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    METHOD FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, DEVICE FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, AND OPTICAL DISC APPARATUS
    2.
    发明公开
    METHOD FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, DEVICE FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, AND OPTICAL DISC APPARATUS 审中-公开
    方法和设备识别外来物质上的主题和光盘设备

    公开(公告)号：EP1522846A1

    公开(公告)日：2005-04-13

    申请号：EP03730704.8

    申请日：2003-05-30

    Applicant: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.

    Inventor： GOTOH, Yasuhiro ,  NISHIWAKI, Seiji ,  KOMMA, Yoshiaki

    IPC: G01N21/95 ,  G11B7/26 ,  G11B7/004

    CPC classification number: G11B7/00375 ,  G01N21/94 ,  G01N21/9506 ,  G01N2201/1045 ,  G11B19/04

    Abstract: In an foreign body detection apparatus, an optical signal detection unit (1) irradiates a light spot onto a surface of an object to be inspected while scanning the surface by the light spot in a predetermined direction, and receives a reflected beam from the surface of the inspected object to generate a photodetection signal (HF) corresponding to the light intensity of the reflected beam. A foreign body detection unit (2a to 2h) generates a foreign body detection signal (C) appearing with respect to a leader and a trailer in the scanning direction of a foreign body adhering to the inspected object from the photodetection signal (HF). The foreign body detection signal is obtained for example as a difference signal between the photodetection signal (HF) and the delayed photodetection signal (HF) with a predetermined delay time. A foreign body discrimination unit (3) generates a foreign body discriminating signal (H) indicating a region in which the foreign body is present from the foreign body detection signal (C).

    Abstract translation: 在异物检测装置，对光学信号的检测单元（1）照射的光点到物体的表面，同时由光点在预定的方向上扫描表面进行检查，并从表面接收反射光束 被检查的对象，以生成对应于所述反射光束的光强度的光检测信号（RF）。 甲异物检测单元（2a至2H）基因速率的异物检测信号（C）相对于一个领导者和在异物秉承从光检测信号（HF）被检查的物体的扫描方向的拖车显示。 异物检测信号获得用于实施例作为光检测信号（RF），并用一个预定的延迟时间延迟的光检测信号（RF）之间的差信号。 甲异物判别部（3）生成异物鉴别信号（H）指示其中的异物从异物检测信号（C）存在的区域。

    HIGH RESOLUTION OBJECT INSPECTION APPARATUS USING TERAHERTZ WAVES
    4.
    发明公开
    HIGH RESOLUTION OBJECT INSPECTION APPARATUS USING TERAHERTZ WAVES 审中-公开
    霍华德·波特

    公开(公告)号：EP2827128A1

    公开(公告)日：2015-01-21

    申请号：EP12871347.6

    申请日：2012-04-10

    Applicant: Korea Food Research Institute

    Inventor： CHUN, Hyang-Sook ,  CHOI, Sung-Wook ,  CHANG, Hyun-Joo ,  LEE, Na-Ri ,  OK, Gyeong-Sik

    IPC: G01N21/35 ,  G02B3/00

    CPC classification number: G01N21/3581 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/94 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/1045 ,  G01N2201/105 ,  G02B3/00 ,  H01Q15/08

    Abstract: An object inspection apparatus includes a terahertz wave supplying unit for generating a terahertz wave and moving a path of the terahertz wave according to time so that the terahertz wave is supplied to an object to be inspected, a focusing lens located between the terahertz wave supplying unit and the object to be inspected to focus the terahertz wave supplied by the terahertz wave supplying unit, a rotating plate having a plate shape and including a plurality of the focusing lenses with different distances from the center thereof, the rotating plate rotating in the circumferential direction so that one of the focusing lenses is located at a path of the terahertz wave according to the path movement of the terahertz wave, and a terahertz wave detecting unit for collecting and detecting a terahertz wave incident to the object to be inspected.

    Abstract translation: 物体检查装置包括：太赫波提供单元，用于产生太赫兹波，并根据时间移动太赫兹波的路径，使得太赫兹波被提供给被检测物体;聚焦透镜，位于太赫波提供单元 和被检查物体聚焦由太赫兹波供给单元提供的太赫兹波，具有板形的旋转板，并且包括多个离其中心距离不同的聚焦透镜，旋转板沿圆周方向旋转 使得一个聚焦透镜根据太赫兹波的路径移动位于太赫兹波的路径处，并且用于收集和检测入射到待检查对象的太赫兹波的太赫兹波检测单元。

    Einrichtung für Oberflächeninspektionen
    5.
    发明公开
    Einrichtung für Oberflächeninspektionen 失效
    EinrichtungfürOberflächeninspektionen。

    公开(公告)号：EP0524348A1

    公开(公告)日：1993-01-27

    申请号：EP91122162.0

    申请日：1991-12-23

    Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

    Inventor： Malin, Cosmas, Dipl.-Ing. ,  Steigmeier, Edgar F., Dr. Ing. ,  Nesensohn, Thomas ,  Sawatzki, Harry L. ,  Auderset, Heinrich

    IPC: G01N21/88 ,  G01N21/47

    CPC classification number: G01M11/0278 ,  G01N21/93 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9503 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8867 ,  G01N2021/8907 ,  G01N2201/1045

    Abstract: Mit dieser Einrichtung lassen sich Oberflächen zerstörungsfrei und ganzflächig auf Defekte und Kontaminationen untersuchen, wobei sowohl mikroskopisch kleine punkt- oder linienförmige Defekte als auch feinste makroskopische Inhomogenitäten erfasst werden. Zu diesem Zweck ist im Strahlengang zwischen Lichtquelle (2) und Objektiv (9) ein astigmatisches Linsensystem (5) angeordnet, das ein zigarrenförmiges Zwischenbild (31) erzeugt, wobei in Abhängigkeit von dem Zwischenbild (31) der Vorschub beim Abtasten der Oberfläche (10) der auf diese Oberfläche (10) projizierten Länge des Zwischenbildes (31) entspricht. Eine im Strahlengang zwischen Linsensystem (5) und Objektiv (9) angeordnete Dunkelfeldstop-Baugruppe (18) mit einer einstellbaren Dunkelfeldumlenkung (8) , richtet den Beleuchtungsstrahl (1) nach der Umlenkung exakt zentrisch im rechten Winkel durch das Objektiv (9) auf die Oberfläche (10) . Das von der Oberfläche (10) abgestrahlte, im Objektiv (9) gesammelte Licht ist auf einen Photodetektor (19) gerichtet. Eine Auswerteelektronik (21) zerlegt die verstärkten Ausgangssignale des Photodetektors (19) in Messwerte, die von punktförmigen, linienförmigen und flächenförmigen Defekten herrühren. Die Auswerteelektronik (21) ist über eine Recheneinheit (22) mit Peripheriegeräten (23, 24, 25) verbunden, mittels welchen die Gesamtheit aller Messwerte einer Messung dargestellt werden kann.

    Abstract translation: 可以使用该装置在整个区域上以非破坏性方式检查表面的缺陷和污染物，微观上小的点状或线性缺陷以及正在检测的最佳的宏观不均匀性。 为此，在光源（2）和透镜（9）之间的光束路径中布置产生雪茄状中间像（31）的像散透镜系统（5），在扫描表面（10 ）对应于所述中间图像（31）的长度的函数，投影到所述中间图像（31）的所述表面（10）上。 布置在透镜系统（5）和透镜（9）之间的光束路径中并且具有可调整的暗场偏转系统（8）的暗场子组件（18）引导照射光束（1） 通过透镜（9）以正确的角度精确地中心偏转到表面（10）上。 从表面（10）发射并收集在透镜（9）中的光被引导到光电检测器（19）上。 评估电子系统（21）将光电检测器（19）的放大的输出信号分解成来自扁平，线性和平面缺陷的测量值。 评估电子系统（21）经由计算机单元（22）连接到外围设备（23,24,25），通过它们可以表示测量的所有测量值的总和。

    Vorrichtung zum Beleuchten von Bauteilen aus transparentem Material bei der Fehlerprüfung
    8.
    发明公开
    Vorrichtung zum Beleuchten von Bauteilen aus transparentem Material bei der Fehlerprüfung 失效
    装置，用于在错误检查由透明材料制成的部件的照明。

    公开(公告)号：EP0249800A2

    公开(公告)日：1987-12-23

    申请号：EP87107993.5

    申请日：1987-06-03

    Applicant: Battelle-Institut e.V.

    Inventor： Schmalfuss, Harald, Dr. ,  Sinsel, Friedel ,  Bolz, Reinhold

    IPC: G01N21/88 ,  G02B26/10 ,  G01M11/02

    CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N2021/9511 ,  G01N2201/1045

    Abstract: Bei der Prüfung von Bauteilen (6) aus transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse wird zum Beleuchten eine Vorrichtung verwendet, bei der das zu prüfende Bauteil um seine Achse drehbar angeordnet ist und mittels eines bewegten Lichtstrahles punktförmig abgetastet wird.
    Zur Erzeugung des abtastenden Lichtstrahles dient eine, ein paralleles Lichtbündel (19) erzeugende Lichtquelle (1), vorzugsweise ein Laser (1) und ein dieses Lichtbündel perio­disch mit einer gegen die Drehzahl des Bauteils hohen Frequenz linear auslenkender Abtaster (3). In Lichtrichtung gesehen hinter dem Abtaster (3) ist eine Sammellinse (4) vorge­sehen, welche als f-Theta-Linse ausgebildet ist und deren Brennpunkt im Drehpunkt (11) des Abtasters liegt. Dadurch wird die winkelmäßige Auslenkung des vom Laser gelieferten Lichtbündels durch den Abtaster hinter der Sammellinse in eine Parallelverschiebung des Lichtbündels zwischen zwei Extrempositionen umgewandelt. Zwischen der Sammellinse (4) und dem zu prüfenden Bauteil (6) ist ein verstellbarer Kipp­spiegel (5) zur Umlenkung des Lichtbündels auf das Bauteil vorgesehen.

    Abstract translation: 在部件（6）的表面缺陷和夹杂物的透明材料制成的，用于照射的装置的测试，其中待测试的组件被安装为绕其轴线旋转，并且由点移动的光束进行扫描。 用于产生扫描光束时，平行光束（19）产生光源（1），优选为激光器（1）和具有高抵抗分量频率线性掷扫描器的旋转速度该光束周期性地（3）。 观察在（3）聚光透镜（4）设置在所述取样器，其被设计为一个f-θ透镜，并以扫描仪位于所述枢转点（11）其焦点的下游的光的方向。 因此，从激光通过聚光透镜的下游的采样供给的光束的角偏转被转换成两个极端位置之间的光束的平行位移。 之间的会聚透镜（4）和成分进行测试（6）是用于偏转提供的部件上的光束的可调倾斜反射镜（5）。

    METHOD FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, DEVICE FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, AND OPTICAL DISC APPARATUS
    9.
    发明公开
    METHOD FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, DEVICE FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, AND OPTICAL DISC APPARATUS 审中-公开
    方法和设备识别外来物质上的主题和光盘设备

    公开(公告)号：EP1522846A4

    公开(公告)日：2008-01-02

    申请号：EP03730704

    申请日：2003-05-30

    Applicant: MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD

    Inventor： GOTOH YASUHIRO ,  NISHIWAKI SEIJI ,  KOMMA YOSHIAKI

    IPC: G01N21/90 ,  G01N21/94 ,  G01N21/95 ,  G11B7/0037 ,  G11B19/04 ,  G11B7/004 ,  G11B7/26

    CPC classification number: G11B7/00375 ,  G01N21/94 ,  G01N21/9506 ,  G01N2201/1045 ,  G11B19/04

    Abstract: A foreign matter detector comprises light signal detecting means (1), foreign matter detecting means (2a to 2h), and foreign matter judging means (3). The light signal detecting means (1) applies a light spot on the surface of an object to be inspected while scanning the light spot in a predetermined direction, receives light reflected from the surface of the object, and generates a light detection signal (HF) corresponding to the amount of light reflected. The foreign matter detecting means (2a to 2h) generates, from the light detection signal (HF), foreign matter detection signals (C) corresponding to the first and last portions, in the scanning direction, of the foreign matter adhering to the object. The foreign matter signal is determined as a signal representing the difference between the light detection signal (HF) and a delay signal (HF1) produced by delaying the light detection signal (HF) by a predetermined time. The foreign matter judging means generates from the foreign matter detection signal (C) a foreign matter judgment signal (H) representing the area where a foreign matter is present.

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