摘要:
A diaphragm transducer 201 is manufactured by forming cavities in a diaphragm layer which are backfilled with a material readily removed by etching. The diaphragm layer is bonded to a silicon wafer. Access passages are provided to enable removal of the backfill material. The transducer 201 is incorporated in a three-wafer capacitive sensor 4 bonded to a pressure tube 5 with pressure ports 204 and 205 leading to access pressure ports 206.
摘要:
Elle comprend un tube (2) ayant une extrémité ouverte et une extrémité fermée (4), un piston (6) monté coulissant dans le tube (2) pour délimiter avec l'extrémité fermée de ce tube une chambre (8) de volume variable, un moyen (9, 50, 50a, 50b) pour assurer une étanchéité entre le tube (2) et le piston (6), une huile compressible contenue dans ladite chambre (8) de volume variable, un moyen (10, 12, 18) pour mesurer le déplacement du piston relativement au tube. Les moyens pour mesurer le déplacement du piston relativement au tube comprennent un potentiomètre linéaire comportant une piste reliée (12) au piston (6) et un curseur (18) relié au tube (2), des fils électriques de connexion reliant le curseur et les extrémités de la piste à des moyens de mesure de la résistance électrique entre le curseur (18) et chacune des extrémités de la piste (12).
摘要:
La présente invention concerne un capteur de pression à membrane comprenant un corps (10) qui définit une chambre de pression (12) communiquant avec un fluide dont on souhaite contrôler la pression et qui est délimitée d'un côté par une membrane déformable (20), un équipage mobile (100) sollicité par la membrane (20) et un capot (40) entourant l'équipage mobile (100) et obturé de façon étanche par la membrane (20). De plus, selon l'invention, le capteur comprend entre la membrane (20) et l'équipage mobile (100) un organe de compensation (203) apte à compenser les déplacements de la membrane dus à des variations de pression sous le capot (40) ainsi que les dilatations thermiques des éléments intervenant dans le positionnement de l'équipage mobile (100).
摘要:
A battery pressure measuring sensor according to an embodiment of the present disclosure includes a substrate; a plurality of variable resistor units provided at a plurality of locations in consideration of a swelling characteristic of a battery on the substrate and configured to change a resistance value within a corresponding resistance range according to a pressure applied to each unit; and a plurality of sensing lines configured to be connected to the plurality of variable resistor units, respectively.
摘要:
L'invention concerne un capteur d'appui (10) comportant : - un détecteur capacitif (11) comportant : une couche de protection (12), une première couche isolante (13) disposée sous ladite couche de protection (12), une première électrode (14) disposée sous ladite première couche isolante (13), une seconde couche isolante (15) disposée sous ladite première électrode (14) et une seconde électrode (16) disposée sous ladite seconde couche (15) ; - un détecteur résistif (21) formé par une couche supérieure déformable (22) reliée à un détecteur (24) disposé sous ladite couche supérieure déformable (22) au moyen d'un cadre (25) ; ledit détecteur (24) étant fixé sur un substrat (17) ledit détecteur capacitif (11) étant collé sur ledit détecteur résistif (21) au moyen d'une couche adhésive (26) dont l'épaisseur est inférieure à 0,5 mm ; ledit capteur d'appui (10) présentant une surface inférieure à 1500 cm 2 ; et ladite couche de protection (12) présentant une épaisseur comprise entre 0,15 et 0,35 mm.
摘要:
L'invention concerne un capteur (1) pour la mesure d'une première grandeur physique dont la mesure est affectée par une deuxième grandeur physique, ledit capteur (1) comprenant un corps de capteur (10) à l'intérieur duquel sont installés : - un premier élément sensible (11) configuré pour mesurer la première grandeur physique ; - un deuxième élément sensible (12) configuré pour mesurer la deuxième grandeur physique ; - une mémoire (13) sur laquelle est enregistrée une table de compensation qui détermine une valeur corrigée de la première grandeur physique en fonction de la valeur mesurée de la première grandeur physique par le premier élément sensible (11) et de la valeur mesurée de la deuxième grandeur physique par le deuxième élément sensible (12) ; - une unité de traitement (14) qui est reliée au premier élément sensible (11), au deuxième élément sensible (12) et à la mémoire (13), l'unité de traitement (14) étant configurée pour générer un signal de mesure du capteur (1) correspondant à la valeur corrigée de la première grandeur physique à partir de la valeur mesurée de la première grandeur physique par le premier élément sensible (11), de la valeur mesurée de la deuxième grandeur physique par le deuxième élément sensible (12), et de la table de compensation.
摘要:
The present invention provides a difference measurement circuit (60) comprising a first port (P1, P1') and a second port (P2, P2') for connection to a first set of nodes (A, B) and a second set of nodes (C, D) of a sensor unit. The circuit (60) further comprises switching units (61, 62) for switching excitation signals emanating from excitation nodes (C', D') from being applied to the first set of nodes (A, B) via the first port (P1, P1') to being applied to the second set of nodes (C, D) via the second port (P2, P2') and for switching differential measurement signals measured at sensing nodes (A', B') from being obtained from the second set of nodes (C, D) via the second port (P2, P2') to being obtained from the first set of nodes (A, B) via the first port (P1, P1'). The present invention also provides a corresponding method. The circuit (60) further comprises redundancy testing circuitry for evaluating the similarity or deviation between measurement signals obtained in different states of the switching units (61, 62).