公开(公告)号：EP1821377A3

公开(公告)日：2007-10-24

申请号：EP07009853.8

申请日：1999-05-18

申请人： Cymer, Inc.

发明人： Hofmann, Thomas ,  Hueber, Jean-Marc ,  Das, Palach P. ,  Ishihara, Toshihiko ,  Duffey, Thomas P. ,  Melchior, John T. ,  Besaucele, Hervè A. ,  Morton, Richard G. ,  Ness, Richard M. ,  Newman, Peter C. ,  Partlo, William N. ,  Rothweil, Daniel A. ,  Sandstrom, Richard L.

IPC分类号： H01S3/10 ,  H01S3/225 ,  H01S3/097 ,  H01S3/134 ,  H01S3/23

CPC分类号： G03F7/70358 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/09713 ,  H01S3/10092 ,  H01S3/134 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256

摘要： An apparatus comprising: a gas discharge laser system comprising: a first gas discharge laser producing an output seed laser beam of pulses, comprising a first laser chamber within an oscillator cavity of the first gas discharge laser; a bandwidth selection and line narrowing mechanism within the oscillator cavity of the first gas discharge laser; and a second gas discharge laser for amplifying the seed laser beam pulses.

公开(公告)号：EP1821377A2

公开(公告)日：2007-08-22

申请号：EP07009853.8

申请日：1999-05-18

申请人： Cymer, Inc.

发明人： Hofmann, Thomas ,  Hueber, Jean-Marc ,  Das, Palach P. ,  Ishihara, Toshihiko ,  Duffey, Thomas P. ,  Melchior, John T. ,  Besaucele, Hervè A. ,  Morton, Richard G. ,  Ness, Richard M. ,  Newman, Peter C. ,  Partlo, William N. ,  Rothweil, Daniel A. ,  Sandstrom, Richard L.

IPC分类号： H01S3/10 ,  H01S3/225 ,  H01S3/097 ,  H01S3/134

CPC分类号： G03F7/70358 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/09713 ,  H01S3/10092 ,  H01S3/134 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256

摘要： An apparatus comprising: a gas discharge laser system comprising: a first gas discharge laser producing an output seed laser beam of pulses, comprising a first laser chamber within an oscillator cavity of the first gas discharge laser; a bandwidth selection and line narrowing mechanism within the oscillator cavity of the first gas discharge laser; and a second gas discharge laser for amplifying the seed laser beam pulses.

摘要翻译： 一种设备，包括：气体放电激光系统，包括：第一气体放电激光器，产生脉冲的输出种子激光束，包括在第一气体放电激光器的振荡器腔内的第一激光腔; 第一气体放电激光器的振荡器腔内的带宽选择和线路变窄机构; 以及用于放大种子激光束脉冲的第二气体放电激光器。