公开(公告)号：EP3271938B1

公开(公告)日：2024-07-10

申请号：EP16706510.1

申请日：2016-02-15

IPC分类号： H01L21/60 ,  H01L23/488 ,  B23K26/20 ,  H01L21/67 ,  H01L23/49 ,  H01L23/485 ,  H01L23/48

CPC分类号： H01L2224/8421420130101 ,  H01L2224/8442420130101 ,  H01L2224/8444720130101 ,  H01L2224/8444420130101 ,  H01L2224/8443920130101 ,  H01L2224/4022520130101 ,  H01L2224/848420130101 ,  H01L2224/4099220130101 ,  H01L2224/3702620130101 ,  H01L24/05 ,  H01L24/16 ,  H01L24/37 ,  H01L24/40 ,  H01L24/41 ,  H01L24/73 ,  H01L24/77 ,  H01L24/81 ,  H01L24/84 ,  H01L2224/0403420130101 ,  H01L2224/0562420130101 ,  H01L2224/0563920130101 ,  H01L2224/0564420130101 ,  H01L2224/0564720130101 ,  H01L2224/0565520130101 ,  H01L2224/0566420130101 ,  H01L2224/1622520130101 ,  H01L2224/3714720130101 ,  H01L2224/7325520130101 ,  H01L2224/8142420130101 ,  H01L2224/8143920130101 ,  H01L2224/8144420130101 ,  H01L2224/8144720130101 ,  H01L2224/8145520130101 ,  H01L2224/8146420130101 ,  H01L2924/0001420130101 ,  H01L2924/1025320130101 ,  H01L2924/1578720130101 ,  H01L2924/157920130101 ,  H01L2224/8446420130101 ,  H01L2224/8445520130101 ,  H01L2224/4009120130101 ,  H01L2224/4049120130101 ,  H01L2224/4099720130101 ,  H01L2224/411220130101 ,  H01L2224/7726320130101 ,  H01L2224/7728120130101 ,  H01L2224/7760120130101 ,  H01L2224/7761120130101 ,  H01L2224/7770420130101 ,  H01L2224/8498620130101 ,  H01L2224/848520130101 ,  H01L2224/4501420130101 ,  H01L24/48 ,  H01L2224/4514720130101

公开(公告)号：EP2650906B1

公开(公告)日：2024-10-09

申请号：EP13003427.5

申请日：2005-06-02

IPC分类号： H01L21/308 ,  H01L21/208 ,  H01L21/326 ,  H01L21/4763 ,  H01L23/48 ,  H01L27/01 ,  H01L29/06 ,  H01L29/08 ,  H01L23/00 ,  H01L29/786 ,  H01L27/12 ,  H01L31/18 ,  H01L21/683

CPC分类号： B81C2201/018520130101 ,  B82Y10/00 ,  H01L29/0665 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/0676 ,  H01L29/068 ,  H01L29/78603 ,  H01L29/78681 ,  H01L29/78696 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/1804 ,  H01L2924/1204120130101 ,  Y10S977/724 ,  Y10S977/707 ,  Y02E10/547 ,  H01L2224/8300520130101 ,  H01L2224/0361420130101 ,  H01L2224/8086220130101 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/08 ,  H01L24/29 ,  H01L24/32 ,  H01L21/6835 ,  H01L24/80 ,  H01L24/83 ,  H01L24/94 ,  H01L24/97 ,  H01L2221/6836820130101 ,  H01L2221/6838120130101 ,  H01L2224/033220130101 ,  H01L2224/034520130101 ,  H01L2224/036220130101 ,  H01L2224/0507320130101 ,  H01L2224/0508220130101 ,  H01L2224/0512420130101 ,  H01L2224/0514420130101 ,  H01L2224/0515520130101 ,  H01L2224/0516620130101 ,  H01L2224/0555220130101 ,  H01L2224/0555320130101 ,  H01L2224/0555420130101 ,  H01L2224/0555520130101 ,  H01L2224/0564420130101 ,  H01L2224/0566620130101 ,  H01L2224/0822520130101 ,  H01L2224/291920130101 ,  H01L2224/3222520130101 ,  H01L2224/8000620130101 ,  H01L2224/8012120130101 ,  H01L2224/8089520130101 ,  H01L2224/8312120130101 ,  H01L2224/8319220130101 ,  H01L2224/8319320130101 ,  H01L2224/838520130101 ,  H01L2224/8386220130101 ,  H01L2224/920220130101 ,  H01L2224/9420130101 ,  H01L2224/9720130101 ,  H01L2924/1025320130101 ,  H01L2924/1032920130101 ,  H01L2924/1515920130101 ,  H01L2924/1516220130101 ,  H01L2924/157920130101 ,  H01L27/1285 ,  H01L27/1292 ,  H01L2924/1309120130101 ,  H01L2924/130620130101 ,  H01L2924/146120130101 ,  H01L21/02628 ,  H01L2924/130520130101 ,  H01L2924/1203220130101 ,  H01L2924/1578820130101 ,  H01L31/03926 ,  H01L31/1864 ,  H01L31/1896 ,  H01L2924/1204220130101 ,  H01L2924/1204420130101 ,  H01L2924/1203620130101 ,  H01L2924/1204320130101 ,  H01L2224/9520130101 ,  H01L2924/1306320130101 ,  H01L2924/1420130101 ,  H01L2924/1305520130101 ,  H01L21/02603 ,  Y02P70/50