摘要:
Procédé de réalisation d'un réflecteur optique (100) comportant un empilement alterné d'au moins une première couche (110) d'indice de réfraction complexe n 1 et d'au moins une deuxième couche (106) d'indice de réfraction complexe n 2 , dans lequel la première couche comporte des nanocristaux de semiconducteur (108), comportant les étapes de : - calcul du nombre total de couches de l'empilement, des épaisseurs de chacune des couches et des valeurs des indices de réfraction complexes n 1 et n 2 à partir des caractéristiques d'une fenêtre spectrale de réflectivité souhaitée du réflecteur optique, comportant la mise en oeuvre d'une méthode de calcul de matrices de transfert optique ; - calcul de paramètres de dépôt et de recuit des couches à partir du nombre total de couches, des épaisseurs des couches et des valeurs des indices de réfraction complexes n 1 et n 2 précédemment calculés ; - dépôt et recuit des couches conformément aux paramètres précédemment calculés.
摘要:
Procédé de préparation d'une couche de dioxyde de silicium, par oxydation à haute température, sur un substrat de formule Si 1-x Ge x , dans laquelle x est supérieur à 0 et inférieur ou égal à 1, ledit procédé comprenant les étapes successives suivantes : a) on dépose sur ledit substrat de formule Si 1-x Ge x au moins une couche supplémentaire d'épaisseur h y et de formule globale Si 1-y Ge y dans laquelle y est supérieur à 0 et inférieur à x ; b) on réalise l'oxydation à haute température de ladite couche supplémentaire de formule globale Si 1-y Ge y , moyennant quoi ladite couche supplémentaire est transformée en totalité ou en partie en une couche d'oxyde de silicium SiO 2 . Procédé de préparation d'un composant optique ou électronique comprenant au moins une étape de préparation d'une couche de SiO 2 par le procédé décrit plus haut.