公开(公告)号：EP2600104A3

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：EP12194966.3

申请日：2012-11-30

申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

发明人： Deimerly, Yannick ,  Jourdan, Guillaume

IPC分类号： G01C19/5762 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5712

CPC分类号： G01C19/5712 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

摘要： La présente invention concerne un capteur inertiel de mouvements de rotation comprenant au moins une masse d'inertie (112, 1210) mobile dans un espace (x, y, z) ; un excitateur (131) configuré pour générer un premier mouvement vibratoire de la masse d'inertie suivant une première direction (X) incluse dans le plan (x, y) de sorte à générer une première force de Coriolis induite par un mouvement de rotation de la masse d'inertie (112, 1210) suivant une deuxième direction (Y) incluse dans le plan (x, y) et perpendiculaire à la première direction (X); un excitateur (131) configuré pour générer un deuxième mouvement vibratoire de la masse d'inertie suivant la deuxième direction (Y) de sorte à générer une deuxième force de Coriolis induite par un mouvement de rotation de la masse d'inertie (112, 1210) suivant la première direction (X) et des moyens de détection de la première force de Coriolis et de la deuxième force de Coriolis, caractérisé par le fait que les moyens de détection comprennent un détecteur commun pour la première force de Coriolis et de la deuxième force de Coriolis et configuré pour produire un signal électrique traité par un circuit de traitement de sorte à discriminer une première composante du signal électrique correspondant à la première force de Coriolis et une deuxième composante du signal électrique correspondant à la deuxième force de Coriolis.

公开(公告)号：EP2520900B1

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：EP12165811.6

申请日：2012-04-26

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： Walther, Arnaud ,  Diem, Bernard ,  Robert, Philippe ,  Willemin, Jérôme

IPC分类号： G01C19/5762

CPC分类号： G01C19/5762 ,  G01C19/5712

摘要： The gyrometer (G1) has an inertial mass (2) suspended above a substrate. The mass is provided with an excitation part and a detection part (8). A displacing device displaces the excitation part in a direction along a plane of the mass. A capacitive detector detects movement of the detection part outside the plane of the mass. The detector has a suspended detection electrode (16) located facing towards the substrate so as to form a variable capacitor with the detection part. The electrode is placed above the detection part by a pillar (22) passing through the mass. Independent claims are also included for the following: (1) a rotation measurement system (2) a method for fabricating a gyrometer or measurement system.

公开(公告)号：EP2414773B1

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：EP10713141.9

申请日：2010-02-22

申请人： Maxim Integrated GmbH

发明人： ROCCHI, Alessandro

IPC分类号： G01P15/14 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

CPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5762 ,  G01P15/097 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18

摘要： The invention concerns a MEMS sensor and a method for detecting accelerations along, and rotation rates about, at least one, preferably two of three mutually perpendicular spatial axes x, y and z by means of a MEMS sensor (1), wherein at least one driving mass (6; 6.1, 6.2) and at least one sensor mass (5) are moveably arranged on a substrate (2) and the at least one driving mass (6; 6.1, 6.2) is moved relative to the at least one sensor mass (5) in oscillation at a driving frequency and when an external acceleration of the sensor occurs, driving mass/es (6; 6.1, 6.2) and sensor mass/es (5) are deflected at an acceleration frequency and, when an external rotation rate of the sensor (1) occurs, are deflected at a rotation rate frequency, and the acceleration frequency and rotation rate frequency are different. At the MEMS-sensor the driving mass/es (6; 6.1, 6.2) and sensor mass/es (5) are arranged on the substrate (2), and are balanced in the resting state by means of at least one of the anchors (3). In the driving mode the driving mass/es (6; 6.1, 6.2), when vibrating in oscillation about this at least one anchor (3), generate/s an imbalance of the driving mass/es (6; 6.1, 6.2) and the sensor mass/es (5) with respect to this at least one anchor (3), and the sensor elements detect deflections of the driving and sensor masses, due to torques and Coholis forces generated, with an acceleration frequency and/or a rotation rate frequency.

公开(公告)号：EP2049871B1

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：EP07729969.1

申请日：2007-06-06

申请人： Robert Bosch GmbH

发明人： HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  NEUL, Reinhard ,  KEHR, Kersten ,  CLASSEN, Johannes ,  FRANKE, Axel ,  QUANDER, Marco

IPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

CPC分类号： G01C19/5762 ,  G01C19/5747

公开(公告)号：EP4124827B1

公开(公告)日：2024-10-30

申请号：EP22184619.9

申请日：2022-07-13

发明人： PRATI, Daniele ,  FALORNI, Luca Giuseppe ,  GUERINONI, Luca

IPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C19/5762

公开(公告)号：EP4350288A1

公开(公告)日：2024-04-10

申请号：EP23201347.4

申请日：2023-10-03

申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

发明人： JOET, Loïc ,  REY, Patrice

IPC分类号： G01C19/5733 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

摘要： Dispositif (1) micro-électromécanique comprenant : un cadre ; une masse (4) d'épreuve reliée au cadre par une première liaison mécanique qui autorise un pivotement de la masse d'épreuve par rapport au cadre autour d'un premier axe (Δ 1 ) de rotation parallèle à un plan moyen du cadre ; et un levier (7) de détection d'un pivotement de la masse, relié à la masse d'épreuve par une deuxième liaison (9) mécanique autorisant une rotation du levier (7) par rapport à la masse (4) d'épreuve autour d'un deuxième axe (Δ 2 ). La deuxième liaison comprend deux parois se raccordant perpendiculairement l'une à l'autre et se raccordant, pour l'une (91), au levier, et pour l'autre (97) à la masse d'épreuve, l'une des parois étant parallèle au deuxième axe de rotation.

公开(公告)号：EP3387378B1

公开(公告)日：2020-07-15

申请号：EP16813249.6

申请日：2016-12-09

申请人： Panasonic Corporation

发明人： CORONATO, Luca ,  GAFFORELLI, Giacomo ,  RUOHIO, Jaakko

IPC分类号： G01C19/5762

公开(公告)号：EP3387379A1

公开(公告)日：2018-10-17

申请号：EP16813250.4

申请日：2016-12-09

申请人： InvenSense, Inc.

发明人： CORONATO, Luca ,  GAFFORELLI, Giacomo ,  RUOHIO, Jaakko

IPC分类号： G01C19/5762 ,  G01C25/00

摘要： A gyroscope is driven at a drive frequency and senses a Coriolis force caused by rotation of the gyroscope. The response of the gyroscope to a given Coriolis force may change due to changes in the gyroscope over time. A plurality of test frequencies are applied to the gyroscope, and the response of the gyroscope to those test frequencies is analyzed in order to track changes in the response of the gyroscope. Operational parameters of the gyroscope may be altered in order to compensate for those changes.

公开(公告)号：EP3140614B1

公开(公告)日：2018-03-14

申请号：EP15721872.8

申请日：2015-05-06

申请人： Murata Manufacturing Co., Ltd.

发明人： BLOMQVIST, Anssi

IPC分类号： G01C19/5762 ,  G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/5762 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/033 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5747

摘要： A microelectromechanical gyroscope structure for detecting angular motion about an axis of angular motion. A drive element is suspended for one-dimensional motion in a direction of a drive axis, and a sense body carries one or more sense rotor electrodes and is coupled to the drive element with a first directional spring structure that forces the sense body to move with the drive element and has a preferred direction of motion in a direction of a sense axis. The drive element includes an actuation body and a drive frame wherein the first spring structure couples the sense body directionally to the drive frame, and a second directional spring structure that couples the drive frame to the actuation body and has a preferred direction of motion in the direction of the sense axis.

公开(公告)号：EP2936056B1

公开(公告)日：2017-08-09

申请号：EP13823955.3

申请日：2013-12-23

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： WALTHER, Arnaud

IPC分类号： G01C19/5726 ,  G01C19/5762 ,  G01C25/00

CPC分类号： G01C19/5726 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5762 ,  G01C25/005