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    PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN GUIDE À ONDE LENTE EN GERMANIUM ET PHOTODIODE INCORPORANT CE GUIDE À ONDE LENTE
    1.
    发明公开
    PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN GUIDE À ONDE LENTE EN GERMANIUM ET PHOTODIODE INCORPORANT CE GUIDE À ONDE LENTE 有权
    制造这种慢波导的锗慢波导和光电二极管的制造方法

    公开(公告)号：EP3276385A1

    公开(公告)日：2018-01-31

    申请号：EP17180850.4

    申请日：2017-07-12

    申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES

    发明人： HASSAN, Karim ,  FOWLER, Daivid ,  KOPP, Christophe ,  SZELAG, Bertrand

    IPC分类号： G02B6/12 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/105

    CPC分类号： G02B6/131 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/122 ,  G02B2006/12123 ,  G02B2006/12178 ,  H01L31/02327 ,  H01L31/105 ,  H02S40/44

    摘要： Ce procédé de fabrication d'une guide (26) à onde lente en germanium comporte :
    - la réalisation dans une dalle (14) en silicium d'une cavité dont la section, parallèle au plan de la dalle, est identique à la section horizontale du guide à onde lente et dont le fond est situé à l'intérieur de la dalle en silicium, puis
    - l'exécution d'une opération de croissance épitaxiale en phase vapeur du germanium sur le fond de la cavité jusqu'à remplir complètement cette cavité de germanium, et
    - avant la mise en oeuvre de ladite opération de croissance épitaxiale, le dépôt d'une couche de protection sur une face supérieure de la dalle en silicium, ou, après la mise en oeuvre de ladite opération de croissance épitaxiale, le retrait du germanium qui a crû sur cette face supérieure.

    摘要翻译： 用于制造的导向件（26），以减缓波锗的方法，包括： - 在其横截面平行于板坯的平面的空腔的硅的板坯（14）进行相同的水平截面 的慢波导，其底部位于硅晶片内，然后 - 在腔底部执行外延锗气相生长操作，以完全填充 锗腔，以及 - 在实施所述外延生长操作之前，在硅平板的上表面上沉积保护层，或者在实施所述外延生长操作之后， 在该上表面上生长的锗的取出。

    MATRICE DE PHASES OPTIQUES À ADRESSAGE SIMPLIFIÉ
    8.
    发明公开
    MATRICE DE PHASES OPTIQUES À ADRESSAGE SIMPLIFIÉ 审中-公开

    公开(公告)号：EP3451054A1

    公开(公告)日：2019-03-06

    申请号：EP18191592.7

    申请日：2018-08-30

    申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

    发明人： HASSAN, Karim ,  BOUTAMI, Salim ,  KOPP, Christophe

    IPC分类号： G02F1/29 ,  G02F1/313 ,  G02F1/295

    摘要： L'invention concerne un dispositif (200) d'émission d'un front d'onde électromagnétique, prévu pour, en utilisation, être connecté à une source lumineuse (10) émettant un faisceau lumineux (11), et comprenant :
    - au moins trois guides d'onde d'émission (220), comportant chacun un tronçon rectiligne (223) qui reçoit un ou plusieurs élément(s) d'extraction de puissance optique (230) ;
    - en amont de chacun desdits tronçons rectilignes, un élément de déphasage (222) et un coupleur optique (260) à taux de couplage ajustable.
    Au moins deux des tronçons rectilignes (223) s'étendent selon des droites qui ne sont pas parallèles entre elles.
    On sélectionne une orientation d'un faisceau principal d'émission, défini en champ lointain, en ajustant le taux de couplage de chacun des coupleurs optiques, et le déphasage apporté par les éléments de déphasage recevant de la puissance optique.
    L'invention est particulièrement avantageuse dans le cadre de la télédétection.

    PHOTODIODE
    9.
    发明公开
    PHOTODIODE 审中-公开

    公开(公告)号：EP3389097A1

    公开(公告)日：2018-10-17

    申请号：EP18166723.9

    申请日：2018-04-11

    申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

    发明人： HASSAN, Karim ,  BOUTAMI, Salim ,  KOPP, Christophe

    IPC分类号： H01L31/0232

    摘要： Cette photodiode comporte :
    - un coeur (22) d'un premier guide d'onde qui se termine par une terminaison fuselée (30) qui s'étend au-dessus d'un coeur (26) en germanium ou en SiGe d'un second guide d'onde,
    - un ruban d'adaptation (24) qui s'étend d'un côté, en vis-à-vis de la terminaison fuselée (30) et, du côté opposé, en vis-à-vis du coeur (26) du second guide d'onde, ce ruban d'adaptation étant couplé optiquement au coeur (26) du second guide d'onde par un couplage évanescent et comportant une première zone (92) à l'intérieur de laquelle son indice effectif de propagation est égal à l'indice effectif de propagation d'une deuxième zone (94) de la terminaison fuselée (30), ces première et deuxième zones couplant optiquement la terminaison fuselée au ruban d'adaptation par un couplage modal, et
    - une couche de bas indice qui s'étend entre le ruban d'adaptation et la terminaison fuselée.