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    Filterverfahren für ein Röntgensystem und Anordnung zur Durchführung eines solchen Filterverfahrens
    44.
    发明公开
    Filterverfahren für ein Röntgensystem und Anordnung zur Durchführung eines solchen Filterverfahrens 失效
    用于X射线系统和组件，用于进行这样的滤波处理的滤波方法。

    公开(公告)号：EP0571017A3

    公开(公告)日：1995-05-31

    申请号：EP93201335.2

    申请日：1993-05-07

    申请人： Philips Patentverwaltung GmbH ,  Philips Electronics N.V.

    发明人： Harding, Geoffrey, Dr.

    IPC分类号： G01T1/36 ,  G21K3/00

    CPC分类号： G21K1/10

    摘要： Die Erfindung betrifft ein Filterverfahren für ein Röntgensystem sowie eine Anordnung zur Durchführung des Filterverfahrens. Dabei wird von einem Röntgensystem mit einem Röntgenquanten emittierenden Röntgenstrahler (1) und einer wenigstens ein Meßsignal liefernden Detektoranordnung (9) zur Erfassung der mit einem Objekt (7) in einem Untersuchungsbereich in Wechselwirkung getretenen Röntgenquanten ausgegangen. Das Verfahren erfaßt folgende Verfahrensschritte:
    a) Es wird eine Messung durch geführt, bei der sich im Strahlengang zwischen dem Röntgenstrahler (1) und dem Untersuchungsbereich ein Filter (5) befindet. b) Es wird eine Messung durchgeführt, bei der sich im Strahlengang zwischen dem Untersuchungsbereich und der Detektoranordnung (9) ein Filter (6) befindet, das aus dem gleichen Material besteht wie das bei der anderen Messung benutzte Filter (5). c) Die bei den beiden Messungen erhaltenen Meßsignale werden subtraktiv miteinader kombiniert.

    X-RAY LENS AND COLLIMATOR
    45.
    发明公开
    X-RAY LENS AND COLLIMATOR 失效
    透镜和准直器的X射线。

    公开(公告)号：EP0419518A1

    公开(公告)日：1991-04-03

    申请号：EP89906637.0

    申请日：1989-05-02

    申请人： UNIVERSITY OF DELAWARE

    发明人： SHARNOFF, Mark

    IPC分类号： G21K1 ,  G02B5 ,  G03F7 ,  G21K3

    CPC分类号： G03F7/70058 ,  G02B5/1876 ,  G21K1/06 ,  G21K2201/067

    摘要： La présente invention se rapporte à la conception et à la fabrication de dispositifs de focalisation de rayons X à large bande servant à la production lithographique de structures aux dimensions du sous-micron, par exemple du type utilisé dans des circuits intégrés électroniques. Les conceptions décrites ici exploitent la capacité de diffraction des rayons X par des obstacles et des ouvertures (Figure 1), en particulier en régime de Fresnel ou de champ proche. Les dispositifs décrits concentrent au moins deux fois l'intensité de rayons X incidents blancs, dont la largeur de bande peut dépasser une octave (Figure 6). Leur fabrication ne nécessite le recours à aucun procédé qui ne soit pas déjà largement utilisé.

    X-ray apparatus comprising a filter plate
    47.
    发明公开
    X-ray apparatus comprising a filter plate 失效
    Röntgenapparat，ausgestattet mit einer Filterplatte。

    公开(公告)号：EP0043497A1

    公开(公告)日：1982-01-13

    申请号：EP81104863.6

    申请日：1981-06-23

    申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

    发明人： Haas, Werner, Dr.

    IPC分类号： G21K3/00 ,  A61N5/10

    CPC分类号： G21K1/10

    摘要： The filter arrangement for an X-ray apparatus contains an X-ray source (2) for emitting a diverging beam (4) of X-rays and a filter plate (14) positioned in the beam of X-rays. The beam is symmetrical with respect to a center beam axis (8). The filter plate which serves for attenuation of the X-rays before they impinge on a target (16) is mounted on a pivoting axis (17). The pivoting axis is preferably arranged remote from and transverse to the center beam axis. By pivoting the filter plate (14) about the pivoting axis (17) into a selected position, a selected radiation profile can be obtained on the target (16). The rotatable filter plate (14) can thus replace a plurality of wedge filters.

    摘要翻译： 用于X射线装置的过滤器装置包含用于发射X射线的发散束（4）的X射线源（2）和位于X射线束中的过滤板（14）。 光束相对于中心光束轴线（8）对称。 用于在X射线撞击目标（16）之前衰减X射线的滤板安装在枢转轴线（17）上。 枢转轴线优选地布置成远离并横向于中心梁轴线。 通过将过滤板（14）围绕枢转轴线（17）枢转到选定位置，可以在目标（16）上获得所选择的辐射轮廓。 因此，可旋转过滤板（14）可以代替多个楔形过滤器。