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1.发明授权
公开(公告)号：EP0308304B1
公开(公告)日：1991-08-07
申请号：EP88402279.9
申请日：1988-09-09
IPC分类号： H01J49/16 , H01J37/256 , G01N23/225
CPC分类号： H01J49/164 , G01N23/2258 , H01J37/256 , H01J49/0004 , H01J49/061
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2.发明公开Procédé d'analyse d'un échantillon par érosion au moyen d'un faisceau de particules, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé 失效一种用于通过由颗粒的用于执行该方法的光束，和装置蚀刻分析的样品的方法。
公开(公告)号：EP0308304A1
公开(公告)日：1989-03-22
申请号：EP88402279.9
申请日：1988-09-09
IPC分类号： H01J49/16 , H01J37/256 , G01N23/225
CPC分类号： H01J49/164 , G01N23/2258 , H01J37/256 , H01J49/0004 , H01J49/061
摘要： L'invention concerne un procédé d'analyse d'un échantillon solide par érosion au moyen d'un faisceau de particules, pulsé, consistant à :
- balayer l'échantillon sur une surface dite surface de balayage (6), pour creuser un cratère à fond plat, ce fond plat (2) constituant une surface dite d'analyse (5) ;
- ioniser les particules arrachées à la surface d'analyse (5), au moyen d'un faisceau laser pulsé ;
- identifier les particules arrachées et ionisées, au moyen d'un spectromètre de masse.
Le temps mort disponible entre deux impulsions du faisceau laser est utilisé pour éroder les flancs (3) du cratère, car ils doivent être érodés aussi, bien qu'ils ne fassent pas partie de la surface d'analyse proprement dite (5). Ainsi le temps nécessaire pour éroder l'échantillon jusqu'à une certaine profondeur est minimisée sans perdre d'informations.
Application à la mesure du profil en profondeur de la concentration des impuretés dans un échantillon solide.摘要翻译： 通过脉冲粒子束的方式分析由侵蚀的固体样品，由In成就的方法：... - 扫过一个表面上的样品称为扫表面（6），以挖空平底的火山口，该平坦底部（ 2）构成一个所谓的分析表面（5）; ... - 通过脉冲激光束的指电离从分析表面（5）剥离的颗粒; ... - 识别剥离和电离的颗粒，通过质谱仪的手段 ， ... 的激光束的两个脉冲之间的可用空闲时间被用来侵蚀侧（3）火山口的，因为它们必须也被侵蚀，尽管它们不形成分析表面的一部分适当（5） ， 因此，侵蚀样品下降到一定深度所需的时间最少，而不会丢失信息。 ... 测量固体样品中的杂质的浓度的深度分布的应用。 ...
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