公开(公告)号：EP1325386A4

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：EP01973468

申请日：2001-09-26

申请人： CORNING INC

发明人： ACKERMAN BRADFORD G ,  BOWDEN BRADLEY F ,  DAVIS CLAUDE L JR ,  HRDINA KENNETH E

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68 ,  G03B27/58 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03F7/70716 ,  G03F7/70216 ,  G03F7/708

摘要： A lithographic stage includes a platen (31) having a top face and a bottom face and a holder (32) for holding an optical component on the top face of the platen. The platen is made of a light-weight material such as high purity fused silica or ultra low expansion glass. The bottom face of the platen may further include means for connecting to a positioning device in an extreme ultraviolet lithography system.

公开(公告)号：EP1390309A4

公开(公告)日：2004-12-08

申请号：EP02723639

申请日：2002-03-25

申请人： CORNING INC

发明人： ACKERMAN BRADFORD G ,  HRDINA KENNETH E ,  MOORE LISA A ,  RUSSO NIKKI J ,  YU CHUNZHE C

IPC分类号： G03F1/16 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G02B1/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  C03B37/014

CPC分类号： C03C4/0085 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1484 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/70 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  Y02P40/57

摘要： A titania precursor (18) and a silica precursor (6) are mixed in a manifold (14) and are fed to a burner (28) to create soot (40) which is deposited on a deposition surface (34) which is rotated and elevated. The end product is useful for Extreme UV lithography.

摘要翻译： 一种用于制造熔凝石英玻璃含二氧化钛的方法包括二氧化硅和二氧化钛的合成颗粒，通过连续沉积在沉积表面上的颗粒和二氧化钛前体的二氧化硅前体的混合物输送到燃烧器，生长的多孔预成型件，同时旋转和平移 相对沉积表面到燃烧器，并且巩固多孔预成致密的玻璃。