公开(公告)号：EP2450967A4

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：EP11752954

申请日：2011-01-05

申请人： FUJI ELECTRIC CO LTD

发明人： TSUKAHARA YUJI

IPC分类号： H01L31/042

CPC分类号： H02S30/10 ,  H01L31/03926 ,  H01L31/048 ,  H02S20/10 ,  Y02E10/50

公开(公告)号：EP2368824A4

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：EP09834758

申请日：2009-12-17

申请人： FUJI ELECTRIC CO LTD

发明人： YAMADA TAKANORI ,  YOKOYAMA SHOJI ,  FUNO HIDEKAZU ,  TSUKAHARA YUJI

IPC分类号： B65H23/032 ,  B65H23/038 ,  C23C14/56 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L31/18

CPC分类号： B65H23/038 ,  B65H23/0322 ,  B65H2301/3113 ,  B65H2301/323 ,  B65H2301/51145 ,  B65H2404/15212 ,  B65H2601/2532 ,  B65H2701/1752 ,  C23C14/562 ,  C23C16/545 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/68 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521