来确定：，其中且，其中，表示在所述第二设定的情况下部件的效应，并且表示所述参数的限定值。
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公开(公告)号：CN109585244B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201811281545.9
申请日：2018-10-23
申请人： 中国科学院电工研究所
IPC分类号： H01J37/10 , H01J37/256 , H01J37/26 , H01J37/30
摘要： 本发明公开了一种高功率密度的电子束聚焦装置，包括沿电子束发射方向依次设置的聚光镜模块、辅助聚光镜模块和物镜模块；所述聚光镜模块用于形成第一磁场，以使电子束形成交叉点；所述辅助聚光镜模块用于形成第二磁场，以使电子束的运动轨迹跟光轴平行，形成平行束，所述第一磁场比第二磁场的磁场强度大；所述物镜模块用于形成第三磁场，使电子束聚焦到靶材平面。采用聚光镜、辅助聚光镜和物镜的多透镜组合方式，实现电子束的交叉‑平行‑聚焦控制，从而获得电子束系统的高缩小倍率、小像差以及束流的高效率传递。
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