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    TRIPLE-PASS INTERFEROMETER
    1.
    发明公开
    TRIPLE-PASS INTERFEROMETER 审中-公开
    三通式干涉仪

    公开(公告)号：EP2980525A1

    公开(公告)日：2016-02-03

    申请号：EP15176437.0

    申请日：2015-07-13

    申请人： Dr. Johannes Heidenhain GmbH

    发明人： MEISSNER, Markus

    IPC分类号： G01B9/02

    CPC分类号： G01B9/02015 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02061 ,  G01B11/14 ,  G01B2290/70

    摘要： Es wird ein Interferometer angegeben, das eine Lichtquelle, einen Strahlteiler, einen Referenzreflektor, einen Messreflektor, eine Detektionseinheit sowie mindestens zwei transparente Planplatten umfasst. Über den Strahlteiler wird ein Strahlenbündel in mindestens ein Messstrahlenbündel und ein Referenzstrahlenbündel aufgespalten. Bis zur Wiedervereinigung propagiert das Messstrahlenbündel in einem Messarm, das Referenzstrahlenbündel in einem Referenzarm. Auf den im Referenzarm angeordneten Referenzreflektor fällt das Referenzstrahlenbündel mindestens dreimal ein. Der Messreflektor ist im Messarm angeordnet und mit einem Messobjekt verbunden, welches entlang einer Messrichtung relativ gegenüber dem Referenzreflektor beweglich ist; das Messstrahlenbündel fällt mindestens dreimal auf den Messreflektor ein. Über die Detektionseinheit ist mindestens ein Abstandssignal aus den interferierenden Mess- und Referenzstrahlenbündeln bezüglich der Position des Messobjekts erfassbar. Die Planplatten sind parallel zueinander im Strahlengang zwischen der Lichtquelle und der Detektionseinheit angeordnet. Mindestens der Messreflektor ist gegenüber den Planplatten entlang der Messrichtung beweglich. Die Planplatten umfassen jeweils mehrere optische Elemente, die eine derartige optische Wirkung auf das Messstrahlenbündel und das Referenzstrahlenbündel ausüben, dass diese jeweils parallel zueinander in Richtung des Mess- und Referenzreflektors propagieren.

    摘要翻译： 干涉仪包括光源，分束器，参考反射器，测量反射器，检测单元和至少两个透明平面平行板。 分束器将光束分成至少一个测量光束和至少一个参考光束。 在重新组合之前，测量光束在测量臂中传播，并且参考光束在参考臂中传播。 参考光束在位于参考臂中的参考反射器上至少下降三次。 测量反射器设置在测量臂中并且被连接到可相对于参考反射器沿测量方向移动的被测量物体。 测量光束在测量反射器上下降至少三次。 关于待测量物体的位置的至少一个距离信号可以通过检测单元从干涉测量和参考光束确定。 平面平行板在光源和检测单元之间的光束路径中彼此平行地设置。 至少测量反射器可以沿着测量方向相对于平面平行板移动。 平面平行板各自包括多个光学元件，其在测量光束和参考光束上分别在测量反射器和参考反射器的方向上彼此平行地传播这样的光学效应。

    DISPLACEMENT DETECTING DEVICE
    3.
    发明授权
    DISPLACEMENT DETECTING DEVICE 有权

    公开(公告)号：EP2963392B1

    公开(公告)日：2017-11-22

    申请号：EP15174963.7

    申请日：2015-07-02

    申请人： DMG Mori Seiki Co. Ltd.

    发明人： NAKAMURA, Yusuke ,  MIDERA, Yoshiyuki ,  TAMIYA, Hideaki

    IPC分类号： G01D5/26 ,  G01B9/02

    CPC分类号： G01B9/02015 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02081 ,  G01B11/026 ,  G01B2290/70 ,  G01D5/266

    摘要： To provide a displacement detection apparatus capable of detecting a displacement in the height direction of a member to be measured, with a high precision, and also capable of performing a high-speed and stable measurement. A first light flux L1 serving as object light is caused to enter a member to be measured 5, and reflected light thereof is caused to enter again the member to be measured 5 after being diffracted by a first diffraction grating 7. Then, the second-time reflected light of the first light flux L1 by the member to be measured 5 is diffracted by a second diffraction grating 9. By diffracting the first light flux L1 by the second diffraction grating 9, a change of the optical path length caused by tilting of the member to be measured 5 is cancelled.

    INTERFEROMETRISCHER WEGSENSOR ZUR INTEGRATION IN WERKZEUGMASCHINEN UND HALBLEITER-LITHOGRAFIESYSTEMEN
    4.
    发明公开
    INTERFEROMETRISCHER WEGSENSOR ZUR INTEGRATION IN WERKZEUGMASCHINEN UND HALBLEITER-LITHOGRAFIESYSTEMEN 审中-公开
    WERKZEUGMASCHINEN的干扰素WEGSENSER ZUR INCLACT IN HALBLEITER-LITHOGRAFIESYSTEMEN

    公开(公告)号：EP3137847A1

    公开(公告)日：2017-03-08

    申请号：EP15721571.6

    申请日：2015-04-29

    申请人： Attocube Systems AG

    发明人： ZECH, Martin ,  THURNER, Klaus

    IPC分类号： G01B21/16 ,  G01B9/02 ,  G01B11/06

    CPC分类号： G01B11/14 ,  G01B9/02015 ,  G01B9/0205 ,  G03F7/70775

    摘要： The invention relates to an interferometer (10) for real-time measurement of absolute distances and/or relative position movements between a first and a second machine part, comprising a measurement unit (20) and a reflector unit (40). The measurement unit (20) comprises a housing (21) having at least one wall that consists of a heat-conducting material, a plurality of measurement elements being arranged inside the housing (21). Said measurement elements comprise: a laser source (22), a Peltier element (24) and a digital control (23), and are thermally coupled to the wall of the housing (21) that consists of a heat-conducting material.

    摘要翻译： 其中所述测量元件热耦合到由导热材料制成的所述壳体（21）的壁。

    INTERFEROMETER, SPECTROPHOTOMETER USING INTERFEROMETER AND CONTROL PROGRAM OF INTERFEROMETER
    5.
    发明公开
    INTERFEROMETER, SPECTROPHOTOMETER USING INTERFEROMETER AND CONTROL PROGRAM OF INTERFEROMETER 审中-公开
    干燥仪，SPEKTROPHOTOMETER MIT干燥仪在STEUERPROGRAMM DES INTERFEROMETERS

    公开(公告)号：EP3018460A1

    公开(公告)日：2016-05-11

    申请号：EP15193466.8

    申请日：2015-11-06

    申请人： HORIBA, LTD.

    发明人： ANDO, Yoshitake

    IPC分类号： G01J3/06 ,  G01J3/453 ,  G01J3/02 ,  H02P25/032 ,  G01B9/02

    CPC分类号： G01J3/4535 ,  G01B9/02015 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/06 ,  H02P25/032

    摘要： The present invention provides an interferometer and the like, that is capable of ensuring the speed stability of the movable mirror while achieving the speed up of the reciprocal movement of the moving mirror and suppressing the increment of the maximum instantaneous thrust force required for the turning back as much as possible.
    The interferometer according to the present invention includes: a moving mirror; a movement mechanism for reciprocating the moving mirror; movement control part for controlling the movement mechanism and allowing the moving mirror to be reciprocated at a constant speed; and a measurement part for measuring a position of the moving mirror.
    In this configuration, the movement control part is adapted to receive target position data indicating a target position of the moving mirror, and control the movement mechanism so as to bring the measurement position of the moving mirror measured by the measurement part close to the target position indicated by the target position data.
    And, a time-varying waveform of the target position indicated by the target position data is formed into a trapezoidal wave by horizontally cutting apex portions of the triangular waveform, or is further formed into a smooth wave by rounding away the corner points of the trapezoidal waveform.

    摘要翻译： 本发明提供一种干涉仪等，其能够确保可动镜的速度稳定性，同时实现移动镜的往复运动的加快，并抑制转回所需的最大瞬时推力的增加 越多越好。 根据本发明的干涉仪包括：移动镜; 用于使所述移动镜往复运动的运动机构; 移动控制部分，用于控制移动机构并允许移动镜以恒定的速度往复运动; 以及用于测量移动镜的位置的测量部。 在该结构中，移动控制部适于接收表示移动镜的目标位置的目标位置数据，并且控制移动机构，以使由测量部测量的移动镜的测量位置靠近目标位置 由目标位置数据指示。 并且，通过水平切割三角波形的顶点部分，由目标位置数据指示的目标位置的时变波形形成为梯形波，或者通过将梯形的角点四舍五入而进一步形成平滑波 波形。

    OPTISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG
    6.
    发明公开
    OPTISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG 有权

    公开(公告)号：EP2955489A1

    公开(公告)日：2015-12-16

    申请号：EP15170025.9

    申请日：2015-06-01

    申请人： Dr. Johannes Heidenhain GmbH

    发明人： DRESCHER, Jörg ,  HOLZAPFEL, Wolfgang ,  JOERGER, Ralph ,  KÄLBERER, Thomas ,  MEISSNER, Markus ,  MUSCH, Bernhard ,  SPANNER, Erwin

    IPC分类号： G01D5/26 ,  G01D5/34 ,  G01D5/347

    CPC分类号： G01B11/14 ,  G01B9/02015 ,  G01D5/266 ,  G01D5/345 ,  G01D5/34707

    摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Relativposition einer ersten Maßverkörperung und einer zweiten Maßverkörperung, die relativ zueinander entlang mindestens einer Messrichtung beweglich angeordnet sind. An einem Aufspaltgitter erfolgt eine Aufspaltung eines von einer Lichtquelle emittierten Strahlenbündels in mindestens zwei Teilstrahlenbündel. Die Teilstrahlenbündel erfahren beim Durchlaufen von Abtaststrahlengängen unterschiedliche polarisationsoptische Wirkungen. Nach einer Wiedervereinigung der unterschiedlich polarisierten Teilstrahlenbündel an einem Vereinigungsgitter sind aus dem resultierenden Strahlenbündel mehrere phasenverschobene, verschiebungsabhängige Abtastsignale erzeugbar. In den Abtaststrahlengängen der Teilstrahlenbündel zwischen Aufspaltung und Wiedervereinigung sind keine polarisationsoptischen Bauelemente angeordnet. Zur Erzeugung der unterschiedlichen polarisationsoptischen Wirkungen auf die Teilstrahlenbündel beaufschlagt ein konisch einfallendes Beleuchtungsstrahlenbündel das Aufspaltgitter, wobei das einfallende Beleuchtungsstrahlenbündel in einer Ebene senkrecht zur Messrichtung unter einem von 0° verschiedenen Winkel verläuft und die Einfallsebene durch die Gitternormale auf das Aufspaltgitter und die Einfallsrichtung des Beleuchtungsstrahlenbündels aufgespannt ist. Die Abtaststrahlengänge der Teilstrahlenbündel zwischen Aufspaltung und Wiedervereinigung sind spiegelsymmetrisch zur Einfallsebene ausgebildet (Fig. 2a).

    摘要翻译： 在用于检测沿着至少一个测量方向相对于彼此移动的第一测量标准和第二测量标准的相对位置的光学位置测量装置中，在分离光栅处，由光源发射的束束被分离 至少两个部分束束。 当通过扫描光束路径时，部分光束束经历不同的偏振光学效应。 在不同极化的部分束束在组合光栅上重新组合之后，能够从所得到的束束产生多个相移位移依赖的扫描信号。 在分束和复合之间的部分束束的扫描光束路径中没有设置偏振光学部件。 为了对部分束束产生不同的偏振光学效应，锥形入射照明束束照射在分束光栅上，入射照明光束束以与0°以外的角度垂直于测量方向的平面延伸， 的入射由通常分裂光栅的光栅和照明束束的入射方向限定。 部分束束的扫描光束路径相对于分裂和复合之间的入射平面以镜像对称的方式布置。

    MESSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERFASSUNG WENIGSTENS EINER LÄNGENMESSGRÖSSE
    9.
    发明公开
    MESSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERFASSUNG WENIGSTENS EINER LÄNGENMESSGRÖSSE 审中-公开

    公开(公告)号：EP3351893A1

    公开(公告)日：2018-07-25

    申请号：EP18151441.5

    申请日：2018-01-12

    申请人： CARL MAHR HOLDING GMBH

    发明人： Ziegenbein, Rainer

    IPC分类号： G01B11/00 ,  G01B5/008

    CPC分类号： G01B11/02 ,  G01B9/02015 ,  G01B11/002

    摘要： Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (10) sowie ein Verfahren zur Ermittlung einer Längenmessgröße eines Werkstücks. Über eine Positionieranordnung (12) kann ein Trägerteil (13), an dem eine Tasteinheit (18) in einer ersten Raumrichtung (x) unbeweglich angeordnet ist, bewegt bzw. positioniert werden. Mit dem Trägerteil (13) ist wenigstens ein Laserinterferometer (24) in der ersten Raumrichtung (x) unbeweglich verbunden. Das Laserinterferometer (24) erzeugt mittels eines ersten Lasermessstrahls (L1) und eines zweiten Lasermessstrahls (L2) ein erstes Messsignal (S1), das den Abstand des Laserinterferometers (24) von einem ersten Reflektor (25) in der ersten Raumrichtung (x) beschreibt und ein zweites Messsignal (S2), das den Abstand des Laserinterferometers (24) von einem zweiten Reflektor (26) in der ersten Raumrichtung (x) beschreibt. Eine in der ersten Raumrichtung (x) gegenüber dem Trägerteil (13) bzw. der Tasteinheit (18) unbewegliche Tastsystemebene (E), die sich rechtwinklig zu dieser ersten Raumrichtung (x) erstreckt, hat daher in der ersten Raumrichtung (X) eine Position, die sich über die Abstände des Laserinterferometers (24) vom ersten Reflektor (25) bzw. zweiten Reflektor (26) ermitteln lässt.