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发明公开
APPARATUS AND METHOD FOR USE IN CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING PROCEDURES 失效
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR USE IN化学机械抛光

公开(公告)号：EP0771235A4

公开(公告)日：1998-09-02

申请号：EP95927147

申请日：1995-07-13

申请人： APPLIED CHEMICAL SOLUTIONS

发明人： FERRI EDWARD T JR , GEATZ J TOBIN , CORLETT GARY L

IPC分类号： B24B57/00 , B01J4/00 , B01J4/02 , B24B37/04 , B24B57/02 , C09K3/14 , G01F11/28 , B01J19/00

CPC分类号： G01F11/28 , B01J4/02 , B01J2219/00006 , B24B37/04 , B24B57/02 , C09K3/1463