公开(公告)号：CN114370887B

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202111394717.5

申请日：2021-11-23

申请人： 上海航天控制技术研究所

发明人： 杨浩 ,  王伟 ,  成宇翔 ,  李绍良 ,  郑大伟 ,  赵万良

IPC分类号： G01C25/00 ,  G01C19/567

摘要： 本发明提供一种基于虚拟转动的力平衡模式振动陀螺零位自标定方法，在力平衡模式下进行如下步骤：步骤S1，在第一时间内，向振动陀螺施加一虚拟进动电压V，并获取所述振动陀螺的力平衡回路的控制电压，记为VFTR1；步骤S2，在第二时间内，向所述振动陀螺施加一反向的虚拟进动电压‑V，并获取所述振动陀螺的力平衡回路的控制电压，记为VFTR2；步骤S3，根据VFTR1和VFTR2，对所述振动陀螺进行零位标定。本发明利用控制回路施加虚拟进动，实现了陀螺仪在不同使用环境以及时间下的零位自标定。

公开(公告)号：CN104215232B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201310221525.3

申请日：2013-06-05

申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所

发明人： 于连忠 ,  孙晨

IPC分类号： G01C19/567 ,  G01C25/00

摘要： 一种MEMS陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过所述第二弹性梁相连接。所述质量块和内框架之间设置有四组相互对应的梳状耦合结构。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明通过测量盖板硅片与测量体之间的平板电容的变化来计算出旋转的角速度。本发明具有检测灵敏度、准确度高等特点。

公开(公告)号：CN104913773A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201510288003.4

申请日：2015-05-29

申请人： 上海交通大学

发明人： 张卫平 ,  唐健 ,  刘亚东 ,  邢亚亮 ,  孙殿竣 ,  汪濙海 ,  陈文元

IPC分类号： G01C19/567 ,  G01C19/5684

CPC分类号： G01C19/567 ,  G01C19/5684

摘要： 本发明提供了一种半球形微陀螺封装结构及其制备方法，包括：单晶硅基底、均匀分布信号电极、半球壳式谐振子、圆柱形支撑柱、导通电极、玻璃基底、交叉连接线、引线焊接板、底部引线、单晶硅盖板、隔离层、种子层、导通层、通孔焊接板、顶部引线。本发明采用背部导通电极和交叉连接线实现半球壳式谐振子的电气连接，避免在半球壳式谐振子上直接焊接导线而引起结构的不对称；将单晶硅盖板覆盖在单晶硅基底上端，可保护半球壳式谐振子及信号电极不被破坏，同时可在单晶硅基底和单晶硅盖板之间形成高真空区域，实现微陀螺的片上密封；将通孔结构和信号电极相连，便于从封装结构外部对微陀螺进行信号施加和信号提取；本发明制作方便，可靠性高。

公开(公告)号：CN104122410A

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201410169121.9

申请日：2014-04-24

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 堤昭夫

IPC分类号： G01P15/00 ,  G01P15/097 ,  G01C19/567

CPC分类号： G01C19/5776 ,  G01C19/5614

摘要： 本发明提供一种物理量检测电路、以及使用了该物理量检测电路的物理量检测装置、电子设备以及移动体，所述物理量检测电路能够降低由电源电压而引起的输出变动。检测电路(12)(物理量检测电路)包括数字运算电路(108)(运算处理部)，所述数字运算电路(108)实施根据与物理量相对应的检测信号，而生成与物理量的大小相对应的运算信号的运算处理。数字运算电路(108)实施包括电源电压变动补正处理(P15)在内的运算处理，所述电源电压变动补正处理为，根据将所供给的电源电压设为变量的补正式，而对检测信号、和通过对检测信号实施运算处理的一部分而得到的信号中的至少一方进行补正的处理。

公开(公告)号：CN101932908B

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN200880126377.4

申请日：2008-12-19

申请人： 萨基姆防务安全公司

发明人： 克里斯汀·利格农 ,  阿诺尔德·卡雷

IPC分类号： G01C19/567 ,  G01C19/56

CPC分类号： G01C19/567 ,  G01C19/56

摘要： 在包括至少一个振动陀螺仪的陀螺系统中，设计用于沿着测量轴传送第一角度值测量结果的第一角度测量装置，以及设计用于沿着所述测量轴传送第二角度值测量结果的第二角度测量装置，第一角度值由在当前振动位置振动的第一角度测量装置传送，与此同时，第二角度值由第二角度测量装置传送。由此，推断出基于第一和第二角度值之间的比较结果所校正的第二角度值。接着，第一角度测量装置的振动位置从当前位置改变至另一振动位置。此后，由第一角度测量装置传送第一角度值，与此同时，由第二角度测量装置传送第二角度值，并由此可推断出基于第一和第二角度值之间的比较结果所校正的第一角度值。

公开(公告)号：CN117295926A

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN202280029543.9

申请日：2022-02-15

申请人： 塔莱斯公司

发明人： N·韦尔西尔 ,  J·科坦蒂克

IPC分类号： G01C19/567

摘要： 本发明涉及设置在载体上的振动惯性传感器的测量，并且振动惯性传感器包括谐振器，谐振器围绕限定xy传感器参考系的两个相互垂直的x轴和y轴延伸，并且振动惯性传感器包括：‑至少一个振动可移动质量体，其包括至少两个部分，该至少两个部分被配置为在限定x'y'波参考系的方向x'上反相振动，其中，振动波相对于x轴形成电角度θ；‑沿两个轴x和y操作的至少一对激励换能器和一对检测换能器；当该传感器在振动波沿x'轴振动的情况下操作时应用校正方法，并且该校正方法包括以下步骤，当载体实质上平稳时：A根据命令角速度Ωc命令振动波进行电旋转，使得电角度θ扫描至少一个弧度为kπ的角范围；然后B取回由惯性传感器在所述角范围内测量的测量角度值Ωe，并且确定所述测量角度值的平均值Ωem；然后C从所述平均值Ωem中减去命令角速度Ωc；其中，针对至少两个不同的命令角速度进行步骤A至步骤C，以确定测量角度值的至少两个平均值；然后D确定：‑平均电比例因子误差FEem，以及‑载体的实际角度值Ωv加上传感器的漂移值Dm，所述确定是基于命令角速度Ωc和测量角度值的平均值Ωem，并且根据以下方程进行的：Ωem‑Ωc＝(Ωv+Dm)+FEem.Ωc。

公开(公告)号：CN115315612A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202080098570.2

申请日：2020-07-16

申请人： 住友精密工业株式会社

发明人： 森口孝文

IPC分类号： G01C19/5776 ,  G01C19/567

摘要： 该振动型角速度传感器(100)具备第1角速度传感器部(101)和第2角速度传感器部(102)。通过第2角速度传感器部在规定期间内进行如下处理：通过次级侧控制电路(17)检测基于振子(11)的次级振动的角速度；及更换功能而通过初级侧控制电路(16)检测基于振子的次级振动的角速度。通过第1角速度传感器部在规定期间内检测角速度。根据在规定期间内通过第1角速度传感器部检测出的第1检测结果和在规定期间内通过第2角速度传感器部检测出的第2检测结果来计算第1角速度传感器部的偏置成分。

公开(公告)号：CN104122409B

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201410169101.1

申请日：2014-04-24

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 瀬尾显太郎

IPC分类号： G01P15/00 ,  G01P15/097 ,  G01C19/567

摘要： 本发明提供一种物理量检测电路以及使用了该物理量检测电路的物理量检测装置、电子设备和移动体，所述物理量检测电路能够在抑制电路规模增加的同时进行数字处理。检测电路(12)(物理量检测电路)包括：Δ∑调制器(106)(A/D转换器)，其将与物理量相对应的检测信号数字化并输出检测数据；运算部(111)，其包括加法器(114a、114b)和乘法器(116)中的至少一个；主序列计数器(122)(计数器)，其对时钟信号(MCK)的时钟数进行计数，并周期性地将计数值初始化；控制电路(120)(控制部)，其根据计数值，而使运算部(111)实施相互不同种类的多个运算处理，所述运算处理为，用于根据检测数据而生成与物理量的大小相对应的运算数据的运算处理。

公开(公告)号：CN108844531A

公开(公告)日：2018-11-20

申请号：CN201810303836.7

申请日：2018-04-03

申请人： 清华大学

发明人： 陈志勇 ,  宋霖 ,  张嵘 ,  周斌

IPC分类号： G01C19/567

CPC分类号： G01C19/567

摘要： 本发明公开了一种高Q值微机电陀螺的快速起振控制方法及装置，其中，方法包括以下步骤：通过自激振荡方式用预设幅值的驱动信号驱动高Q值微机电陀螺，使微机电陀螺的振动频率趋近于自然频率和微机电陀螺的幅值趋近于设定值，并获取自然频率估计值；当陀螺的振动状态达到预设条件时，将自然频率估计值作为初始频率，并通过锁相环方式驱动微机电陀螺，以使得微机电陀螺的振动频率锁定至自然频率和微机电陀螺的幅值稳定于设定值。该方法可以在仅了解高Q值微机电陀螺自然频率大致散布范围的情况下，使其快速起振并精确地锁定至自然频率稳幅工作，并且有效提高高Q值微机电陀螺驱动控制鲁棒性。

公开(公告)号：CN103644901B

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201310651861.1

申请日：2013-12-05

申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所

发明人： 杨勇 ,  蒋春桥 ,  方针

IPC分类号： G01C19/567

摘要： 本发明公开了一种用于半球谐振陀螺敏感表头的装配夹具，包括底座、空心圆柱、定位销螺杆、若干支柱杆及若干深度千分尺，所述空心圆柱设置于底座的中心位置且与底座所在的平面相垂直，所述若干支柱杆均匀设置于底座的外侧且均与底座所在的平面相垂直，每一支柱杆上垂直安装有一深度千分尺，且所述若干深度千分尺位于同一水平面上，所述若干深度千分尺所在的水平面高于空心圆柱的顶端所在的水平面，所述定位销螺杆安装于空心圆柱的侧壁上且与所述空心圆柱的侧壁相垂直。本发明还公开了一种用于半球谐振陀螺敏感表头的装配检测系统，其操作简单、能缩短装配时间、能精确进行微位移的调整以及大大提高装配效率。