电子发射元件及其制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115315773A

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN202180022650.4

    申请日:2021-03-16

    Abstract: 本公开提供一种电子发射元件(10),其特征在于,所述电子发射元件具备将第一电极(1)、由绝缘膜构成的电子加速层(6)、第二电极(3)以及被覆膜(7)依次层叠而成的层叠结构,上述第二电极为供电子透过并从表面发射电子的电极,上述被覆膜为供电子透过的膜,并且是材质与上述第二电极不同的保护膜,构成电子发射面(5)。

    声子助电子发射阴极和声子助电子发射器件

    公开(公告)号:CN102074430B

    公开(公告)日:2012-10-10

    申请号:CN201010578753.2

    申请日:2010-12-03

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种声子助电子发射阴极和声子助电子发射器件,属于电子科学技术领域。所述声子助电子发射阴极包括电子发射体和电极对,所述电子发射体中的声子的湮灭时间比产生时间长,施加电场后,电子声子相互作用能够产生非平衡声子;电子发射体中的电子被电场加速后受到声子的散射,散射时,电子能够吸收声子;散射后,电子能够保持运动方向不变。所述声子助电子发射器件包括所述声子助电子发射阴极,支撑物,和阳极。本发明可广泛用于显示器、电子源、光源等涉及电子发射的各种电子设备。

    电子发射元件以及具有该电子发射元件的摄像装置

    公开(公告)号:CN102656660A

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN200980162893.7

    申请日:2009-12-17

    Inventor: 吉成正树

    Abstract: 本发明的技术问题是提供一种即使设置聚焦电极层、栅电极层以及聚焦电极层也不会借助碳层而导通的面发射型电子发射元件以及具有该电子发射元件的摄像装置。作为解决上述技术问题的手段,电子发射元件具有:从面发射部发射电子的电子发射层;聚焦电极层,其隔着第1绝缘体层成膜在电子发射层的表面,使发射出的电子聚焦;栅电极层,其隔着第2绝缘体层,成膜在聚焦电极层的表面;发射凹部,其贯通栅电极层、第2绝缘体层、聚焦电极层以及所述第1绝缘体层,在面发射部的表面开口成凹状;碳层,其成膜在从栅电极层的表面到发射凹部的内周面的范围内;以及部分绝缘部,其使聚焦电极层与碳层绝缘。

    场发射型电子源及其制造方法

    公开(公告)号:CN1732551B

    公开(公告)日:2012-03-28

    申请号:CN200380107724.6

    申请日:2003-12-26

    CPC classification number: H01J1/3042 H01J31/123

    Abstract: 场发射型电子源具有在由玻璃衬底构成的绝缘衬底(11)的一个表面(前表面)侧上形成的多个电子源元件(10a)。各电子源元件(10a)包括下部电极(12)、由形成在下部电极(12)上的非晶硅层构成的缓冲层(14)、在该缓冲层(14)上形成的多晶硅层(3)、在该多晶硅层(3)上形成的强电场漂移层(6)、以及在该强电场漂移层(6)上形成的表面电极(7)。该场发射型电子源可以降低电子发射性能的面内变化。

    薄膜型电子源
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101055824B

    公开(公告)日:2010-08-11

    申请号:CN200710097045.5

    申请日:2007-04-12

    Inventor: 岩崎富生

    CPC classification number: H01L28/65 B82Y10/00 H01J1/312 H01J2329/00

    Abstract: 本发明提供一种耐热性高的薄膜型电子源。在包括衬底、在上述衬底的一个主表面一侧形成的下部电极、与上述下部电极相接触地形成的绝缘层、以及与上述绝缘层相接触地形成的上部电极的薄膜电子源中,上述上部电极为第1基础层、第2基础层、中间层、表面层的层积结构,上述第1基础层以IrO2或RuO2作为主要构成材料,上述第2基础层以Ir或Ru作为主要构成材料,上述中间层以从PtIr、PtRu、PtRh的组中选择的一种作为主要构成材料,上述表面层以从Au、Ag的组中选择的一种作为主要构成材料。

    薄膜型电子源
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101055824A

    公开(公告)日:2007-10-17

    申请号:CN200710097045.5

    申请日:2007-04-12

    Inventor: 岩崎富生

    CPC classification number: H01L28/65 B82Y10/00 H01J1/312 H01J2329/00

    Abstract: 本发明提供一种耐热性高的薄膜型电子源。在包括衬底、在上述衬底的一个主表面一侧形成的下部电极、与上述下部电极相接触地形成的绝缘层、以及与上述绝缘层相接触地形成的上部电极的薄膜电子源中,上述上部电极为第1基础层、第2基础层、中间层、表面层的层积结构,上述第1基础层以IrO2或RuO2作为主要构成材料,上述第2基础层以Ir或Ru作为主要构成材料,上述中间层以从PtIr、PtRu、PtRh的组中选择的一种作为主要构成材料,上述表面层以从Au、Ag的组中选择的一种作为主要构成材料。

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