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    Fluid control apparatus
    2.
    发明公开
    Fluid control apparatus 失效
    Flüssigkeitssteuerungseinrichtung

    公开(公告)号：EP0859155A2

    公开(公告)日：1998-08-19

    申请号：EP98102554.7

    申请日：1998-02-13

    申请人： Ohmi, Tadahiro ,  FUJIKIN INCORPORATED

    发明人： Ohmi, Tadahiro ,  Morokoshi, Hiroshi ,  Yamaji, Michio ,  Tanaka, Shigeaki ,  Hirao, Keiji ,  Kawano, Yuki ,  Hirose, Takashi ,  Yokoyama, Kosuke ,  Kuramochi, Michio ,  Hatano, Masayuki ,  Ikeda, Nobukazu

    IPC分类号： F15B1/00

    CPC分类号： F15B13/0817 ,  F15B13/0871 ,  F15B13/0892 ,  F15B13/0896 ,  F15B2013/006 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T137/87265 ,  Y10T137/87885

    摘要： An on-off device disposed at each of the inlet and the outlet of a fluid controller is one of five kinds of on-off devices, i.e., on-off device having a two-port valve, on-off device having a two-port valve and a three-port valve, on-off device having a two-port valve and two three-port valves, on-off device having two three-port valves, and on-off device having three three-port valves, The main bodies of two-port valves of all types of on-off devices are identical in configuration and each have an inlet and an outlet in a bottom face thereof. Main bodies of three-port valves of all types of on-off devices are identical in configuration and each formed in a bottom face thereof with an inlet, an outlet always in communication with the inlet, and an inlet-outlet subopening.

    摘要翻译： 设置在流体控制器的每个入口和出口处的开关装置是五种开关装置中的一种，即具有双端口阀的开关装置，开关装置具有二通阀， 三通阀和三通阀，具有双口阀和两个三通阀的开关装置，具有两个三通阀的开关装置和具有三个三通阀的开关装置。 所有类型的开关装置的双口阀的主体构造相同，并且在其底面具有入口和出口。 所有类型的开 - 关装置的三通阀的主体具有相同的结构，并且在其底面中形成有入口，始终与入口连通的出口和入口 - 出口开口。

    Pressure type flow rate control apparatus
    5.
    发明公开
    Pressure type flow rate control apparatus 失效
    Durchflussregler mit einer Druckregelung

    公开(公告)号：EP0824232A1

    公开(公告)日：1998-02-18

    申请号：EP97306008.0

    申请日：1997-08-07

    申请人： FUJIKIN INCORPORATED ,  Ohmi, Tadahiro

    发明人： Ohmi, Tadahiro ,  Nishino, Koji ,  Ikeda, Nobukazu ,  Morimoto, Akihiro ,  Minami, Yukio ,  Kawada, Koji ,  Dohi, Ryosuke ,  Fukuda, Hiroyuki

    IPC分类号： G05D7/06

    CPC分类号： G05D7/0635 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761

    摘要： A pressure type flow rate control apparatus (1) controls flow rate of a fluid in an environment where a ratio of P2/P1 between an absolute pressure P1 at an upstream side of an orifice and an absolute pressure P2 at a downstream side of the orifice is maintained at a value less than about 0.7. The apparatus comprises: a plate for forming the orifice (5); a control valve (2) positioned upstream of the orifice; an orifice corresponding valve (9) positioned downstream of the orifice (5); a primary pressure detector (3) positioned between the control valve (2) and the orifice (5); a secondary pressure detector (11) positioned downstream of the orifice (5); a calculation control device (6) for calculating flow rate Qc on the basis of the measured pressure P1 of the primary pressure detector (3) by a formula Qc = KP1 (K being a constant) and for outputting as a control signal Qy a difference between a flow rate command signal Qs and the calculated flow rate signal Qc to a drive unit (14) of the control valve 2; and a pressure comparing, calculating apparatus (10) for calculating the ratio of P2/P1 between the detected pressure P1 of the primary pressure detector (3) and the detected pressure P2 of the secondary pressure detector (11). The pressure P1 upstream of the orifice is adjusted by opening and closing the control valve by the control signal Qy, thereby controlling the flow rate downstream of the orifice.

    摘要翻译： 压力式流量控制装置（1）控制在孔口上游侧的绝对压力P1与孔口下游侧的绝对压力P2之间的P2 / P1的比例的环境中的流体流量 维持在小于约0.7的值。 该装置包括：用于形成孔口（5）的板; 位于孔口上游的控制阀（2）; 位于孔口（5）下游的孔对应阀（9）; 位于控制阀（2）和孔口（5）之间的初级压力检测器（3）; 位于孔口（5）下游的二次压力检测器（11）; 计算控制装置（6），用于通过公式Qc = KP1（K为常数）计算基于所测量的主压力检测器（3）的压力P1的流量Qc，并且作为控制信号Qy输出差 在流量指令信号Qs和计算出的流量信号Qc之间，与控制阀2的驱动单元（14）之间; 以及压力比较，用于计算一次压力检测器（3）的检测压力P1与二次压力检测器（11）的检测压力P2之间的P2 / P1的比率的计算装置（10）。 通过控制信号Qy打开和关闭控制阀来调节孔口上游的压力P1，从而控制孔口下游的流速。

    Reactor for generation of moisture
    6.
    发明公开
    Reactor for generation of moisture 有权
    Reaktor zur Herstellung von Feuchtigkeit

    公开(公告)号：EP0987217A1

    公开(公告)日：2000-03-22

    申请号：EP98307592.0

    申请日：1998-09-18

    申请人： FUJIKIN INCORPORATED ,  Ohmi, Tadahiro

    发明人： Ohmi, Tadahiro ,  Kawada, Koji ,  Tanabe, Yoshikazu ,  Ikeda, Nobukazu ,  Morimoto, Akihiro ,  Minami, Yukio

    IPC分类号： C01B5/00 ,  B01J4/04 ,  B01J12/00 ,  B01J8/02 ,  B01J8/00

    CPC分类号： B01J12/007 ,  C01B5/00

    摘要： An improved reactor for generating water from hydrogen and oxygen which allows production of moisture at a high reaction rate exceeding 99 percent with the temperature kept under some 400°C inside the reactor shell (1) and with the moisture production being more than 1, 000 sccm. One form of the reactor (Fig. 1) according to the invention is made up with two bottomed cylinders, a first reactor structural component (2) and a second reactor structural component (3), united to define a sealed interior space (1a). The sealed interior space (1a) of the reactor shell (1) is partitioned by adiffusion filter (10) into a first chamber (1b) provided with an inlet reflector unit (9) and a second chamber (1c) provided with an outlet reflector-diffuser unit (11). On the inside surface of the second reactor structural component (1c) is formed a platinum coated catalyst layer (13). The inlet reflector unit (9) comprises a cylindrical casing (9a) mounted over a material gas feed port (2c) on the inside surface of the first reactor structural component (2), side openings (9c) formed in the casing (9a) and a reflector (9b) closing the open end of the casing (9a). The outlet reflector-diffuser unit (11) has a cylindrical casing (11a) fixed over a moisture gas outlet port (3c) on the inside surface of the secondreactor structural component (3), side openings (11e) formed in the casing, a reflector (11b) closing the open end of the casing (11a), an outlet diffusion filter (11c) provided inside the casing (11a) and a platinum coated catalyst layer (11d) formed on the outlet diffusion filter (11c).

    摘要翻译： 一种用于从氢气和氧气产生水的改进的反应器，其允许在反应器壳（1）内保持在约400℃的温度下以高反应速率生产超过99％的水分，并且水分产生量大于1,000 SCCM。 根据本发明的反应器（图1）的一种形式由两个有底圆筒，第一反应器结构部件（2）和第二反应器结构部件（3）组成，以限定密封的内部空间（1a） 。 反应器壳体（1）的密封内部空间（1a）被扩散过滤器（10）分隔成具有入口反射器单元（9）的第一室（1b）和设置有出口反射器 -diffuser单位（11）。 在第二反应器结构部件（1c）的内表面上形成有镀铂催化剂层（13）。 入口反射器单元（9）包括安装在第一反应器结构部件（2）的内表面上的材料气体供给口（2c）上的圆柱形壳体（9a），形成在壳体（9a）中的侧开口（9c） 以及关闭壳体（9a）的开口端的反射器（9b）。 出口反射器 - 扩散器单元（11）具有固定在第二反应器结构部件（3）的内表面上的湿气出口（3c）上的圆筒形壳体（11a），形成在壳体中的侧开口（11e）， 关闭壳体（11a）的开口端的反射器（11b），设置在壳体（11a）内部的出口扩散过滤器（11c）和形成在出口扩散过滤器（11c）上的镀铂催化剂层（11d）。

    Fluid control system and valve to be used therein
    7.
    发明公开
    Fluid control system and valve to be used therein 失效
    流体控制系统和阀门在其中使用

    公开(公告)号：EP0756118A3

    公开(公告)日：1997-02-05

    申请号：EP96302056.5

    申请日：1996-03-26

    申请人： Ohmi, Tadahiro ,  FUJIKIN INCORPORATED

    发明人： Ohmi, Tadahiro ,  Yamaji, Michio ,  Ikeda, Nobukazu ,  Morokoshi, Hiroshi

    IPC分类号： F16K31/42 ,  C30B25/14 ,  C30B31/16 ,  B01J4/00 ,  F16K7/14

    CPC分类号： C23C16/45561 ,  B01J4/008 ,  C30B25/14 ,  C30B31/16 ,  F16K31/1226 ,  F16K31/42 ,  Y10T137/87684

    摘要： A fluid control system, and its valve assemblies, are used to control the feeding of fluids accurately (by operating (opening and closing) valves promptly and accurately), for the manufacture of semiconductors, magnetic thin films, biotechnical products, and other products. The fluid control system comprises a principal control line (L) and plural branch control lines (L 1 , L 2 , ...) for feeding plural types of fluid (G 1 , G 2 ,...) into a processing device (C) coupled to the principal control line, and plural valve assemblies (V) incorporated in the branch control lines (L 1 , L 2 ,...) for switching the fluids (G 1 , G 2 ,...) supplied into the processing device (C). Each of the valve assemblies (V) comprises a fluid drive valve (V') having a fluid pressure actuator (1), and an electromagnetic valve (V") integrally attached, in single housing, substantially without hoses, to the fluid drive valve (V') to feed a working fluid (A) into the fluid pressure actuator (1).

    摘要翻译： 流体控制系统及其阀组件用于精确控制流体的供给（通过快速准确地操作（打开和关闭）阀门），用于制造半导体，磁性薄膜，生物技术产品和其他产品。 流体控制系统包括主控制线（L）和用于将多种类型的流体（G1，G2，...）供给到处理装置（C）中的多个分支控制线（L1，L2，...） 主控制管路和多个阀组件（V），所述多个阀组件（V）结合在用于切换供给到处理装置（C）中的流体（G1，G2，...）的分支控制管路（L1，L2，...）中。 每个阀组件（V）包括具有流体压力致动器（1）的流体驱动阀（V'）和电磁阀（V“），电磁阀（V”）在单个外壳中基本上没有软管地连接到流体驱动阀 （V'）以将工作流体（A）供给到流体压力致动器（1）中。