公开(公告)号：EP2248153A4

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：EP09709805

申请日：2009-02-11

申请人： SWEENEY JOSEPH D ,  YEDAVE SHARAD N ,  BYL OLEG ,  KAIM ROBERT ,  ELDRIDGE DAVID ,  SERGI STEVEN ,  FENG LIN ,  BISHOP STEVEN E ,  OLANDER KARL W ,  TANG YING ,  ADVANCED TECH MATERIALS

发明人： SWEENEY JOSEPH D ,  YEDAVE SHARAD N ,  BYL OLEG ,  KAIM ROBERT ,  ELDRIDGE DAVID ,  SERGI STEVEN ,  FENG LIN ,  BISHOP STEVEN E ,  OLANDER KARL W ,  TANG YING

IPC分类号： H01L21/265 ,  C23C16/44 ,  C23G5/00 ,  H01J37/08 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/3171 ,  C23C14/48 ,  C23C14/54 ,  C23C14/564 ,  H01J37/08 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/082 ,  H01J2237/22

公开(公告)号：EP2021528A4

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：EP07761374

申请日：2007-04-26

申请人： ADVANCED TECH MATERIALS

发明人： DIMEO FRANK JR ,  DIETZ JAMES ,  OLANDER W KARL ,  KAIM ROBERT ,  BISHOP STEVEN E ,  NEUNER JEFFREY W ,  ARNO JOSE I ,  MARGANSKI PAUL J ,  SWEENEY JOSEPH D ,  ELDRIDGE DAVID ,  YEDAVE SHARAD ,  BYL OLEG ,  STAUF GREGORY T

IPC分类号： C25B7/00

CPC分类号： C23C14/564 ,  C23C16/4405 ,  H01J37/32412 ,  H01J37/32862