公开(公告)号：EP2112130A1

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：EP08007746.4

申请日：2008-04-22

申请人： UNIVERSITEIT TWENTE ,  Stichting Voor De Technische Wetenschappen

发明人： Unnikrishnan, Sandeep ,  Jansen, Henricus Venantius ,  Berenschot, Johan Willem ,  Fazal, Imran ,  Louwerse, Marcus Cornelis ,  Mogulkoc, Berker ,  Sanders, Remco ,  De Boer, Meint Jelle ,  Elwenspoek, Michael Curt

IPC分类号： C04B37/00 ,  C04B37/04

CPC分类号： C04B37/001 ,  C03C27/00 ,  C04B35/634 ,  C04B37/042 ,  C04B37/045 ,  C04B37/047 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2237/32 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/52 ,  C04B2237/62 ,  C04B2237/708 ,  C04B2237/765

摘要： The invention relates to a method for making a glass supported micro or nano system, comprising the steps of:
i) providing a glass support;
ii) mounting at least one system on at least one glass support; and
iii) bonding the system to the glass support, such that the system is circumferentially supported within the confinement of the glass support, to a glass supported system, and to the use of a glass support therefor.

摘要翻译： 本发明涉及一种制备玻璃支撑的微米或纳米系统的方法，包括以下步骤：i）提供玻璃支撑体; ii）将至少一个系统安装在至少一个玻璃支架上; 以及iii）将系统粘合到玻璃支撑件上，使得该系统在玻璃支撑件的限制，玻璃支撑系统的周边支撑，以及使用其玻璃支撑件。

公开(公告)号：EP2077249A1

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：EP08000094.6

申请日：2008-01-06

申请人： UNIVERSITEIT TWENTE

发明人： Berenschot, Johan Willem ,  Tas, Niels Roelof

IPC分类号： B81C1/00 ,  G01N13/10 ,  G12B21/02

CPC分类号： B81C1/00111 ,  B33Y10/00 ,  B33Y80/00 ,  B81C2201/034 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10 ,  G01Q70/16 ,  Y10T428/2913 ,  Y10T428/2982

摘要： The invention relates to a method for making a 3D nanostructure having a nanosubstructure, comprising the steps of:
i) providing a mold comprising at least one sharp concave corner;
ii) conformational depositing at least one structural material in the sharp concave corner
iii) isotropically removing structural material;
iv) depositing at least one other structural material;
v) removing earlier deposited structural material;
vi) forming a nanosubstructure; and
vii) removing the mold thereby providing the 3D nanostructure having the nanosubstructure.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于制备纳米结构的3D具有nanosubstructure，其包括步骤：i）提供一个模具，其包括至少一个尖锐凹角; ⅱ）构象上沉积至少一个在尖锐凹角ⅲ）除去各向同性结构材料的结构材料; ⅳ）沉积至少一个其它结构材料; v）的删除早期沉积构造材料 ⅵ）形成nanosubstructure; 和vii）除去模具，由此提供具有nanosubstructure所述3D纳米结构。