公开(公告)号：EP4388289A1

公开(公告)日：2024-06-26

申请号：EP22858915.6

申请日：2022-07-13

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： ADERHOLD, Wolfgang ,  HOWELLS, Samuel ,  RAMMOHAN, Amritha ,  NGUYEN, Huy Q.

IPC分类号： G01J5/90 ,  G01J5/00 ,  G01J5/02 ,  G01J5/061 ,  G01J5/08 ,  G01J5/52 ,  H01L21/67

CPC分类号： H01L21/67248 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67115 ,  G01J5/0814 ,  G01J5/0806 ,  G01J5/0007 ,  G01J5/80 ,  G01J5/802