公开(公告)号：EP2954965A1

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：EP14171975.7

申请日：2014-06-11

申请人： Applied Materials Switzerland Sàrl

发明人： Mercay, Guillaume ,  Schmid, Andreas ,  Mittaz, Alexandre

IPC分类号： B23D57/00 ,  B23D59/00 ,  B28D5/00 ,  B28D5/04

CPC分类号： B28D5/045 ,  B23D57/0046 ,  B28D5/0064 ,  B28D5/0088

摘要： A method for sawing an ingot, an ingot feeding system for a wire saw device and a wire saw including the ingot feeding system is described. The method for sawing an ingot includes feeding an ingot in a cutting direction towards a wire web of a wire saw while rotating the ingot around an axis of rotation, wherein the distance between the axis of rotation and the wire web is smaller than ± 10 mm, particularly ± 5 mm, particularly ± 2,5 mm.

摘要翻译： 描述了一种用于锯切锭的方法，用于线锯装置的锭进给系统和包括锭锭系统的线锯。 用于锯锭的方法包括：在沿着旋转轴线旋转铸锭的过程中，将切割方向上的铸锭向钢丝绳的钢丝网进给，其中旋转轴线和钢丝网之间的距离小于±10mm ，特别是±5mm，特别是±2.5mm。

公开(公告)号：EP2939778A1

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：EP14166438.3

申请日：2014-04-29

申请人： Applied Materials Switzerland Sàrl

发明人： Soubielle, Sebastien

IPC分类号： B23D57/00 ,  B65H57/14 ,  B65H57/26

CPC分类号： B23D57/0053 ,  B65H57/14 ,  B65H57/26 ,  B65H2701/36

摘要： A pulley configured for a wire saw device having a wire forming a wire web is described. The pulley (400) includes a reception (414) which is configured for snap-lock engagement with a complementary engagement element, and a pull-element (430) connected to the pulley for releasing the snap-lock engagement by pulling.

摘要翻译： 描述了一种用于具有形成网状物的线的线锯装置的滑轮。 滑轮（400）包括被配置为与互补的接合元件卡扣锁定接合的接收器（414）和连接到滑轮的拉动元件（430），用于通过拉动释放卡扣锁定接合。

公开(公告)号：EP2839912A1

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：EP13181226.5

申请日：2013-08-21

申请人： Applied Materials Switzerland Sàrl

发明人： Zominy, Claude ,  Billod, Mathieu

IPC分类号： B23D57/00 ,  B28D5/04

CPC分类号： B23D57/0061 ,  B28D5/045

摘要： A wire saw device (200) for sawing a semiconductor work piece is provided. The wire saw device includes a spool reception arrangement (210) for receiving a spool (250), the spool including a spool flange (260; 270) at each end of the spool; and a sensor arrangement (220) for measuring the operation condition of at least one of the spool flanges (260; 270). Further, a method for measuring the operation condition of a wire saw device (200) for sawing a semiconductor work piece is described. The wire saw device includes a spool reception arrangement (210) for receiving a spool (250) including one flange (260; 270) at each end of the spool. The method includes measuring the operation condition of at least one of the spool flanges by a sensor arrangement (220).

摘要翻译： 线锯装置（200）用于锯切半导体工件设置。 线锯装置包括：用于接收一个阀芯（250），滑阀包括一个卷筒凸缘（260; 270）的卷轴接收装置（210）在卷轴的每一端; 和传感器装置（220），用于测量卷筒凸缘的至少一个的操作条件（260; 270）。 此外，用于测量线的操作状态的方法用于锯切半导体工件描述锯装置（200）。 线锯装置包括：用于接收一个阀芯（250）包括一个凸缘的卷轴接收装置（210）;在所述阀柱的每个端部（260 270）。 该方法包括通过传感器装置（220）测量所述卷轴凸缘的至少一个的运行条件。

公开(公告)号：EP2586583A1

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：EP11187103.4

申请日：2011-10-28

申请人： Applied Materials Switzerland Sàrl

发明人： Nasch, Philippe

IPC分类号： B28D5/00

CPC分类号： B28D5/0064 ,  B28D5/045

摘要： A wire saw control system (1) for operating a wire saw (100) is provided. The wire saw is adapted for cutting a wafer (302, 304, 306, 308). The wire saw control system is configured to control the temperature of a wire (230) of a wire saw and includes a temperature sensor (20) for measuring the temperature of the wire; and a controller (25) for controlling at least one operating parameter of the wire saw based on the measured temperature. Measuring the temperature particularly includes measuring the temperature distribution. Furthermore, a method for controlling the temperature and for operating a wire saw is provided.

摘要翻译： 提供一种用于操作线锯（100）的线锯控制系统（1）。 线锯适于切割晶片（302,304,306,308）。 线锯控制系统被配置为控制线锯的线（230）的温度，并且包括用于测量线的温度的温度传感器（20） 以及用于基于测量的温度来控制线锯的至少一个操作参数的控制器（25）。 测量温度特别包括测量温度分布。 此外，提供了一种用于控制温度和操作线锯的方法。

公开(公告)号：EP2586557A1

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：EP11186731.3

申请日：2011-10-26

申请人： Applied Materials Switzerland Sàrl

发明人： Iyer, Subramani

IPC分类号： B23D61/18 ,  B23D65/00

CPC分类号： B23D61/185 ,  B23D65/00 ,  C23C16/27

摘要： A sawing element (10) for a saw is provided. The element (10) includes a core (30), and a continuous outer layer of diamond (20). A respective saw (60) and a method for producing the element (10) are also provided.

摘要翻译： 提供锯的锯切元件（10）。 元件（10）包括芯（30）和金刚石（20）的连续外层。 还提供了相应的锯（60）和用于制造元件（10）的方法。

公开(公告)号：EP2586554A1

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：EP11186936.8

申请日：2011-10-27

申请人： Applied Materials Switzerland Sàrl

发明人： Schmid, Andreas ,  Genonceau, Franck

IPC分类号： B23D57/00 ,  B28D5/04 ,  B65H49/18 ,  B65H54/28 ,  B65H59/38 ,  B65H59/40 ,  B65H57/28

CPC分类号： B23D57/0023

摘要： A wire saw device for sawing a workpiece is described. The wire saw device includes a main frame for supporting a housing, wherein the housing includes a first housing portion and a second housing portion being separated from the first housing portion, and a first wire guide assembly with at least two first wire guide cylinders for guiding a first wire to form at least one first wire web with at least one first working area, wherein the first wire guide assembly is provided within the first housing portion, a second wire guide assembly with at least two second wire guide cylinders for guiding a second wire to form at least one second wire web with at least one second working area, wherein the second wire guide assembly provided within the second housing portion, wherein the first housing portion and the second housing portion are adapted for maintaining the first and the second wire guide assemblies independent from each other, a first wire management unit for guiding the first wire, and a second wire management unit for guiding the second wire.

摘要翻译： 描述用于锯切工件的线锯装置。 线锯装置包括用于支撑壳体的主框架，其中所述壳体包括第一壳体部分和与所述第一壳体部分分离的第二壳体部分，以及具有至少两个用于引导的第一线引导筒的第一线引导组件 第一线，以形成具有至少一个第一工作区域的至少一个第一线幅，其中所述第一线引导组件设置在所述第一壳体部分内;第二线引导组件，其具有至少两个第二线引导筒，用于引导第二线引导组件 电线以形成具有至少一个第二工作区域的至少一个第二线幅，其中所述第二线引导组件设置在所述第二壳体部分内，其中所述第一壳体部分和所述第二壳体部分适于维持所述第一和第二线 彼此独立的引导组件，用于引导第一线的第一线管理单元和用于引导第二线的第二线管理单元 丝。

公开(公告)号：EP3015238A1

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：EP14190928.3

申请日：2014-10-29

申请人： Applied Materials Switzerland Sàrl

发明人： Sueldia, Raphael ,  Schneider, Olivier

IPC分类号： B28D5/04 ,  B28D5/00

CPC分类号： B28D5/0064 ,  B28D5/045

摘要： The present disclosure provides a wire monitoring system (100) for a wire saw device. The wire monitoring system (100) includes a sensor arrangement (110) configured to be positioned adjacent to a wire (22) of the wire saw device, wherein the sensor arrangement (110) is adapted to detect a bow of the wire (22), and wherein the sensor arrangement (110) includes at least one sensor configured to be moved during operation of the wire saw device.

摘要翻译： 本公开提供了一种用于线锯装置的线监视系统（100）。 所述线监测系统（100）包括传感器布置（110），所述传感器布置（110）被配置为邻近所述线锯装置的线（22）定位，其中所述传感器布置（110）适于检测所述线（22） 并且其中所述传感器装置（110）包括至少一个传感器，所述至少一个传感器构造成在所述线锯装置的操作期间移动。

公开(公告)号：EP3015237A1

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：EP14190926.7

申请日：2014-10-29

申请人： Applied Materials Switzerland Sàrl

发明人： Zominy, Claude ,  Valcourt, Floris

IPC分类号： B28D5/04 ,  B28D5/00

CPC分类号： B28D5/045 ,  B28D5/0064

摘要： The present disclosure provides a wire monitoring system (100) for a wire saw device. The wire monitoring system (100) includes a sensor arrangement configured to detect a relative distance (24) between at least two wire portions (22) of a wire of the wire saw device.

摘要翻译： 本公开提供了一种用于线锯装置的线监测系统（100）。 线监测系统（100）包括传感器装置，其被配置为检测线锯装置的线的至少两个线部分（22）之间的相对距离（24）。

公开(公告)号：EP2975638A1

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：EP14177084.2

申请日：2014-07-15

申请人： Applied Materials Switzerland Sàrl

发明人： Straube, Ralph

IPC分类号： H01L21/673 ,  B28D5/00 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67363 ,  B28D5/0082 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67772

摘要： A carrier for a semiconductor ingot is configured for top-loading and side-loading of a semiconductor ingot. The carrier includes a holder which attaches to the semiconductor ingot and can be placed at the top of a container. A side member is movable between an open position for side-loading and a closed position. A processing apparatus may move the side member of the carrier between the open and closed positions, and is configured to load and unload the semiconductor ingot from the carrier by side-loading and side-unloading.

摘要翻译： 一种用于半导体晶锭载波被配置为顶装式和半导体晶锭的侧载。 所述载体包括保持器在固定于半导体晶锭，并且可以在一个容器的顶部放置的位置。 甲侧构件为侧部装载在打开位置和闭合位置之间移动。 一种处理装置可以移动至打开和关闭位置之间的载体的侧部构件，并且被配置成加载和卸载由侧装载和侧卸载载体中的半导体晶锭。

公开(公告)号：EP2939777A1

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：EP14166226.2

申请日：2014-04-28

申请人： Applied Materials Switzerland Sàrl

发明人： Soubielle, Sebastien

IPC分类号： B23D57/00

CPC分类号： B23D57/0053

摘要： A pulley configured for a wire saw device having a wire forming a wire web is described. The pulley includes a wheel portion (410) around the pulley axis (410a), and a wire guiding portion (455) radially outward of the wheel portion for guiding a wire. The radial stiffness of the wheel portion is lower than the stiffness of the wheel portion in direction of the pulley axis.

摘要翻译： 描述了一种用于具有形成网状物的线的线锯装置的滑轮。 皮带轮包括围绕皮带轮轴线（410a）的车轮部分（410）和用于引导电线的轮部分径向向外的线引导部分（455）。 车轮部分的径向刚度低于轮子部分在皮带轮轴线方向上的刚度。