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    DISPOSITIF POUR CONNECTER AU MOINS UN NANO-OBJET ET SON PROCEDE DE REALISATION
    2.
    发明公开
    DISPOSITIF POUR CONNECTER AU MOINS UN NANO-OBJET ET SON PROCEDE DE REALISATION 审中-公开
    用于连接至少一个纳米对象的装置及其制造方法

    公开(公告)号：EP3229283A1

    公开(公告)日：2017-10-11

    申请号：EP17165178.9

    申请日：2017-04-06

    申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

    发明人： REYNAUD, Patrick ,  BAILLIN, Xavier ,  ROLLAND, Emmanuel ,  THUAIRE, Aurélie

    IPC分类号： H01L51/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y35/00 ,  H01L51/05 ,  H01L21/768

    CPC分类号： H01L21/2253 ,  G01N27/4146 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/324 ,  H01L23/481 ,  H01L51/002 ,  H01L51/0047 ,  H01L51/0093 ,  H01L51/0595

    摘要： Réalisation d'un dispositif pour connecter au moins un nano-objet à un système électrique externe, comprenant un support doté d'une couche semi-conductrice (4) dans laquelle des premières zones dopées (8a, 8b) espacées entre elles sont agencées, un système électrique externe (SEE) étant apte à être connecté aux premières zones dopées, chaque première zone dopée (8a, 8b) étant en contact avec une deuxième zone dopée (12a, 12b) sur laquelle une portion du nano-objet est apte à être disposée, les deuxièmes zones dopées (12a, 12b) étant espacées entre elles et ayant une épaisseur (e 2 ) inférieure à l'épaisseur (e 1 ) des première zones dopées (figure 1).

    摘要翻译： 一种用于将至少一个纳米物体连接到外部电气系统的装置的实现，该装置包括具有半导体层（4）的支撑件，其中布置有间隔开的第一掺杂区（8a，8b） 外部电气系统（SEE）适于连接到第一掺杂区，每个第一掺杂区（8a，8b）与第二掺杂区（12a，12b）接触，所述纳米物体的一部分能够与第二掺杂区 所述第二掺杂区（12a，12b）被间隔开并且具有比所述第一掺杂区（图1）的厚度（e1）更小的厚度（e2）。