公开(公告)号：EP2868929A1

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：EP14182666.9

申请日：2014-08-28

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Hofmann, Bernd

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/60

CPC分类号： F04D29/40 ,  F04D19/04 ,  F04D19/042 ,  F04D29/601 ,  F16L23/00 ,  F16L23/024 ,  F16L23/032 ,  F16L37/26

摘要： Die Erfindung betrifft eine Aufnahmevorrichtung zur teilweisen Aufnahme eines Flansches, welcher mit einer Vakuumpumpe verbunden oder verbindbar ist, mit zumindest einem Befestigungsabschnitt zur Befestigung an einem Rezipienten, wenigstens einem Auflageabschnitt, auf welchem der Flansch in einem Montagezustand aufliegt, und zumindest einer von dem Auflageabschnitt begrenzten Aufnahmeöffnung, wobei der Flansch bei am Rezipienten befestigter Aufnahmevorrichtung von einer Zugangsseite der Aufnahmevorrichtung aus in die Aufnahmeöffnung einschiebbar und aus der Aufnahmeöffnung herausziehbar ist.

摘要翻译： 一种用于局部接收法兰的接收装置，该凸缘是或可以连接到真空泵，并且具有用于紧固到接收器的至少一个紧固部分，至少一个支撑部分，凸缘位于该支撑部分处于组装状态 至少一个由所述支撑部分限定的接收开口，其中所述凸缘可以插入到所述接收开口中，并且可以使用紧固到所述接收器的接收装置从所述接收装置的接入侧被拉出所述接收开口。

公开(公告)号：EP2848816A1

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：EP14183255.0

申请日：2014-09-02

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Conrad, Armin

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04B37/14 ,  F04D27/02 ,  F04D29/66 ,  F04D29/058

CPC分类号： F04D29/644 ,  F04B37/08 ,  F04B37/14 ,  F04D19/04 ,  F04D19/042 ,  F04D25/06 ,  F04D27/0292 ,  F04D29/058 ,  F04D29/542 ,  F04D29/661 ,  F04D29/665 ,  F16C2360/45 ,  H01J37/32834

摘要： Die Erfindung betrifft eine Anordnung mit einer Vaku-umpumpe mit einem Rotor und mit einem zum Antrieb des Rotors vorgesehenen Motor, bei der wenigstens eine Kompensa-tionsspule zur Kompensation eines von einem Bauteil der Vakuumpumpe erzeugten magnetischen Störfeldes B St vorgesehen ist. Die Erfindung betrifft darüber hinaus ein Verfah-ren zur Kompensation eines magnetischen Störfeldes wenigs-tens eines in einer Vakuumpumpe angeordneten, ein magnetisches Störfeld erzeugenden Bauteiles, bei dem wenigstens eine Kompensationsspule das magnetische Störfeld B St des wenigstens einen Bauteiles der Vakuumpumpe kompensiert.

摘要翻译： 本发明涉及用真空泵具有转子和用于驱动该转子马达的预见的布置，其中至少一个用于补偿由真空泵B的组分所产生的干扰磁场Kompensa-灰线圈被设置圣 本发明还涉及一种程序仁用于补偿的布置中的至少一个真空泵，干扰磁场产生部件的磁干扰场，其中，至少一个补偿线圈补偿了真空泵的至少一个部件的干扰磁场乙圣

公开(公告)号：EP2827314A1

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：EP14169692.2

申请日：2014-05-23

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Böttcher, Jochen

IPC分类号： G08C19/00

CPC分类号： G08C19/00

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vakuumanordnung mit einem Vakuumgerät, welche eine zentrale Steuereinrichtung für das Vakuumgerät und eine Kommunikationsleitung zwischen dem Vakuumgerät und der zentralen Steuereinrichtung aufweist, bei der in und/oder an der Kommunikationsleitung eine zusätzliche Vorrichtung zum Erfassen der in der Kommunikationsleitung kommunizierten Daten angeordnet ist. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Erfassung von in einer Kommunikationsleitung zwischen einem Vakuumgerät und einer zentralen Steuereinrichtung kommunizierten Daten, bei dem die Daten ohne Unterbrechung der Kommunikation zwischen dem Vakuumgerät und der zentralen Steuereinrichtung von einer Vorrichtung erfasst werden.

摘要翻译： 本发明涉及一种真空组件，其包括具有用于真空装置的中央控制装置和真空装置和中央控制装置之间的通信线路的真空装置，其设置额外的装置用于在所述通信线路的数据中和/或在通信线路上检测所传送的 ， 此外，本发明涉及一种用于在真空装置和中央控制装置传送的数据，其中，无需真空装置和中央控制装置之间的通信中断的数据由装置检测之间的通信线路检测的方法。

公开(公告)号：EP2466145A3

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：EP11008600.6

申请日：2011-10-27

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Böttcher, Jochen ,  Koch, Bernhard

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D27/00 ,  F04D27/02

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D27/008 ,  F04D27/0261

摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Belüften einer Vakuumpumpe (10) mit schnelldrehendem Rotor (12) durch Einlassen eines Gases. Um die Flutzeiten zu verbessern wird vorgeschlagen, dass unter Bewertung einer Zeitmessung, in welcher die Zeitspanne (tF) für eine durch das eingelassene Gas bewirkte Drehzahlverringung von einem ersten Wert (fO) auf einen zweiten Wert (fU) ermittelt wird, die Durchflussmenge einer wenigstens ein Flutventil (261, 262) umfassenden Ventilanordnung (26) eingestellt wird. Die Erfindung betrifft außerdem eine Anordnung mit einer Vakuumpumpe mit schnelldrehendem Rotor. Zur Durchführung des Verfahrens wird vorgeschlagen, dass sie umfasst:
- einen Flutzeitmesser (50) zum Bestimmen einer Zeitspanne (tF) für die Drehzahlverringung von einem ersten auf einen zweiten Wert,
- einen Referenzwertspeicher, in welchem ein Referenzwert (54) abgelegt ist,
- einen Zeitvergleicher (52) zum Vergleichen der Zeitspanne mit dem Referenzwert und zum Bilden eines Vergleichsergebnisses, und
- einer Ventilsteuerung (30), die die Durchflussmenge einer wenigstens Flutventil (261, 262) umfassenden Ventilanordnung (26) abhängig vom Vergleichsergebnis einstellt.

摘要翻译： 该方法包括高速旋转转子（12），其中通过引入气体来评估用于减速的时间测量来确定时间间隔。 时间间隔由一个值确定为其他值。 确定排气阀（261,262）的流量，其中排气阀具有阀组件（26）。 对于具有真空泵的装置，还包括独立权利要求。

公开(公告)号：EP2772651A3

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：EP14154409.8

申请日：2014-02-10

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Shirinov, Dr. Aleksandr ,  Söhngen, Wolfgang ,  Gogol, Torsten ,  Oberbeck, Sebastian

IPC分类号： F04D23/00 ,  F04D29/58

CPC分类号： F04D29/58 ,  F04D17/168 ,  F04D19/04 ,  F04D23/008 ,  F04D25/06 ,  F04D29/5806 ,  F04D29/5813 ,  F04D29/584

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit wenigstens einer Seitenkanalpumpstufe, die einen durch zumindest ein Statorelement begrenzten Seitenkanal umfasst, und mit einem Kühlmittelkreislauf zur Kühlung der Vakuumpumpe mit einem Kühlmittel, wobei der Kühlmittelkreislauf wenigstens einen Kühlmittelkanal für die Seitenkanalpumpstufe aufweist, der zumindest bereichsweise durch das Statorelement begrenzt ist.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有至少一个侧通道泵级包括一个由至少一个定子侧通道限制的真空泵，并且具有用于与冷却剂，其中，所述冷却剂回路包括用于所述侧通道泵级的至少一个冷却剂通道，通过定子中的一些区域中的至少限定冷却真空泵的冷却剂回路 是。

公开(公告)号：EP2808549A1

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：EP14167613.0

申请日：2014-05-09

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Mekota, Mirko ,  Vorwerk, Peter ,  Hofmann, Bernd ,  Schnarr, Johannes

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/063 ,  F04D29/059

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Rotor (10) und mit einem Drehlager (12), welches mit einem Betriebsmittel zu versorgen ist, zur drehbaren Unterstützung des Rotors, wobei der Rotor (10) einen, insbesondere konischen, Förderabschnitt (14) zur Förderung des Betriebsmittels zu dem Drehlager (12) aufweist,
wobei eine Förderpumpe (16) zur Förderung des Betriebsmittels und/oder ein Betriebsmittelspeicher (18) mit einem saugfähigen Speichermittel für das Betriebsmittel vorgesehen ist,
und wobei wenigstens ein Docht (20) vorgesehen ist, welcher mit dem Förderabschnitt (14) in Kontakt steht, um das von der Förderpumpe (16) und/oder von dem saugfähigen Speichermittel zur Verfügung gestellte Betriebsmittel in gewünschter Menge auf den Förderabschnitt (14) zu übertragen.

摘要翻译： 一个真空泵包括一个转子和一个旋转轴承，为了转子的可旋转支撑而配备一个操作介质，其中转子具有输送部分，特别是一个锥形输送部分，用于将操作介质供给到 旋转剂。 提供输送泵用于输送操作介质和/或操作介质储存器，其具有用于操作介质的吸收剂存储装置。 此外，提供至少一个与输送部分接触的油绳，以将所需的输送泵和/或从吸收剂储存装置传送到输送段。

公开(公告)号：EP2772650A2

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：EP14153982.5

申请日：2014-02-05

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Schill, Michael

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/58

CPC分类号： F04D29/584 ,  F04D19/042

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Pumpeneinlass (10), einem Pumpenauslass (14) und einem zwischen dem Pumpeneinlass (10) und dem Pumpenauslass (14) angeordneten Pumpenraum (18) für ein zu pumpendes Gas, sowie mit zumindest einem Kühlgaseinlass (48) für ein Kühlgas zur Kühlung der Vakuumpumpe und mit einem oder mehreren mit dem Kühlgaseinlass (48) gasleitend verbundenen und außerhalb des Pumpenraums (18) angeordneten Hohlbereichen (50, 52, 54) für das Kühlgas, wobei der oder jeder Hohlbereich (50, 52, 54) durch wenigstens eine Komponente (22, 58, 74) der Vakuumpumpe begrenzt ist.

摘要翻译： 真空泵具有用于待泵送的气体的泵入口（10），泵出口（14）和泵室（18），其中泵壳体布置在泵入口和泵出口之间。 为冷却真空泵的冷却气体提供冷却气体入口（48）。 为冷却气体设置一个或多个中空部分，并且设置在泵室的外部。 每个中空部分由真空泵的部件限制。 一个中空部分以导电的方式与泵出口连接。 包括用于操作真空泵的方法的独立权利要求。

公开(公告)号：EP2133581B1

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：EP09006431.2

申请日：2009-05-13

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Stanzel, Jörg ,  Watz, Robert

IPC分类号： F16D1/076 ,  F04D19/04

CPC分类号： F16D1/076 ,  F04D19/042 ,  F04D29/601 ,  F16L23/036

公开(公告)号：EP2749857A2

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：EP13192814.5

申请日：2013-11-14

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Conrad, Armin

IPC分类号： G01L11/00 ,  G01L13/00

CPC分类号： G01L9/00 ,  G01L9/0016 ,  G01L9/08 ,  G01L11/002 ,  G01L19/02 ,  G01L27/00

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung eines Druckes mit wenigstens einem Drucksensor mit wenigstens einer aktiven Sensorfläche, bei der der wenigstens einen Sensorfläche gegenüberliegend eine schwingende und/oder temperaturwechselnde Gegenfläche angeordnet ist, bei der die Sensorfläche und die Gegenfläche in einem Hohlkörper angeordnet sind, wobei der Hohlkörper wenigstens eine Öffnung aufweist, und bei der wenigstens ein Wechselsignalverstärker vorgesehen ist. ( Fig. 1 ).

摘要翻译： 所述装置（1）具有一个压力传感器（2）那样在有源传感器区域（3）设置有。 有源传感器区域被设置到相对的振动和/或温度变化的配合表面（4）。 有源传感器区和振动和/或温度变化的配合表面被布置在中空部（8）。 放大器中空部设置有开口部（10,11）和上交流（AC）信号（14）。 侧壁（6,7）被布置在振动和/或温度变化的配合表面的一个支撑件（5）。

公开(公告)号：EP2740943A2

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：EP13194311.0

申请日：2013-11-25

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Koci, Bernd

IPC分类号： F04D17/16 ,  F04D19/04 ,  F04D29/02

CPC分类号： F04D17/168 ,  F04D19/042 ,  F04D29/023 ,  F04D29/321 ,  F05C2201/903 ,  F05D2300/121 ,  F05D2300/224 ,  F05D2300/6032 ,  F05D2300/61

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit wenigstens einer Komponente (30), die ein Material umfasst oder daraus besteht, welches ein Metall und Nanopartikel enthält, sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Vakuumpumpe.

摘要翻译： 该泵具有包括材料的转子盘（30），该材料包含金属 铝和纳米颗粒的碳纳米管。 转子元件可旋转地支撑在与定子相对的位置，其中材料规定在0.5-10重量％之间，优选在1-9重量％之间，并且纳米颗粒规定在2-4重量％之间。 ％。 碳纳米管包括具有多个卷起的石墨层的涡旋结构，其中粉末状复合材料通过金属粉末的机械合金获得。 对于真空泵的制造方法也包括独立权利要求。