公开(公告)号：EP4405516A1

公开(公告)日：2024-07-31

申请号：EP22873438.0

申请日：2022-09-15

申请人： Lam Research Corporation

发明人： MILLER, Aaron Blake ,  DURBIN, Aaron ,  HENRI, Jon ,  SRINIVASAN, Easwar ,  STRENG, Bradley Taylor ,  GUPTA, Awnish ,  VAN SCHRAVENDIJK, Bart J. ,  WEI, Fengyan ,  BAKER, Noah Elliot

IPC分类号： C23C16/509 ,  C23C16/458 ,  C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52

CPC分类号： C23C16/4586 ,  C23C16/452 ,  C23C16/345 ,  C23C16/507 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/045 ,  H01L21/6831 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32724 ,  H01J37/3244 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/68792