Procede de realisation d'un reflecteur optique a nanocristaux de semi-conducteur
    1.
    发明公开
    Procede de realisation d'un reflecteur optique a nanocristaux de semi-conducteur 审中-公开
    Verfahren zur Herstellung eines optischen Reflektors mit Halbleiternanokristallen

    公开(公告)号:EP2562567A1

    公开(公告)日:2013-02-27

    申请号:EP12181046.9

    申请日:2012-08-20

    IPC分类号: G02B1/11 B82Y20/00

    摘要: Procédé de réalisation d'un réflecteur optique (100) comportant un empilement alterné d'au moins une première couche (110) d'indice de réfraction complexe n 1 et d'au moins une deuxième couche (106) d'indice de réfraction complexe n 2 , dans lequel la première couche comporte des nanocristaux de semiconducteur (108), comportant les étapes de :
    - calcul du nombre total de couches de l'empilement, des épaisseurs de chacune des couches et des valeurs des indices de réfraction complexes n 1 et n 2 à partir des caractéristiques d'une fenêtre spectrale de réflectivité souhaitée du réflecteur optique, comportant la mise en oeuvre d'une méthode de calcul de matrices de transfert optique ;
    - calcul de paramètres de dépôt et de recuit des couches à partir du nombre total de couches, des épaisseurs des couches et des valeurs des indices de réfraction complexes n 1 et n 2 précédemment calculés ;
    - dépôt et recuit des couches conformément aux paramètres précédemment calculés.

    摘要翻译: 该方法包括基于光反射器(100)的期望的光谱反射率窗口的特性来计算堆叠的层数(106,110)的总数,堆叠的每个层的厚度和复折射率的值, 使用光传输矩阵计算方法。 基于层的总数,厚度和值计算层之一和第三层的沉积和退火参数。 堆叠的层和第三层根据参数进行沉积和退火。 还包括用于制造光伏电池的方法的独立权利要求。