一种紧凑型无限共轭明场照明显微镜光学系统

    公开(公告)号:CN118112771A

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202410126399.1

    申请日:2024-01-29

    发明人: 邵加强

    摘要: 本发明涉及一种紧凑型无限共轭明场照明显微镜光学系统,属于显微光学系统技术领域。本发明通过设置分光镜和不同的筒镜的组合结构,且高倍筒镜、低倍筒镜、光源筒镜共用同一物镜,实现了不同放大倍率成像,整体系统可实现可见光波段范围内的平场消色差,工作波段宽,在工作波段内成像质量优异,不仅节约了制备成本,并且也能够根据需要加入不同波段滤光片及分光镜拓展用途,提高了适用性。

    一种基于折返式物镜的检测设备

    公开(公告)号:CN117369107A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202311665905.6

    申请日:2023-12-07

    IPC分类号: G02B21/12 G02B21/04 G02B21/02

    摘要: 本发明提供了一种基于折返式物镜的检测设备,属于半导体检测领域,检测设备包括成像单元、变倍镜组、半透半反镜、明场光入射镜筒组、折返式物镜组、补偿镜和载台,折返式物镜组包括开孔式、增透膜加补偿镜两种模式,并在暗场光的出射路径设置功率计,本申请提供了大数值孔径NA的暗场散射信号收集,以及提供明场和暗场可选的混合双通道,实现相同NA的明暗场图像融合,提高了检测精度和灵敏度。

    显微镜照明系统、控制方法及显微成像检测系统

    公开(公告)号:CN117233947A

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311516724.7

    申请日:2023-11-15

    IPC分类号: G02B21/06 G02B21/12

    摘要: 本发明提供了显微镜照明系统及其控制方法、显微成像检测系统,以及计算机可读存储介质。所述显微镜照明系统包括光源、分光模块、明场照明光路及暗场照明光路。所述分光模块位于所述光源的后端,用于将对应第一光阑图案的第二光束反射到后端的明场照明光路,并将所述第一光束中剩余的第三光束反射到后端的暗场照明光路,其中,所述第一光阑图案是根据待测样本的特征图案来确定。所述明场照明光路用于将所述第一光阑图案的光源像成像到后端的显微物镜的入瞳表面,以向所述待测样本提供平行照射的明场照明。所述暗场照明光路中包括暗场照明模块,用于根据所述待测样本的所述特征图案调制所述第三光束,以向所述待测样本提供适应的暗场照明。

    一种具有明暗视场切换功能的金相显微镜

    公开(公告)号:CN116184646A

    公开(公告)日:2023-05-30

    申请号:CN202211730648.5

    申请日:2022-12-30

    IPC分类号: G02B21/12 G02B21/10 G02B21/00

    摘要: 本发明公开了一种具有明暗视场切换功能的金相显微镜,包括观察部件、载物台、机架主体、明暗视场切换机构、转换器、聚光镜部件、集光器和下光源,其中:明暗视场切换机构,包括壳体、上光源、以及均内置于壳体的第一滤光单元、第二滤光单元、第一光阑调节单元、第二光阑调节单元、聚光单元、起偏单元、检偏单元和视场切换单元;观察部件安装于壳体的上方,转换器安装于壳体的下方,壳体、载物台、聚光镜部件、集光器和下光源均与机架主体连接,且转换器、载物台、聚光镜部件和集光器由上至下依次设置;通过调节视场切换单元转换工作状态为明场或暗场。该装置能够快速切换明暗场,提高光路的利用率,消除杂散光,且便于观察收集数据。

    无限远显微物镜照明光学系统
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114895451A

    公开(公告)日:2022-08-12

    申请号:CN202210643971.2

    申请日:2022-06-09

    发明人: 包兴臻 何锋赟

    IPC分类号: G02B21/08 G02B21/12 G02B21/06

    摘要: 本发明提供一种无限远显微物镜照明光学系统,其特征在于,包括:照明系统、挡光系统、分光系统、显微物镜组、物平面、聚光系统、反光系统、成像系统;照明系统用于发出平行光束,挡光系统用于阻挡平行光束中的部分光束、将平行光束分为透射光束和反射光束以及阻挡透射光束和/或反射光束的传播;当挡光系统阻挡平行光束的部分光束通过时,此时光学系统为暗场照明,当挡光系统使平行光束全部通过时,此时光学系统为亮场照明;通过挡光系统对平行光束、反射光束和透射光束的控制,最终实现光学系统的反射式和/或透射式亮场成像照明光路、反射式和/或透射式暗场成像照明光路。本发明减少了光源数量,精简了系统结构,节省了空间,提高了照明效率。

    微米级孔道光学信息确定方法、装置及光源装置

    公开(公告)号:CN114518647A

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN202011306863.3

    申请日:2020-11-20

    IPC分类号: G02B21/06 G02B21/12 G02B21/36

    摘要: 本发明实施例提供了一种微米级孔道光学信息确定方法、装置及光源装置,其中,该光源装置包括:光源,用于发射垂直方向的光线;倾角可调组件,设置在所述光源的光源窗和光学观察玻璃模型之间,所述倾角可调组件用于调整所述光源发射光线照射所述光学观察玻璃模型的入射角,使得所述光学观察玻璃模型的成像图像中不同亮区的通光量发生变化。该方案可以将光线照射光学观察玻璃模型的入射角由垂直调整为预设倾斜角,以便使得光学观察玻璃模型的成像图像中不同亮区的通光量发生变化,更便于辨别、区分不同的亮区,进而有利于确定微米级孔道的光学信息。

    用于样本的多模式检查的系统和方法

    公开(公告)号:CN110824683A

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201910742697.2

    申请日:2019-08-13

    摘要: 一种用于样本的多模式检查的系统和方法。所述系统包括:辐射源、物镜、明场检测模块、暗场检测模块、以及光学器件。当所述系统以第一模式操作时,所述光学器件被配置为引导输入束通过第一开口朝向所述物镜的第一区域,而基本上不阻挡所述输入束的任何部分。当所述系统在第二模式中操作时,所述光学器件被配置为引导所述输入束通过第二开口朝向所述物镜的第二区域,而基本上不阻挡所述输入束的任何部分。所述物镜的所述第一区域与所述物镜的所述第二区域不同。

    显微镜及区域确定方法
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102313982B

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201110174640.0

    申请日:2011-06-24

    申请人: 索尼公司

    IPC分类号: G02B21/36 G02B21/10 G02B21/12

    摘要: 本发明提供了一种显微镜及区域确定方法,该显微镜包括:对标本进行照明的暗视场照明装置和明视场照明装置,在该标本中,安置在载玻片上的样本由盖玻片和封固剂覆盖;摄像单元,通过拍摄暗视场照明装置照明的标本的图像而获取暗视场像,并通过拍摄明视场照明装置照明的标本的图像而获取明视场像;以及放大部分图像获取区域确定单元,根据摄像单元所获取的暗视场像和明视场像检测标本中盖玻片的边缘,并将检测出的盖玻片的边缘的内部区域确定为样本的放大部分图像获取区域。

    一种提高光学显微镜分辨率且使显微镜成像具有立体感的装置

    公开(公告)号:CN105549194A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201610063048.6

    申请日:2016-01-30

    申请人: 鲁东大学

    IPC分类号: G02B21/12

    CPC分类号: G02B21/12

    摘要: 本发明涉及一种提高光学显微镜分辨率且使显微镜成像具有立体感的装置。其用于改变普通光学显微镜光源的传播路线的装置,属于光学显微镜附加装置结构技术领域。包括安装于光学显微镜光源上方、载物台下方的位置调节器,位置调节器上安装有用于改变光传播路线的光线调节器。本发明结构设计巧妙,操作简便,能提高光学显微镜的分辨率和使光学显微镜的成像具有立体感。