PROCESS CONTROL USING PROCESS DATA AND YIELD DATA
    4.
    发明公开
    PROCESS CONTROL USING PROCESS DATA AND YIELD DATA 审中-公开
    过程数据以及数据的结果过程控制

    公开(公告)号:EP2260358A1

    公开(公告)日:2010-12-15

    申请号:EP09718781.9

    申请日:2009-02-20

    IPC分类号: G05B23/02

    摘要: A method for monitoring a manufacturing process features acquiring metrology data for semiconductor wafers at the conclusion of a final process step for the manufacturing process ('Step a'). Data is acquired for a plurality of process variables for a first process step for manufacturing semiconductor wafers ('Step b'). A first mathematical model of the first process step is created based on the metrology data and the acquired data for the plurality of process variables for the first process step ('Step c'). Steps b and c are repeated for at least a second process step for manufacturing the semiconductor wafers ('Step d'). An nth mathematical model is created based on the metrology data and the data for the plurality of process variables for each of the n process steps ('Step e'). A top level mathematical model is created based on the metrology data and the models created by steps c, d and e ('Step f ')• The top level mathematical model of Step f is based on those process variables that have a substantial effect on the metrology data.

    Method of evaluating the efficiency of an automatic machine
    5.
    发明公开
    Method of evaluating the efficiency of an automatic machine 审中-公开
    Verfahren zur Beurteilung derEffektivitäteiner automatischen Maschine

    公开(公告)号:EP1260892A2

    公开(公告)日:2002-11-27

    申请号:EP02011299.1

    申请日:2002-05-22

    IPC分类号: G05B19/418

    摘要: A method of evaluating the efficiency of an automatic machine (1), whereby, upon completion of a given production lot, a current performance index (I) achieved by the automatic machine (1) during manufacture of the production lot is calculated; and the current performance index (I) is memorized in a nonvolatile memory, together with various characteristic parameters relating to the processing performed. To evaluate the efficiency of the automatic machine (1), the current performance index (I) is compared with historic performance indexes (I) memorized previously during operation of the automatic machine (1) and having characteristic parameters substantially similar to the characteristic parameters of the current performance index (I).

    摘要翻译: 一种评价自动机器(1)的效率的方法,其中,在给定生产批次完成时,计算在生产批次的制造期间由自动机器(1)实现的当前性能指标(I) 并且将当前性能指标(I)连同与所执行的处理相关的各种特征参数一起存储在非易失性存储器中。 为了评估自动机器(1)的效率,将当前性能指标(I)与先前在自动机器(1)的操作期间记忆的历史性能指标(I)进行比较,并且具有与特征参数基本相似的特征参数 目前的业绩指标(一)。

    Verfahren zum Ermitteln von Fertigungs-und/oder Prozessierungsschwächen, Verfahren zum Ermitteln von Maschinentrends sowie zugehörige Komponenten
    6.
    发明公开
    Verfahren zum Ermitteln von Fertigungs-und/oder Prozessierungsschwächen, Verfahren zum Ermitteln von Maschinentrends sowie zugehörige Komponenten 审中-公开
    用于确定制造和/或Prozessierungsschwächen,一种用于确定机器的趋势和相关联的部件的方法

    公开(公告)号:EP1235270A2

    公开(公告)日:2002-08-28

    申请号:EP02003676.0

    申请日:2002-02-18

    IPC分类号: H01L21/66

    摘要: Erläutert wird unter anderem ein Verfahren, bei dem ein Halbzeug (12) eine Vielzahl von Bearbeitungsstufen (PS1 bis PS201) durchläuft. Es werden auf die Fertigungseinheiten (12) bezogene Werte für eine Gütegröße zur Bewertung der Fertigung ermittelt, z.B. für die Ausbeute. Außerdem wird eine Untersuchungsgröße vorgegeben, z.B. die für die Fertigung verwendete Maschine (M1 bis M3) in einer bestimmten Bearbeitungsstufe (PS1). Signifikanztests werden automatisch (30) für mindestens zwei Bearbeitungsstufen (PS1, PS2) ausgeführt. Anschließend wird automatisch eine Bearbeitungsstufe (PS1) ausgewählt, in der die Ursache für einen Fertigungs- und/oder Prozessierungsfehler gesucht wird.

    摘要翻译: 该方法包括检测质量参数,调查的参数定义要进行调查和检查,如果有超过一个影响最小的质量参数显著影响质量,其效果是。 的影响的意义/强度是自动确定的开采至少两个处理阶段和/或部分和至少一个阶段或部分被相应地选择寻求缺陷的起源。 该方法涉及通过多个处理级(PS1-PS201)检测质量参数制造评估通过制造单位(12),调查参数(M1-M3)对质量,其效果是可查 - 定义并检查是否 参数对超过的影响最小质量参数的显著影响。 的影响的意义和/或强度是自动确定的开采至少两个处理阶段和/或连续阶段的段和至少一个阶段或部被相应地选择,其中所述缺陷的来源将被寻求。 因此独立权利要求中包括了以下内容:(1)布置用于实现确定性采矿机趋势的​​方法中,(2),用于实现根据本发明的方法的程序,(3)的数据处理系统(4)的制造系统。

    Vorrichtung zum Aufschneiden von einem Lebensmittelprodukt und Vorrichtung mit einem Roboter
    8.
    发明公开
    Vorrichtung zum Aufschneiden von einem Lebensmittelprodukt und Vorrichtung mit einem Roboter 审中-公开
    用于食物产品的切片和装置与机器人的装置

    公开(公告)号:EP2572840A3

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:EP12006459.7

    申请日:2012-09-14

    发明人:

    IPC分类号: B26D5/00 B25J9/16 B25J11/00

    摘要: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aufschneiden von einem Lebensmittelprodukt (1), mit einer durch einen Antrieb (4) antreibbaren Schneideinrichtung (3), insbesondere einem rotierendem Schneidmesser (5), einer Produktzufuhr, die das Lebensmittelprodukt (1) der Schneideinrichtung (3) zuführt, und einer Aufnahmeeinrichtung, die ausgelegt ist, Lebensmittelscheiben (7) aufzunehmen, die von dem Lebensmittelprodukt (1) abgeschnitten werden. Die vorliegende Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung mit einem Roboter (18) zum Verlagern eines Lebensmittelproduktes, insbesondere von Lebensmittelscheiben, wobei der Roboter (18) wenigstens einen Roboterarm (23, 24) aufweist, an dem sich eine Greifereinheit (21) zum Ergreifen der Lebensmittelprodukte befindet, und wobei der Roboter (18) ausgelegt ist, Lebensmittelprodukte von einer Auflage aufzunehmen, und zu einem gewünschten Ort zu verlagern. Erfindungsgemäß ist wenigstens eine Kamera (15, 16, 17, 30, 31) vorgesehen ist, die ausgelegt ist, wenigstens eine Information bezüglich der Schneideinrichtung (3) oder des Roboters (18) und/oder des Lebensmittelprodukts (1), bzw. der Lebensmittelscheiben (7), zu erfassen.

    Vorrichtung zum Aufschneiden von einem Lebensmittelprodukt und Vorrichtung mit einem Roboter
    9.
    发明公开
    Vorrichtung zum Aufschneiden von einem Lebensmittelprodukt und Vorrichtung mit einem Roboter 审中-公开
    用机器人切割食品和设备的设备

    公开(公告)号:EP2572841A3

    公开(公告)日:2013-05-22

    申请号:EP12006460.5

    申请日:2012-09-14

    发明人:

    摘要: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aufschneiden von einem Lebensmittelprodukt (1), mit einer durch einen Antrieb (4) antreibbaren Schneideinrichtung (3), insbesondere einem rotierendem Schneidmesser (5), einer Produktzufuhr (2), die das Lebensmittelprodukt (1) der Schneideinrichtung (3) zuführt, einer Aufnahmeeinrichtung, die ausgelegt ist, Lebensmittelscheiben (7) aufzunehmen, die von dem Lebensmittelprodukt (1) abgeschnitten werden, und einem Kontrollsystem in dem wenigstens eine Vorgabe gespeichert wird. Erfindungsgemäß ist das Kontrollsystem ausgelegt, wenigstens einen Zustandsparameter zu überwachen, und in Abhängigkeit des wenigstens einen Zustandsparameters und der wenigstens einen gewählten Vorgabe zu bestimmen, ob eine vorbestimmte Bedingung erfüllt wurde, die insbesondere eine Wartungsmaßnahme bedingt.

    摘要翻译: 本发明涉及一种装置,用于通过一个驱动切片的食品(1)与(4)驱动的切削装置(3),特别是旋转切割刀(5),一个产品供应(2),所述食物产品(1) 切割装置(3)供给用于接收从食品(1)切下的食物切片(7)的接收装置以及其中存储至少一个预设的控制系统。 根据本发明,控制系统被设计成监视至少一个状态参数并且取决于至少一个状态参数和至少一个选择的规范来确定是否已经满足预定条件,这尤其需要维护措施。