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    GUARD BANDS FOR TUNING FORK GYROSCOPES
    1.
    发明公开
    GUARD BANDS FOR TUNING FORK GYROSCOPES 失效
    ABSCHIRM-BÄNDERFÜRSTIMMGABEL-GYROSKOPE

    公开(公告)号：EP1007977A4

    公开(公告)日：2000-07-26

    申请号：EP97947558

    申请日：1997-11-18

    申请人： DRAPER LAB CHARLES S ,  ROCKWELL INTERNATIONAL CORP

    发明人： WEINBERG MARC S ,  PINSON JOHN C

    IPC分类号： G01C19/5719 ,  G01P9/04 ,  G01C19/56

    CPC分类号： G01C19/5719

    摘要： Guard bands (20a, 20b, 20c, 20d) in a tuning fork gyroscope reduce or eliminate force and sensitivity associated with proof mass (13) motion normal to the substrate (22) as a result of voltage transients. The guard bands reduce the undesired effects of transient voltages on electrostatic coupling of interleaved comb electrodes (12a, 18a; 14a, 18b; 14b, 18c; 12d, 18d). The guard bands are biased to reduce the coupling ratio to zero and thereby enable starting and improved performance. Various configurations of guard bands may be employed including distinct inner (20b, 20c) and outer (20a, 20d) guard bands, distinct inner guard bands only, extended sense electrodes below inner sensing combs with no outer guards, distinct outer guard bands with extended sense electrodes, and sense electrodes extended beneath both drive and sensing combs.

    摘要翻译： 音叉陀螺仪中的保护带（20a，20b，20c，20d）减少或消除由于电压瞬态导致的与检测质量（13）垂直于基板（22）的运动相关的力和灵敏度。 保护带减少了交错梳状电极（12a，18a; 14a，18b; 14b，18c; 12d，18d）的静电耦合上的瞬态电压的不希望的影响。 保护带被偏置以将耦合比减小到零，从而启动并改善性能。 可以采用各种构造的防护带，包括不同的内部防护带（20b，20c）和外部防护带（20a，20d），仅仅不同的内部防护带，在内部检测梳下方的没有外部防护装置的延伸传感电极， 感测电极以及延伸到驱动和感测梳下方的感测电极。

    TUNING FORK GYRO WITH SPLIT ELECTRODE
    4.
    发明公开
    TUNING FORK GYRO WITH SPLIT ELECTRODE 失效
    STIMMGABELKREISSEL MIT SPALTELEKRODE

    公开(公告)号：EP0970349A4

    公开(公告)日：2003-03-26

    申请号：EP98906689

    申请日：1998-02-24

    申请人： DRAPER LAB CHARLES S

    发明人： WARD PAUL A ,  HILDEBRANT ERIC M ,  NILES LANCE C ,  WEINBERG MARC S ,  KOUREPENIS ANTHONY S

    IPC分类号： G01C19/5719 ,  G01C19/00 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04

    CPC分类号： G01C19/5719

    摘要： A micromechanical tuning fork gyro having two center electrodes (9a, 9b). The two center electrodes are excited with bias potentials of opposite polarity. The oppositely biased center electrodes provide electrical symmetry across the gyroscope and thereby reduce charge transients and sensitivity to vertical translation. Currents injected directly into the proof masses (3a, 3b) are equal and opposite and thus cancel. Motor lift forces acting on the proof masses and interleaved electrodes equal, hence the proof masses move in pure translation, thereby reducing in-phase bias. Further, any pure translation normal to the plane of the gyroscope does not effect sense axis output signals.

    摘要翻译： 具有两个中心电极（9a，9b）的微机械音叉陀螺仪。 两个中心电极由相反极性的偏置电位激励。 相反偏置的中心电极提供跨越陀螺仪的电对称性，从而减少电荷瞬变和对垂直平移的敏感度。 直接注入到检测质量块（3a，3b）中的电流是相等的并且相反并且因此取消。 作用在检测质量和交错电极上的电动机升力相等，因此检测质量以纯平移运动，从而降低了同相偏压。 此外，垂直于陀螺仪平面的任何纯粹的平移都不会影响感测轴输出信号。

    DYNAMICALLY BALANCED MICROELECTROMECHANICAL DEVICES
    6.
    发明公开
    DYNAMICALLY BALANCED MICROELECTROMECHANICAL DEVICES 有权
    动物园澳门特别行政区

    公开(公告)号：EP1173773A4

    公开(公告)日：2006-05-17

    申请号：EP00918314

    申请日：2000-03-23

    申请人： DRAPER LAB CHARLES S

    发明人： WEINBERG MARC S ,  KUMAR KAPLESH ,  KING A THOMAS

    IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/02 ,  B23K26/03 ,  B23K26/12 ,  B81B3/00 ,  G01C19/5719 ,  G01C25/00

    CPC分类号： G01C25/005 ,  B23K26/032 ,  B23K26/1224 ,  B23K26/123 ,  B23K26/125 ,  G01C19/5719

    摘要： Dynamic balancing reduces quadrature bias in microfabricated vibrating instruments such as tuning fork gyros so that a purity of motion is achieved in the absence of any angular rate input. Balancing is achieved by ablating (74) or depositing (72) onto support structures (62) for a tuning fork gyroscope rather than the proof mass (60) itself by melting and moving material on a tuning fork beam (62). Such adjusting is advantageously done during actual operation of the gyro by laser beam application through an encapsulating transparent cover which can be either part of the chip die or an external package.

    摘要翻译： 动态平衡减少了诸如音叉陀螺仪的微加工振动仪器中的正交偏差，从而在没有任何角速度输入的情况下实现运动的纯度。 平衡是通过在音叉（62）上熔化和移动材料来消融（74）或沉积（72）到用于音叉陀螺仪的支撑结构（62）而不是证明质量体（60）本身。 这种调整有利地在陀螺仪的实际操作期间通过激光束施加通过可以是芯片管芯或外部封装的一部分的封装透明盖来完成。