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    ION SOURCE
    5.
    发明公开
    ION SOURCE 审中-公开
    离子源

    公开(公告)号：EP1348228A1

    公开(公告)日：2003-10-01

    申请号：EP01998988.8

    申请日：2001-11-29

    申请人： Saintech Pty. Ltd

    发明人： SAINTY, Wayne, G.

    IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/08 ,  H01J27/02 ,  C23C14/54

    CPC分类号： H01J27/02 ,  C23C14/221 ,  C23C14/54 ,  H01J27/146 ,  H01J37/08

    摘要： An ion source (10) for use in ion assisted deposition of films, has an ionisation region (13), a gas supply (22), supplying ionisable gas to the ionisation region, a gas excitation system (11, 12) causing ionisation of the gas, ion influencing means forming the ions into a current directed at a target, and an ion source controller controlling the ion source so as to intermittently produce the current.

    Pulsed microfocused ion beams
    6.
    发明公开
    Pulsed microfocused ion beams 失效
    Gepulste mikrofokussierte Ionenstrahlen。

    公开(公告)号：EP0304525A1

    公开(公告)日：1989-03-01

    申请号：EP87307672.3

    申请日：1987-08-28

    申请人： FISONS plc

    发明人： Waugh, Allen Robert

    IPC分类号： H01J27/02 ,  H01J49/10 ,  H01J49/40

    CPC分类号： H01J49/061 ,  H01J27/02 ,  H01J49/40

    摘要： An ion gun (42) for producing a pulsed microfocused beam of ions comprises an ion source (1) arranged to produce a continuous ion beam along a z-axis toward a collector (13) having an aperture (14) on the axis. A deflector (7) is arranged to maintain the beam substantially stationary and incident on the aperture for a pulse time, to deflect the beam away from the aperture to the collector and subsequently to return the beam to be incident at the aperture. A focussing lens (15) focusses the beam from the deflection point (at 7) to a final image point, and a condensing lens (2) focusses the beam at the deflection point. A mass filter (6) selects a single ion species, and a second deflector (10) deflects the beam orthogonally to the deflector (7) so that the returning path of the beam on the collector (13) does not cross the aperture (14). A stigmator (60,61) and a beam scanner (19) are also provided.

    摘要翻译： 用于产生脉冲的聚焦离子束的离子枪（42）包括离子源（1），该离子源（1）被布置成沿z轴朝向在轴上具有孔（14）的收集器（13）产生连续的离子束。 偏转器（7）被布置成保持光束基本静止并入射到孔上一段脉冲时间，以使光束远离光圈偏转到收集器，并且随后使光束返回到入射到光圈处。 聚焦透镜（15）将来自偏转点（在7处）的光束聚焦到最终图像点，并且聚光透镜（2）将光束聚焦在偏转点处。 质量过滤器（6）选择单个离子种类，而第二偏转器（10）将光束垂直偏转到偏转器（7），使得收集器（13）上的光束的返回路径不穿过光圈（14） ）。 还提供了一个标示器（60,61）和一个光束扫描器（19）。

    Charged particle source of large current with high energy
    7.
    发明公开
    Charged particle source of large current with high energy 失效
    Quelle geladener Teilchen hohen Stromes und hoher Energie。

    公开(公告)号：EP0298577A2

    公开(公告)日：1989-01-11

    申请号：EP88201449.1

    申请日：1988-07-08

    申请人： HITACHI, LTD. ,  Philips Electronics N.V.

    发明人： Stormberg, Hans-Peter ,  Watanabe, Yoshio ,  Ochiai, Isao

    IPC分类号： H05H1/24 ,  H01J27/02

    CPC分类号： H01J27/02 ,  H05H1/52

    摘要： A plasma ion source comprising coaxially oriented electrodes (1,2), a first rod-shaped electrode (1) and a second annular-shape electrode (2). The electrodes are positioned inside an enclosure filled with a gas with an atomic number higher than five. The current source is capable of delivering a current up to 100 KA within 1 micro sec. A focusing means (7) is positioned near the desired plasma pinch.

    摘要翻译： 一种等离子体离子源，包括同轴取向电极（1,2），第一棒状电极（1）和第二环形电极（2）。 电极位于充满原子序数高于5的气体的外壳内。 电流源能够在1微秒内传递高达100 KA的电流。 聚焦装置（7）位于期望的等离子体夹持附近。

    Source d'ions comprenant une chambre d'ionisation à gaz avec oscillations d'électrons
    8.
    发明公开
    Source d'ions comprenant une chambre d'ionisation à gaz avec oscillations d'électrons 失效
    离子源Gasionisierungsraum电子振荡。

    公开(公告)号：EP0077738A1

    公开(公告)日：1983-04-27

    申请号：EP82401920.2

    申请日：1982-10-19

    申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE Etablissement de Caractère Scientifique Technique et Industriel

    发明人： Boyer, Robert La Coudounière ,  Journoux, Jean-Pierre

    IPC分类号： H01J27/02

    CPC分类号： H01J27/02

    摘要： L'invention concerne une source d'ions.
    Cette source comprend une chambre d'ionisation (1) à gaz, une source d'électrons (SE,), des moyens pour faire osciller les électrons dans la chambre de manière à créer une zone d'ionisation (Z) du gaz. Elle est caractérisée en ce que les moyens pour faire osciller les électrons comprennent deux lentilles électroniques (L 1 , L 2 ) identiques dont les axes coïncident avec la direction d'oscillation, deux miroirs sphériques (M 1 , M 2 ) concaves tournés l'un vers l'autre et situés respectivement de part et d'autre des deux lentilles (L 1 , L 2 ) et dont leurs centres coïncident respectivement avec les foyers (F 1 , F 2 ) des lentilles, la source (SE 1 ) d'électrons étant située au foyer (F,) de l'une des deux lentilles (L 1 , L 2 ).
    Application à l'analyse des gaz par spectrométrie de masse.

    ION SOURCE WITH DEVICE FOR OXIDISING OR HALOGENATING A SAMPLE
    9.
    发明公开
    ION SOURCE WITH DEVICE FOR OXIDISING OR HALOGENATING A SAMPLE 有权
    使用设备离子源氧化或卤化A示例

    公开(公告)号：EP2311060A2

    公开(公告)日：2011-04-20

    申请号：EP09784708.1

    申请日：2009-07-16

    申请人： Micromass UK Limited

    发明人： BATEMAN, Robert, Harold

    IPC分类号： H01J27/02 ,  H01J49/14 ,  G01N31/12

    CPC分类号： H01J49/147 ,  H01J27/02 ,  H01J49/0077

    摘要： An ion source is disclosed wherein a sample is introduced into the sample chamber (1) of the ion source in the gas phase via a sample introduction capillary tube (2). The sample is directed onto a heated surface (6) coated with an oxidising reagent such as copper oxide. Carbon in the sample is oxidised to form carbon dioxide. The resulting carbon dioxide molecules are then ionised by electron impact ionisation with an electron beam (3) and the resulting ions are passed to a mass analyser for mass analysis.