摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung einer Membranvakuumpumpe sowie eine Membranvakuumpumpe zur Förderung eines Mediums, mit einem mit einem Schwingspulenantrieb linear antreibbaren Kolben in einem Antriebsraum, mit einer zwischen einem Förderraum und Antriebsraum schwingenden Membran, die den Förderraum und den Antriebsraum trennt, mit einem Membrankopf, der mit der Membran den Förderraum bildet, wobei der Kolben als ein die Membran in Bewegung versetzender und um eine vorbestimmte Wegstrecke bewegbarer Kolben ausgebildet ist, mit einer Vorrichtung zur Erfassung eines Totpunktes und/oder Position des Kolbens, bei dem eine Steuervorrichtung den Totpunkt in Abhängigkeit von dem erfassten Signal der Vorrichtung verstellt.
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung eines Druckes mit wenigstens einem Drucksensor mit wenigstens einer aktiven Sensorfläche, bei der der wenigstens einen Sensorfläche gegenüberliegend eine schwingende und/oder temperaturwechselnde Gegenfläche angeordnet ist, bei der die Sensorfläche und die Gegenfläche in einem Hohlkörper angeordnet sind, wobei der Hohlkörper wenigstens eine Öffnung aufweist, und bei der wenigstens ein Wechselsignalverstärker vorgesehen ist. (Fig. 1).
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Anordnung mit einer Vaku-umpumpe mit einem Rotor und mit einem zum Antrieb des Rotors vorgesehenen Motor, bei der wenigstens eine Kompensa-tionsspule zur Kompensation eines von einem Bauteil der Vakuumpumpe erzeugten magnetischen Störfeldes B St vorgesehen ist. Die Erfindung betrifft darüber hinaus ein Verfah-ren zur Kompensation eines magnetischen Störfeldes wenigs-tens eines in einer Vakuumpumpe angeordneten, ein magnetisches Störfeld erzeugenden Bauteiles, bei dem wenigstens eine Kompensationsspule das magnetische Störfeld B St des wenigstens einen Bauteiles der Vakuumpumpe kompensiert.
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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung eines Druckes mit wenigstens einem Drucksensor mit wenigstens einer aktiven Sensorfläche, bei der der wenigstens einen Sensorfläche gegenüberliegend eine schwingende und/oder temperaturwechselnde Gegenfläche angeordnet ist, bei der die Sensorfläche und die Gegenfläche in einem Hohlkörper angeordnet sind, wobei der Hohlkörper wenigstens eine Öffnung aufweist, und bei der wenigstens ein Wechselsignalverstärker vorgesehen ist. ( Fig. 1 ).
摘要:
Vorrichtung zur kinetischen Energiespeicherung mit wenigstens einer in einem Motor- und/oder einem Generatorbetrieb betreibbaren Elektromaschine, wobei zur Zwischenspeicherung einer anfallenden Bewegungsenergie zumindest ein Energierückgewinnungssystem vorgesehen ist, welches Bewegungsenergie in elektrische Energie umwandelt, wobei das Energierückgewinnungssystem wenigstens einen Schwungmassenkörper, der als Rotor ausgebildet ist, und einen in einem Gehäuse angeordneten Stator aufweist, wobei der Rotor und der Stator als wenigstens eine Vakuumpumpstufe ausgebildet sind.
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Rotor, welcher einen Abschnitt aus einem Faserverbundwerkstoff mit wenigstens einer Faserrichtung umfasst, wobei der Abschnitt wenigstens eine schraubenlinienartig angeordnete Nut aufweist und die Fasern des Faserverbundwerkstoffes derart ausgerichtet sind, dass wenigstens ein Teil der Faser mit der Faserrichtung parallel zu der Nut ausgerichtet ist, so dass der Abschnitt dem Einwirken von Fliehkräften bei Betrieb der Vakuumpumpe widersteht. Die Erfindung betrifft auch einen derartigen Abschnitt und ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Abschnittes.
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpstufe (100; 610) mit einem Einlass (104; 604), einem Auslass (106; 606), einem Rotor (112; 212; 312) und einem Kanal (108; 208; 308), wobei der Rotor mit einem Rotorabschnitt in den Kanal eintaucht und durch Zusammenwirken von Rotorabschnitt und Kanal eine Pumpwirkung erreicht wird, und mit einem zwischen Einlass und Auslass angeordneten Abstreifer (110). Um eine Vakuumpumpstufe bereitzustellen, die sowohl im viskosen als auch im molekularen Strömungsbereich Kompression und Saugvermögen besitzt, wird vorgeschlagen, dass der Rotorabschnitt Gestaltungselemente (114, 116; 214; 314, 340) aufweist, durch die die Pumpwirkung im molekularen Strömungsbereich nach Gaede und im höheren Druckbereich nach dem Seitenkanalprinzip bewirkt wird.
摘要:
Eine Turbomolekularpumpe (T) umfasst eine Mehrzahl von abwechselnd axial hintereinander angeordneten, mit Schaufeln (10) versehenen Rotor- und Statorscheiben (8, 9), wobei die Schaufeln (10) zur Hochvakuumseite (2) hin einen steileren Anstellwinkel α aufweisen als die Schaufeln (10) zur Vakuumseite (3) hin. Um insbesondere den Wirkungsgrad zu erhöhen, wird die Turbomolekularpumpe (T) so ausgebildet, dass der Anstellwinkel α der Schaufeln (10) zurVakuumseite (3) hin weniger als 8°, vorzugsweise weniger als 5°, beträgt. Die Herstellung der Schaufeln (10) erfolgt vorzugsweise durch High-Speed-Cutting.