公开(公告)号：EP1191559A2

公开(公告)日：2002-03-27

申请号：EP01120498.9

申请日：2001-08-28

申请人： Little Things Factory GmbH

发明人：

IPC分类号： H01H1/00 ,  H01H36/00

CPC分类号： H01H1/0036 ,  H01H1/66 ,  H01H36/00 ,  H01H50/005 ,  H01H2001/0078 ,  H01H2036/0093

摘要： Die Erfindung betrifft einen Mikroschalter mit mindestens zwei elektrisch leitfähigen, mit externen Schaltungseinheiten verbindbaren Kontaktelementen (6), deren relative Position zueinander durch eine eingeprägte Magnetkraft veränderbar ist, wobei mindestens ein magnetisierbares Kontaktelement beweglich gelagert ist, so daß mindestens zwei Schaltzustände einstellbar sind, und wobei zumindest das magnetisierbare Kontaktelement als dünne Platte (7) ausgebildet ist, die im wesentlichen parallel zu einem Trägersubstrat (1) beweglich ist, und daß beide Kontaktelemente in einer Ebene parallel zum Trägersubstrat angeordnet sind, wobei jeweils eine Seitenfläche der Kontaktelemente als Schaltfläche dient. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Mikroschalters.

摘要翻译： 微型开关具有两个导电接触元件（6），其可以连接到外部电路元件并通过施加磁场相对于彼此移动。 触点中的至少一个呈平行于支撑介质（1）的薄板（7）的形式，并且相对于其自由移动。 另一个接触件平行于支撑件，沿着它们的边缘在两个板之间形成接触。 施加足够强度的磁场会产生接触。 使用半导体集成电路制造技术对上述微型开关的制造方法进行独立的权利要求。

公开(公告)号：EP1121694A1

公开(公告)日：2001-08-08

申请号：EP00965594.5

申请日：2000-08-07

申请人： Cronos Integrated Microsystems, Inc.

发明人： DHULER, Vijayakumar, R.

IPC分类号： H01H1/00 ,  H01H61/02 ,  H01H61/04 ,  H01H59/00

CPC分类号： H01H1/0036 ,  H01H59/0009 ,  H01H61/02 ,  H01H61/04 ,  H01H2001/0078 ,  H01H2061/006

摘要： A microelectromechanical (MEMS) device (10) is provided that includes a microelectronic substrate (40), a microactuator (20) disposed on the substrate (40) and formed of a single crystalline material, and at least one metallic structure (30) disposed on the substrate (40) adjacent the microactuator (20) such that the metallic structure (30) is on substantially the same plane as the microactuator (20) and is actuated thereby. For example, the MEMS device may be a microrelay (10). As such, the microrelay (10) may include a pair of metallic structures (32, 34) that are controllably brought into contact by selective actuation of the microactuator. While the MEMS device can include various microactuators, one embodiment of the microactuator is a thermally actuated microactuator which advantageously includes a pair of spaced apart supports (22) disposed on the substrate and at least one arched beam (24) extending therebetween. By heating the at least one arched beam (24) of the microactuator (20), the arched beams (24) will further arch. In an alternate embodiment, the microactuator is an electrostatic microactuator which includes a stationary stator and a movable shuttle. Imposing an electrical bias between the stator and the shuttle causes the shuttle to move with respect to the stator. Thus, on actuation, the microactuator moves between a first position in which the microactuator is spaced apart from the at least one metallic structure to a second position in which the microactuator operably engages the at least one metallic structure. Several advantageous methods of fabricating an MEMS device having both single crystal components and metallic components are also provided.

公开(公告)号：EP3227895A1

公开(公告)日：2017-10-11

申请号：EP14806648.3

申请日：2014-12-04

申请人： Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. ,  Sony Corporation

发明人： KURTH, Steffen ,  VOIGT, Sven ,  HAAS, Sven ,  IKEDA, Koichi ,  AKIRA, Akiba

IPC分类号： H01H1/00 ,  H01H59/00

CPC分类号： H01H1/0036 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0052 ,  H01H2001/0078

摘要： A MEMS switch comprises a first and a second contact arrangement having a side facing each other, the first and the second contact arrangement movable with respect to each other and configured for providing an electric contact in a first state and for not providing the electric contact in a second state. A first contact material is arranged at the side of the first contact arrangement. A second contact material is arranged at the side of the second contact arrangement. The side of the first and/or the side of the second contact arrangement comprises a recessed region and a projected region projected with respect to the recessed region, the projected region and the recessed region separated from each other by a tear-off edge. The first and/or the second contact material is arranged at the recessed region and at the projected region of the respective side. The electric contact is provided between the first and the second contact material in the projected region of the sides and not provided in the recessed region in the first state.

摘要翻译： MEMS开关包括第一和第二触点装置，该第一和第二触点装置具有彼此面对的一侧，第一和第二触点装置相对于彼此可移动并且被配置用于提供处于第一状态的电触点并且不提供电触点 第二个状态。 第一触点材料布置在第一触点布置的侧面。 第二触点材料布置在第二触点布置的侧面。 第二接触装置的第一侧和/或侧面包括凹入区域和相对于凹入区域突出的突出区域，突出区域和凹入区域通过撕开边缘彼此分开。 第一和/或第二接触材料布置在相应侧的凹入区域和突出区域处。 电触头设置在第一和第二触头材料之间的侧面的突出区域中，并且在第一状态下不设置在凹陷区域中。

公开(公告)号：EP3037381A1

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：EP15202061.6

申请日：2015-12-22

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： HILT, Thierry

IPC分类号： B81B3/00 ,  H01H1/00

CPC分类号： G05G11/00 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/037 ,  B81B2203/051 ,  H01H1/0036 ,  H01H2001/0078 ,  H01L41/08

摘要： Actionneur comportant deux dispositifs comprenant chacun un élément déformable (4, 104) hors plan, ledit élément déformable (4, 104) comprenant une première extrémité fixe (4.1, 104.1) ancrée sur un substrat et une deuxième extrémité libre (4.2, 104.2) par rapport au substrat, ledit dispositif comportant également des moyens de guidage en translation de la deuxième extrémité libre (4.2) dans le plan le long d'une première direction (X), le premier élément déformable (4, 104) étant apte à être déformé hors plan par application d'un stimulus de sorte que la deuxième extrémité libre (4.2, 104.2) se rapproche de la premier extrémité fixe (4.1, 104.1) selon un mouvement de translation dans le plan. L'actionneur comportant également un élément mobile en rotation (8) autour d'un axe (Z) orthogonal au plan et relié mécaniquement aux extrémités libres (4.2, 104.2) des éléments déformables (4,104) et un élément mobile en translation (18) relié mécaniquement à l'élément mobile en rotation (8).

摘要翻译： 的致动器，其包括两个装置各包括外的平面中的可变形元件，所述可变形元件，其包括第一固定端锚定在一个基材和相对于所述基板的第二自由端，所述装置，从而包括装置以引导在第二自由端 面内沿着第一方向平移，所述第一可变形元件能够通过刺激的应用变形外的平面的所以也第二自由端贴近第一固定端继面内平移运动。 所以，致动器在轴线正交的平面中旋转大约元件移动的并包括机械地连接到所述可变形元件的自由端，和一个平移移动元件机械地连接到与旋转移动元件。

公开(公告)号：EP2472542A1

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：EP11195895.5

申请日：2011-12-28

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： Sibuet, Henri ,  Vuillermet, Yannick

IPC分类号： H01H11/00 ,  B81C1/00

CPC分类号： H01H11/005 ,  H01H1/66 ,  H01H36/0026 ,  H01H2001/0078 ,  H01H2036/0093

摘要： L'invention concerne un procédé de fabrication, sur un substrat plan, d'un micro-contacteur actionnable par un champ magnétique comprenant :
a) la gravure (42) dans une face supérieure du substrat plan de cavités formant un modèle en creux de deux lames, ces cavités présentant des flancs verticaux s'étendant perpendiculairement au plan du substrat pour former des faces verticales des lames,
b) le remplissage (50) des cavités par un matériau magnétique pour former les lames, puis
c) la gravure (62) dans le substrat, par un procédé de gravure isotrope, d'un caisson qui s'étend entre les faces verticales des lames et dessous et autour d'une extrémité distale d'au moins une des lames pour dégager un entrefer entre ces lames et rendre cette extrémité distale déplaçable entre une position fermée et une position ouverte.

摘要翻译： 该方法包括蚀刻形成衬底上表面的中空模型的空腔（42），其中空腔具有垂直于衬底的平面延伸的侧面以形成条的垂直面。 空腔用磁性材料填充（50）以形成条带。 照射刻蚀（62）在两个表面之间以及下面和周围的一个条带的远端之间以及围绕其中的一个的远端延伸，以在条带之间打开空气间隙，并使端部在关闭位置和打开位置之间移动 通过间隙隔离带。

公开(公告)号：EP2395533A1

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：EP10401078.0

申请日：2010-06-09

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. ,  Sony Corporation

发明人： Frömel, Jörg ,  Gessner, Thomas ,  Kaufmann, Christian ,  Leidich, Stefan ,  Nowack, Markus ,  Bertz, Andreas ,  Ikeda, Koichi ,  Akiba, Akira ,  Kurth, Steffen

IPC分类号： H01H59/00 ,  H01P1/12

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01H1/20 ,  H01H2001/0078 ,  H01P1/127

摘要： The present invention relates to an electrostatically actuated micro-mechanical switching device (1) with movable elements formed in the bulk of a substrate (15) for closing and releasing at least one Ohmic contact by a horizontal movement of the movable elements in a plane of the substrate (15); the switching device (1) comprising: a drive with comb-shaped electrodes (2,3), wherein the electrodes (2,3) comprise fixed driving electrodes (2) and movable electrodes (3); a movable push rod (4) being mechanically connected with the movable electrodes (3) and extending through the electrodes (2,3); a movable contact element being mechanically connected with one side of the push rod (4); at least one restoring spring (5) being mechanically connected with the push rod (4); a signal line (7) and a ground line (13), wherein the signal line (7) comprises two parts (7a,7b) being interrupted by a gap (10). It is the object of the present invention to provide a micro-mechanical switching device (1) in shunt-configuration with low loss, high isolation in a wide frequency range, low switch time at low actuation voltage and sufficient reliability, wherein the switching device is designed that way that the line impedance of the signal line and its variation is as small as possible. The object is solved by an electrostatically actuated micro-mechanical switching device (1) of the above mentioned type wherein the switching device (1) is in shunt-configuration for closing and releasing the Ohmic contact between the ground line (13) and the signal line (7), wherein the contact element comprises a movable contact beam (6) extending at least partially opposite to the signal line (7) and being electrically and mechanically connected to both parts (7a,7b) of the signal line (7), respectively; the ground line (13) comprises at least one contact bar (12) leading through the gap (10) of the signal line (7) for forming the Ohmic contact between the contact beam (6) and the ground line (13); and a contact metallization (14) is provided at least on top and on the side walls of the contact beam (6), of the signal line (7) and of the ground line (13).

摘要翻译： 本发明涉及一种静电致动微机械开关装置（1），其具有形成在基板（15）的本体中的可移动元件，用于通过可移动元件的平面内的水平移动来闭合和释放至少一个欧姆接触 所述基板（15）; 所述开关装置（1）包括：具有梳状电极（2,3）的驱动器，其中所述电极（2,3）包括固定驱动电极（2）和可动电极（3）; 与所述可动电极（3）机械连接并延伸通过所述电极（2,3）的可动推杆（4）; 与所述推杆（4）的一侧机械连接的可动接触元件; 至少一个复原弹簧（5）与所述推杆（4）机械连接; 信号线（7）和接地线（13），其中信号线（7）包括由间隙（10）中断的两部分（7a，7b）。 本发明的目的是提供一种分流配置的微机械开关装置（1），在宽频率范围内具有低损耗，高隔离度，低致动电压下的低开关时间和足够的可靠性，其中开关装置 被设计为使得信号线的线路阻抗及其变化尽可能小。 该目的通过上述类型的静电致动微机械开关装置（1）来解决，其中开关装置（1）处于分流配置中，用于闭合和释放接地线（13）与信号之间的欧姆接触 线路（7），其中所述接触元件包括至少部分地与所述信号线（7）相对延伸并且与所述信号线（7）的两个部分（7a，7b）电连接和机械连接的可动接触梁（6） ， 分别; 接地线（13）包括穿过信号线（7）的间隙（10）的至少一个接触杆（12），用于形成接触梁（6）和接地线（13）之间的欧姆接触。 并且至少在信号线（7）和接地线（13）的接触梁（6）的顶壁和侧壁上提供接触金属化（14）。

公开(公告)号：EP1856708A4

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：EP06737141

申请日：2006-03-04

申请人： HT MICROANALYTICAL INC

发明人： CHRISTENSON TODD

IPC分类号： H01H51/22

CPC分类号： H01H50/005 ,  H01H2001/0078 ,  H01H2050/007

公开(公告)号：EP2200063A2

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：EP09178257.3

申请日：2009-12-08

申请人： General Electric Company

发明人： Wang, Xuefeng ,  Corwin, Alex David ,  Li, Bo ,  Subramanian, Kanakasabapathi ,  Kishore, Kuna Venkat Satya Rama

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01H1/0036 ,  H01H2001/0078 ,  H01H2001/0084 ,  Y10T29/49105

摘要： A micro electro-mechanical system switch having an electrical pathway is presented. The switch includes a first portion and a second portion. The second portion is offset to a zero overlap position with respect to the first portion when the switch is in open position (or in the closed position depending on the switch architecture). The switch further includes an actuator for moving the first portion and the second portion into contact.

摘要翻译： 介绍了一种具有电气通路的微型机电系统开关。 开关包括第一部分和第二部分。 当开关处于打开位置时（或者取决于开关结构，处于关闭位置），第二部分相对于第一部分偏移到零重叠位置。 开关还包括用于使第一部分和第二部分接触的致动器。

公开(公告)号：EP1677328A1

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：EP04807389.4

申请日：2004-12-20

申请人： Matsushita Electric Industries Co., Ltd.

发明人： HASHIMURA, Akinori c/oMat.Elec.Ind.Co.,Ltd.IPROC ,  NAITO, Yasuyuki c/o Mat.Ele.Ind.Co.,Ltd.,IPROC ,  NAKAMURA, Kunihiko c/oMat.Ele.Ind.Co.,Ltd.,IPROC ,  NAKANISHI, Yoshito c/oMat.Ele.Ind.Co.,Ltd.,IPROC

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01H2001/0078

摘要： It is to provide an MEMS switch easy to manufacture, microscopic, and capable of obtaining a sufficient ON/OFF capacitance change ratio.
An MEMS switch includes a substrate 46, a conductive beam 42 formed on a surface of the substrate, and three-layer structure beams B1 and B2 formed on the surface of the substrate and disposed to be opposed to the conductive beam. The MEMS switch is characterized in that : each of the three-layer structure beams includes a first conductive layer 38, 40, a second conductive layer 30, 32 and a dielectric layer 34, 36 sandwiched between the first conductive layer and the second conductive layer; the first conductive layer is opposed to the conductive beam 42; at least one of the conductive beam 42 and the three-layer structure beams is displaced on a plane parallel to the substrate 46 due to an electrostatic force so that the conductive beam 42 and the first conductive layer 38, 40 can come into contact with each other; and a conductive path is formed between the conductive beam 42 and the second conductive layer 30, 32 when the conductive beam 42 and the first conductive layer are in contact with each other.

摘要翻译： 它是提供一种易于制造，微观并且能够获得足够的开/关电容变化率的MEMS开关。 MEMS开关包括基板46，形成在基板的表面上的导电光束42以及形成在基板的表面上且与导电光束相对设置的三层结构光束B1和B2。 MEMS开关的特征在于：三层结构梁中的每一个包括夹在第一导电层和第二导电层之间的第一导电层38,40，第二导电层30,32和介电层34,36 ; 第一导电层与导电束42相对; 导电束42和三层结构光束中的至少一个由于静电力而在平行于衬底46的平面上移位，使得导电束42和第一导电层38,40可以与每个 其他; 并且当导电束42和第一导电层彼此接触时，在导电束42和第二导电层30,32之间形成导电路径。

公开(公告)号：EP1468436B1

公开(公告)日：2005-09-14

申请号：EP02796487.3

申请日：2002-12-23

申请人： ABB RESEARCH LTD.

发明人： STRÜMPLER, Ralf

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01H1/20 ,  H01H1/50 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0078