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    CAPTEUR INERTIEL DE TYPE MEMS À LIAISON MÉCANIQUE SPÉCIFIQUE
    2.
    发明公开
    CAPTEUR INERTIEL DE TYPE MEMS À LIAISON MÉCANIQUE SPÉCIFIQUE 审中-实审

    公开(公告)号：EP4345416A1

    公开(公告)日：2024-04-03

    申请号：EP23199998.8

    申请日：2023-09-27

    申请人： Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

    发明人： JOET, Loïc ,  REY, Patrice

    IPC分类号： G01C19/5712 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5747

    摘要： Dispositif micro-électromécanique de type capteur inertiel, comprenant un support, un cadre (3) mobile, guidé en translation selon un axe de déplacement (X) parallèle au support, et comprenant une masse (4) d'épreuve qui s'étend depuis une première extrémité (41), reliée au support par une liaison mécanique, jusqu'à une deuxième extrémité (42), la masse étant reliée, du côté de la deuxième extrémité, à un organe de détection (7) d'un pivotement de la masse par rapport au cadre. Ladite liaison comprend une paroi (50) mince et flexible qui s'étend parallèlement au support, depuis le cadre jusqu'à la première extrémité de la masse d'épreuve, le long d'une ligne moyenne qui est parallèle à l'axe de déplacement du cadre.

    DRIVE AND SENSE BALANCED, FULLY-COUPLED 3-AXIS GYROSCOPE
    3.
    发明公开
    DRIVE AND SENSE BALANCED, FULLY-COUPLED 3-AXIS GYROSCOPE 审中-公开

    公开(公告)号：EP4134622A1

    公开(公告)日：2023-02-15

    申请号：EP22196652.6

    申请日：2019-09-20

    申请人： InvenSense, Inc.

    发明人： SENKAL, Doruk ,  HENNESSY, Robert ,  JOHARI-GALLE, Houri ,  SEEGER, Joseph

    IPC分类号： G01C19/5733 ,  G01C19/5783

    摘要： The subject disclosure provides exemplary 3-axis (e.g., GX, GY, and GZ) linear and angular momentum balanced vibratory rate gyroscope architectures with fully-coupled sense modes. Embodiments can employ balanced drive and/or balanced sense components to reduce induced vibrations and/or part to part coupling. Embodiments can comprise two inner frame gyroscopes for GY sense mode and an outer frame or saddle gyroscope for GX sense mode and drive system coupling, drive shuttles coupled to the two inner frame gyroscopes or outer frame gyroscope, and four GZ proof masses coupled to the inner frame gyroscopes for GZ sense mode. Components can be removed from an exemplary overall architecture to fabricate a single axis or two axis gyroscope and/or can be configured such that a number of proof-masses can be reduced in half from an exemplary overall architecture to fabricate a half-gyroscope. Other embodiments can employ a stress isolation frame to reduce package induced stress.

    INERTIAL SENSOR WITH MOTION LIMIT STRUCTURE
    10.
    发明公开
    INERTIAL SENSOR WITH MOTION LIMIT STRUCTURE 审中-公开
    具有运动限制结构的惯性传感器

    公开(公告)号：EP3306268A1

    公开(公告)日：2018-04-11

    申请号：EP17194508.2

    申请日：2017-10-03

    申请人： NXP USA, Inc.

    发明人： GEISBERGER, Aaron A.

    IPC分类号： G01C19/5733

    CPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/5769

    摘要： An inertial sensor includes a substrate, a movable mass, and a motion limit structure. The motion limit structure includes a rigid element interposed between first and second spring beams. The first spring beam has a first end fixed with the substrate and a second end coupled with the rigid element. The second spring beam is located between a pair of beams extending from an edge of the movable mass and is separated from each of the beams by a gap. The second spring beam has a third beam end coupled with the movable mass and a fourth beam end coupled with the rigid element. When the movable mass is stimulated to move beyond a predetermined limit, the rigid beam pivots as the spring beams flex. The second spring beam flexes to close the gap and contact one of the pair of beams to limit motion of the movable mass.

    摘要翻译： 惯性传感器包括基板，可移动质量块和运动限制结构。 运动限制结构包括介于第一和第二弹簧梁之间的刚性元件。 第一弹簧梁具有与衬底固定的第一端和与刚性元件耦合的第二端。 第二弹簧梁位于一对从可动质量块的边缘延伸的梁上并且与每个梁分开一个间隙。 第二弹簧梁具有与可移动质量块耦合的第三梁端和与刚性元件耦合的第四梁端。 当可移动质量块被移动超过预定极限时，刚性梁随着弹簧梁弯曲而枢转。 第二弹簧梁弯曲以封闭间隙并接触一对梁中的一个以限制可移动块的运动。