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发明公开
FORMULATIONS FOR WET ETCHING NIPT DURING SILICIDE FABRICATION 审中-公开
标题翻译： NIPT在硅化物制造过程中的氮化方法

公开(公告)号：EP2847364A4

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：EP13787810

申请日：2013-05-10

申请人： ENTEGRIS INC

发明人： CHEN TIANNIU , BILODEAU STEVEN M , COOPER EMANUEL I , CHEN LI-MIN , BARNES JEFFREY A , BISCOTTO MARK , BOGGS KARL E , RAJARAM REKHA

IPC分类号： C23F1/08 , H01L21/302

CPC分类号： H01L21/32134 , C23F1/28 , C23F1/30 , C23F1/44 , H01L21/02068 , H01L21/28518