公开(公告)号：EP3271938B1

公开(公告)日：2024-07-10

申请号：EP16706510.1

申请日：2016-02-15

IPC分类号： H01L21/60 ,  H01L23/488 ,  B23K26/20 ,  H01L21/67 ,  H01L23/49 ,  H01L23/485 ,  H01L23/48

CPC分类号： H01L2224/8421420130101 ,  H01L2224/8442420130101 ,  H01L2224/8444720130101 ,  H01L2224/8444420130101 ,  H01L2224/8443920130101 ,  H01L2224/4022520130101 ,  H01L2224/848420130101 ,  H01L2224/4099220130101 ,  H01L2224/3702620130101 ,  H01L24/05 ,  H01L24/16 ,  H01L24/37 ,  H01L24/40 ,  H01L24/41 ,  H01L24/73 ,  H01L24/77 ,  H01L24/81 ,  H01L24/84 ,  H01L2224/0403420130101 ,  H01L2224/0562420130101 ,  H01L2224/0563920130101 ,  H01L2224/0564420130101 ,  H01L2224/0564720130101 ,  H01L2224/0565520130101 ,  H01L2224/0566420130101 ,  H01L2224/1622520130101 ,  H01L2224/3714720130101 ,  H01L2224/7325520130101 ,  H01L2224/8142420130101 ,  H01L2224/8143920130101 ,  H01L2224/8144420130101 ,  H01L2224/8144720130101 ,  H01L2224/8145520130101 ,  H01L2224/8146420130101 ,  H01L2924/0001420130101 ,  H01L2924/1025320130101 ,  H01L2924/1578720130101 ,  H01L2924/157920130101 ,  H01L2224/8446420130101 ,  H01L2224/8445520130101 ,  H01L2224/4009120130101 ,  H01L2224/4049120130101 ,  H01L2224/4099720130101 ,  H01L2224/411220130101 ,  H01L2224/7726320130101 ,  H01L2224/7728120130101 ,  H01L2224/7760120130101 ,  H01L2224/7761120130101 ,  H01L2224/7770420130101 ,  H01L2224/8498620130101 ,  H01L2224/848520130101 ,  H01L2224/4501420130101 ,  H01L24/48 ,  H01L2224/4514720130101