公开(公告)号：CN116990545A

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202310368523.0

申请日：2023-04-07

申请人： 中国科学院空天信息创新研究院

发明人： 陈嘉民 ,  范晨旭 ,  邹旭东

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/105

摘要： 本公开提供一种基于TMR的MEMS加速度计及制备方法，加速度计包括：质量块，用于在受到加速度作用时产生位移；永磁体，设置于质量块的第一侧，用于产生质量块运动方向上的梯度变化磁场；磁敏感元件，设置于质量块的第二侧，用于根据位移与梯度变化磁场产生变化电压信号；处理器，用于根据变化电压信号计算得到加速度；其中，第一侧与第二侧为相对侧，位移的方向与第一侧所在平面平行；永磁体与质量块的间距在微米量级。本公开的加速度计通过设计使磁敏感元件、质量块、永磁体三者垂直排列，使得永磁体在磁敏感元件处能产生更大的磁场，提高了加速度计的灵敏度。

公开(公告)号：CN116819125A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202310789617.5

申请日：2023-06-30

申请人： 南京航空航天大学

发明人： 徐园平 ,  张迎澳 ,  汪阳 ,  江琦琦 ,  周瑾 ,  杨路

IPC分类号： G01P15/105 ,  G01P21/00

摘要： 本发明公开了一种混合式抗磁悬浮加速度传感器及其测量方法。混合式抗磁悬浮加速度传感器是由“Opposite”排布形式的充磁磁极阵列与采用抗磁性材料制作的矩形悬浮板构成的被动稳态悬浮结构以及由感应线圈、激光位移传感器、导磁芯轴、激励线圈、控制器、功率放大器构成的主动悬浮控制结构组成；测量方法包括以下几个步骤：开展混合式抗磁悬浮加速度传感器的安装；开展混合式抗磁悬浮加速度传感器的调试；开展混合式抗磁悬浮加速度传感器的实际测试。本发明实现了微小加速度的高精度测量，克服了现有高精度加速度传感器普遍存在的摩擦问题，在微小加速度的测量具备天然的优势。

公开(公告)号：CN114910664A

公开(公告)日：2022-08-16

申请号：CN202210538256.2

申请日：2022-05-18

申请人： 清华大学

发明人： 李德才 ,  牧学禹 ,  杨少杰 ,  孔祥东

IPC分类号： G01P15/105

摘要： 本申请实施例提供一种磁性液体加速度传感器，属于机械工程测量技术领域，包括：管体，管体的一端设置有第一端盖，另一端设置有第二端盖；复合磁芯，复合磁芯位于管体内，复合磁芯的外壁与管体的内壁之间设置有磁性液体；导向件，导向件沿着管体的长度方向设置在管体内，复合磁芯与导向件滑动连接；霍尔元件，霍尔元件设置在管体的外壁上，且霍尔元件位于管体的中间位置；第一端盖和第二端盖上均设置有回复磁铁，回复磁铁用于使复合磁芯在未工作状态时保持在管体的中间位置。通过本申请实施例提供的一种磁性液体加速度传感器，可以提高磁性液体加速度传感器内磁芯对于震动冲击的抵抗能力。

公开(公告)号：CN108417441B

公开(公告)日：2021-12-24

申请号：CN201810130929.4

申请日：2018-02-09

申请人： 皮尔茨有限及两合公司

发明人： J·普尔曼 ,  B·诺伊施万徳 ,  F·沙尔普夫

IPC分类号： H01H47/04 ,  H01H47/32 ,  G01P15/105 ,  G01P15/18 ,  G01P15/14

摘要： 本发明涉及一种用于运行至少一个继电器的电路布置系统，该电路布置系统包括：电压供给装置，该电压供给装置能为所述至少一个继电器提供运行电压，电子开关、继电器的继电器线圈以及分流电阻在运行电压与接地线之间被彼此串联地电连接；以及电流调节器，该电流调节器被构造使得该电流调节器能尤其是利用脉宽调制来驱控电子开关并且能调节流过继电器线圈的控制电流。所述电路布置系统包括至少一个传感器件以及包括分析单元，所述至少一个传感器件设置用于检测作用于继电器的振动、冲击或振荡，所述分析单元用于分析由所述传感器件检测到的传感器数据，所述电流调节器构成用于以经所述分析单元分析的传感器数据为基础调节控制电流。

公开(公告)号：CN112379118B

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202011278421.2

申请日：2020-11-16

申请人： 北京理工大学 ,  北京理工大学前沿技术研究院

发明人： 刘辉 ,  张伟 ,  徐丽丽 ,  韩立金 ,  张勋

IPC分类号： G01P3/44 ,  G01P15/105

摘要： 本发明提供了一种旋转角速度和旋转角加速度一体化测量装置包括电磁组件、电感组件、第一感应电压输出线路和第二感应电压输出线路；电磁组件的输入端与被测轴同转速传动连接，电磁组件的输出端与电感组件的输入端电连接；第一感应电压输出线路与电磁组件的输出端电连接，用于输出电磁组件切割磁力线产生的第一感应电压；第二感应电压输出线路与电感组件的输出端电连接，用于输出电感组件感应出的第二感应电压。被测轴转动，带动电磁组件转动，切割磁力线，产生第一感应电压，根据第一感应电压值能够得到被测轴的角速度值。当被测轴的转速波动时，电感组件感应出第二感应电压，第二感应电压正比于被测轴转速变化的快慢，由此得到被测轴的角加速度。

公开(公告)号：CN111044756A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN202010009983.0

申请日：2020-01-06

申请人： 清华大学

发明人： 李德才 ,  孙睿

IPC分类号： G01P15/105

摘要： 本发明公开了一种毛细管式磁性液体加速度传感器，包括两个夹持组件、毛细管、连通管、两个线圈和两个永磁体，其中，两个夹持组件分别设有储存磁性液体的储液腔；毛细管的两端分别固定在两个夹持组件上且分别与两个储液腔密封连通，以使两个储液腔中的部分磁性液体从毛细管的两端进入毛细管内形成两个磁性液柱，毛细管内位于两个磁性液柱之间设有气柱或与磁性液体不相溶的非磁性液柱；连通管的两端分别与两个储液腔密封连通；两个线圈相对间隔开地套设在毛细管的外周；两个永磁体分别固定在两个夹持组件上并分别与毛细管的两端端部相对。本发明毛细管式磁性液体加速度传感器具有稳定性好、磁路简单、测量结果准确且使用时效长等优点。

公开(公告)号：CN108918913B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201810468722.8

申请日：2018-05-16

申请人： 华中科技大学

发明人： 刘向东 ,  罗俊

IPC分类号： G01P15/105

摘要： 本发明公开一种固有频率可调的垂向超导磁力弹簧振子，包括：检验质量、负刚度超导线圈以及正刚度超导线圈；负刚度超导线圈安装在检验质量半封闭空间开口处，负刚度超导线圈的磁力线一部分处于检验质量的封闭空间内呈压缩状态，另一部分处于检验质量的封闭空间外呈扩展状态，负刚度超导线圈施加于检验质量的垂向磁斥力随检验质量偏离平衡位置的位移成比例变化，变化量方向与位移相同；正刚度超导线圈安装在检验质量半封闭空间内部，正刚度超导线圈施加于检验质量的垂向磁斥力同样随检验质量偏离平衡位置的位移成比例变化，但变化量方向与位移相反。本发明实现了超导弹簧振子固有频率可调，同时可降低检验质量水平与垂向自由度的交叉耦合效应。

公开(公告)号：CN106771360B

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201611032202.X

申请日：2016-11-22

申请人： 三峡大学

发明人： 潘礼庆 ,  杨先卫 ,  王超 ,  罗志会 ,  谭超 ,  刘敏 ,  朴红光 ,  鲁广铎 ,  许云丽 ,  黄秀峰 ,  郑胜 ,  赵华 ,  张超

IPC分类号： G01P15/105

摘要： 本发明公开了一种单轴MEMS加速度计。该加速度计包括磁场源，用于产生梯度磁场，磁场源的位置固定；隧道磁电阻芯片，为具有隧道磁电阻传感器的芯片，隧道磁电阻芯片用于感知磁场大小和方向的变化；隧道磁电阻芯片的数量为两个，分别位于所述磁场源的两侧，隧道磁电阻芯片与磁场源位于同一直线上，隧道磁电阻芯片的磁敏感方向与磁场源的磁矩方向位于同一直线上，且隧道磁电阻芯片关于所述磁场源对称，隧道磁电阻芯片在加速度的作用下能够沿所述直线在同一方向上移动。本发明提供的加速度计与现有技术中的加速度测量仪器相比，提高了加速度的测量精度，扩大了加速度的测量范围。

公开(公告)号：CN109142784A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201811049038.2

申请日：2018-09-10

申请人： 东南大学

发明人： 杨波 ,  李成 ,  高小勇 ,  王斌龙

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/105 ,  G01P15/13

摘要： 本发明提供了一种基于杠杆机构的差动质量块式隧道磁阻微加速度计装置，包括上层隧道磁阻传感元件结构、中层硅微传感器结构、下层布有电极引线的玻璃衬底结构；上层结构和中层结构分别通过两组锚点键合在下层结构上。本发明结合了MEMS技术与量子力学中的隧道磁阻效应，结构合理简单、易于加工、体积小、测量精度高、灵敏度高；利用磁场强度改变实现隧道磁阻效应，通过磁片位移使隧道磁阻元件周围磁场强度变化，线性度好、性能优；采用杠杆机构连接质量块与外部框架，当有加速度信号输入时，质量块与外部框架形成差动；两个隧道磁阻敏感元件反向对称布置，输出值反向偏离初始值，实现差分检测，有效抑制干扰引起的共模误差、增强装置可靠性。

公开(公告)号：CN106353790B

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201610895233.1

申请日：2016-10-13

申请人： 中国地震局工程力学研究所

发明人： 高峰 ,  杨学山 ,  贾行建 ,  王雷 ,  杨巧玉

IPC分类号： G01V1/18 ,  G01P15/105

摘要： 本发明提供了一种无源伺服地震转动速度计，属于地震测量装置领域，包括底板、轮辐式质量弹簧装置、两个摆式无源伺服大阻尼动圈换能器以及电路板；摆式无源伺服大阻尼动圈换能器包括摆架、动圈组件以及磁路系统；两摆架的一端对称安装在轮辐式质量弹簧装置的质量环的两侧，动圈组件安装在摆架的另一端，动圈组件伸入磁路系统的磁缝隙中；电路板包括两个无源伺服大阻尼动圈换能电路、两个角加速度调理电路以及合成电路；换能器与换能电路输入端连接，换能电路的输出端与角加速度调理电路的输入端电连接，两个角加速度调理电路的输出端连接合成电路；合成电路用于消除非转动分量，合成转动分量，输出与地震转动加速度成正比的电压信号。