公开(公告)号：EP1901341A4

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：EP06766607

申请日：2006-06-12

申请人： NEC CORP

发明人： MIYAMOTO HIRONOBU ,  ANDO YUJI ,  OKAMOTO YASUHIRO ,  NAKAYAMA TATSUO ,  INOUE TAKASHI ,  OTA KAZUKI ,  WAKEJIMA AKIO ,  KASAHARA KENSUKE ,  MURASE YASUHIRO ,  MATSUNAGA KOHJI ,  YAMANOGUCHI KATSUMI ,  SHIMAWAKI HIDENORI

IPC分类号： H01L21/338 ,  H01L29/06 ,  H01L29/40 ,  H01L29/778 ,  H01L29/812

CPC分类号： H01L29/7787 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/402 ,  H01L29/404 ,  H01L29/802 ,  H01L29/812

公开(公告)号：EP1901342A4

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：EP06766608

申请日：2006-06-12

申请人： NEC CORP

发明人： MIYAMOTO HIRONOBU ,  ANDO YUJI ,  OKAMOTO YASUHIRO ,  NAKAYAMA TATSUO ,  INOUE TAKASHI ,  OTA KAZUKI ,  WAKEJIMA AKIO ,  KASAHARA KENSUKE ,  MURASE YASUHIRO ,  MATSUNAGA KOHJI ,  YAMANOGUCHI KATSUMI ,  SHIMAWAKI HIDENORI

IPC分类号： H01L21/338 ,  H01L29/778 ,  H01L29/812

CPC分类号： H01L29/404 ,  H01L29/7783 ,  H01L29/7787 ,  H01L29/802 ,  H01L29/812