公开(公告)号：EP2070883A4

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：EP07807048

申请日：2007-09-11

申请人： TOSOH CORP ,  TOSOH SGM CORP

发明人： ARAI KAZUYOSHI ,  TAKAHATA TSUTOMU ,  HASIMOTO SHINKICHI ,  UCHIDA MASATO ,  YAMADA NOBUSUKE ,  HARADA YOSHINORI ,  HORIKOSHI HIDEHARU

IPC分类号： C03B20/00 ,  C03B19/06 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03C4/10

CPC分类号： C03C4/0085 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03C3/06 ,  C03C4/10 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  Y02P40/57

公开(公告)号：EP2754638A4

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：EP12830501

申请日：2012-09-03

申请人： TOSOH CORP ,  SAGAMI CHEMICAL RES INST

发明人： KINOSHITA TOMOYUKI ,  IWANAGA KOHEI ,  ASANO SACHIO ,  KAWABATA TAKAHIRO ,  OSHIMA NORIAKI ,  HIRAI SATORI ,  HARADA YOSHINORI ,  ARAI KAZUYOSHI ,  TADA KEN-ICHI

IPC分类号： C01B13/32 ,  C01B33/113 ,  C01G23/04 ,  C07F7/00 ,  C07F7/02 ,  C07F7/10 ,  C07F7/18 ,  C07F7/28 ,  C09D1/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/316

CPC分类号： C09D1/00 ,  C01B33/113 ,  C07F7/006 ,  C07F7/025 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02181 ,  H01L21/02186 ,  H01L21/02189 ,  H01L21/02216 ,  H01L21/02282

摘要： An object of the present invention is to provide a method for producing a Group IV metal oxide film useful as a semiconductor element or an optical element at a low temperature. The present invention relates to a method for producing a Group IV metal oxide film, comprising coating a surface of a substrate with a film-forming material dissolved in an organic solvent, and subjecting the substrate to a heat treatment, an ultraviolet irradiation treatment, or both of these treatments, wherein a film-forming material obtained by reacting a vinylenediamide complex having a specific structure with an oxidizing agent such as oxygen gas, air, ozone, water and hydrogen peroxide is used as the film-forming material.

公开(公告)号：EP1589128A4

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：EP04705157

申请日：2004-01-26

申请人： TOSOH CORP

发明人： ABE MASANORI ,  TAKAHASHI KOYATA ,  ARAI KAZUYOSHI ,  TAKAHATA TSUTOMU ,  HASHIMOTO SHINKICHI ,  KOHGO MASANORI

IPC分类号： C23C4/10

CPC分类号： C03C17/04 ,  C03C3/062 ,  C03C3/083 ,  C03C3/085 ,  C03C3/095 ,  C03C8/02 ,  C03C15/00 ,  C03C17/002 ,  C03C17/007 ,  C03C17/3417 ,  C03C19/00 ,  C03C2217/78 ,  C23C4/10 ,  C23C4/11 ,  C23D5/04 ,  Y02T50/67