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    Method and device for thermal insulation of micro-reactors
    2.
    发明公开
    Method and device for thermal insulation of micro-reactors 有权
    Verfahren und Vorrichtung zurWärmeisolierungvon Mikroreaktoren

    公开(公告)号：EP2572788A1

    公开(公告)日：2013-03-27

    申请号：EP11182533.7

    申请日：2011-09-23

    申请人： IMEC ,  Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D ,  Panasonic Corporation

    发明人： Jones, Ben ,  Fiorini, Paolo ,  Tanaka, Hiroyuki

    IPC分类号： B01L7/00 ,  B01L3/00 ,  B81C1/00

    CPC分类号： B01L3/502707 ,  B01L3/502715 ,  B01L7/52 ,  B01L2200/147 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/1805 ,  B01L2300/1883 ,  B81B3/0081 ,  B81B7/0087 ,  B81B2201/051

    摘要： The present invention provides a micro-fluidic device (104), comprising:
    - a semiconductor substrate;
    - at least one micro-reactor (105) in said semiconductor substrate;
    - one or more micro-fluidic channels (101) in said semiconductor substrate, connected to said at least one micro-reactor (105);
    - a cover layer (106) bonded to the semiconductor substrate (900) for sealing the one or more micro-fluidic channels (101); and
    - at least one through-substrate trench (100) surrounding said at least one micro-reactor (105) and the one or more micro-fluidic channels (101).

    摘要翻译： 本发明提供了一种微流体装置（104），包括： - 半导体衬底; - 所述半导体衬底中的至少一个微反应器（105） - 连接到所述至少一个微反应器（105）的所述半导体衬底中的一个或多个微流体通道（101）; - 结合到所述半导体衬底（900）上用于密封所述一个或多个微流体通道（101）的覆盖层（106）; 以及 - 围绕所述至少一个微反应器（105）和所述一个或多个微流体通道（101）的至少一个贯通衬底沟槽（100）。