公开(公告)号：EP1791193A4

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：EP05785898

申请日：2005-09-13

申请人： DENSO CORP

发明人： NAGAYA TOSHIATSU ,  NONOYAMA TATSUHIKO ,  NAKAMURA MASAYA ,  SAITO YASUYOSHI ,  TAKAO HISAAKI ,  HOMMA TAKAHIKO ,  TAKATORI KAZUMASA

IPC分类号： H01L41/09 ,  C04B35/00 ,  F02M51/06 ,  H01L41/083 ,  H01L41/187 ,  H02N2/00

CPC分类号： C04B35/495 ,  C01G33/006 ,  C01G35/006 ,  C01P2002/52 ,  C01P2006/32 ,  C01P2006/40 ,  C01P2006/42 ,  C04B35/493 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3294 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/444 ,  C04B2235/5292 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6585 ,  C04B2235/762 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/9623 ,  H01L41/0833 ,  H01L41/1873