公开(公告)号：EP2250123A4

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：EP09709244

申请日：2009-02-03

Applicant: IBM

Inventor： BLACK CHARLES T ,  DALTON TIMOTHY J ,  DORIS BRUCE B ,  RADENS CARL

IPC: B82B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H01L21/0338 ,  B81B2203/0369 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B81C2201/0198 ,  B82Y30/00 ,  H01L21/0337 ,  H01L51/0017 ,  Y10S977/882 ,  Y10S977/887 ,  Y10S977/888 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/2457 ,  Y10T428/24612 ,  Y10T428/24736 ,  Y10T428/24802