公开(公告)号：EP2801105A4

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：EP12864109

申请日：2012-12-13

Applicant: IBM

Inventor： BANGSARUNTIP SARUNYA ,  COHEN GUY ,  MAJUMDAR AMLAN ,  SLEIGHT JEFFREY W

IPC: H01L21/336 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L29/06 ,  H01L29/423 ,  H01L29/66 ,  H01L29/775 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L29/42392 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/068 ,  H01L29/66439 ,  H01L29/775 ,  H01L29/78696