公开(公告)号：EP1913450A4

公开(公告)日：2010-03-31

申请号：EP06760684

申请日：2006-06-05

申请人： BROOKS AUTOMATION INC

发明人： HOSEK MARTIN ,  BEALE STUART ,  BOTEV ROUMEN ,  COADY MATTHEW ,  HOFMEISER CHRISTOPHER ,  IVES MARK ,  MOURA JAIRO ,  CAVENEY ROBERT

IPC分类号： G05B19/418

CPC分类号： G05B19/4185 ,  G05B19/4148 ,  G05B2219/31207 ,  G05B2219/33277 ,  Y02P90/18

公开(公告)号：EP3069380A4

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：EP14862636

申请日：2014-11-13

申请人： BROOKS AUTOMATION INC

发明人： MOURA JAIRO T ,  SAEIDPOURAZAR REZA ,  GUNN BRANDEN ,  COADY MATTHEW ,  GILCHRIST ULYSSES

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H02K11/215 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68707 ,  H02K1/146 ,  H02K1/24 ,  H02K5/128